Устройство для струйной обработки пластин Советский патент 1981 года по МПК H01L21/00 

Описание патента на изобретение SU828263A1

1

Изобретение может быть использоЁайО преимущественно в производстве полупроводниковых приборов и микросхем для обработки полупроводниковых пластин.

Известно устройство для обработки изделий, выполненное в виде вертикальной закрытой части шахты, снабженной в средней части перегородкой. В нижней части шахты размещены очистительные блоки, в верхней части - промывочные блоки, а транспортер выполнен зигзагообразным

установка предназначена для обработки изделий летучими растворителями, и перегородка частично устраняет прямое попадание пара в вентиляцию.

Известно устройство для струйной обработки поверхности изделий, содержащее камеру с транспортером для перемещения изделий, трубопроводы, установленные по боковым сторонам транспортера и имеющие распылительные форсунки, расположенные друг от друга на расстоянии, равном зоне распыления форсунки 2.

Недостатками этого устройства являются значительные габаритные размеры и площадь, занимаемая линейным транспортером.

Кроме того, зона струйной обработки раствором расположена близко к верхней части устройства, что приводит к неизбежному попаданию паров, частиц, аэрозолей раствора, вредных для человека, в зону обслуживающего персонала и в атмосферу цеха, что ухудшает условия труда персонала.

Цель изобретения - экономия производственных площадей и улучшение условий обслуживания - достигается тем, что в устройстве для струйной обработки пластин, преимущественно полупроводниковых, содержащем камеру и размещенные в ней транспортер с ячейками для пластин, промывочный блок и распылительный блок с эжекционными форсунками, смещенными

одна от другой на расстояние, равное зоне распыления эжекционной форсунки, и ванну с рабочей жидкостью, камера выполнена в виде шахты, одна из стенок которой выполнена с размещенным в ее средней

части V-образным выступом, при этом промывочный блок размещен над, а распылительный блок - под V-образным выступом, причем распылительный блок выполнен в виде полукольца; при этом транспортер выполнен в виде гибкой ленты и установлен зигзагообразно.

На фиг. 1 показан общий вид устройства; на фиг. 2 - сечение А-А. Устройство для струйной обработки пластин содержит камеру 1, гибкий транспортер

§ зигзагообразной формы с ячейками 3 и пластинами 4, который смонтирован на валках 5, распылительный блок 6, выпол ненный в виде полукольца, с эжекционными форсунками 7, ванну 8 с абразивной суспензией, промывочный блок 9, выходную щель 10 разгрузочно-загрузочнрй зоны,снабж:енную упорами 11. Одна из стенок камеры 1 выполнена с V-образным выступом 12 в средней части, над которым расиоложен промывочный блок 9, а под ним, в нижней частн устройства, расположен распылительный блок 6 с форсунками 7.

Устройство работает следующим образом.

При движении внутри камеры 1 транспортера 2 ячейки 3 с пластинами 4 проходят зону гидроабразивной обработки (по радиусной траектории). Эжекционные форсунки 7 распылительного блока 6, по которым подается абразивная суспензия из ванны 8, расположены на разных радиусах от оси вращения валка. 5, т. е. смещены друг от друга на расстояние, равное зоне распыления форсунки, и распределены по радиусной траектории движения пластин, обеспечивая последовательную обработку всей поверхности пластин 4.

Во время обработки пластин и при дальнейшем движении их вверх после выхода из зоны гидроабразивной обработки суспензия стекает с пластин обратно в ванну 8, т. е. используется многократно.

Далее ячейки с пластинами поступают в зону струйной промывки промывочного блока 9, отделенную от гидроабразивной зоны V-образным выступом в одной из стенок камеры 1.

Во время струйной промывки пластин и при дальнейшем движении их вверх после выхода из зоны промывки отработанная вода падает вниз и удаляется через сливное отверстие под промывочным блоком 9.

При дальнейшем движении вверх ячейки с изделиями поступают в выходную щель 10 разгрузочно-загрузочной зоны, где, взаимодействуя с упорами 11, открываются для разгрузки обработанных пластин и загрузки новых. Затем они загружаются пластинами, закрываются, и далее цикл повторяется.

Так как в нижней части камеры 1 подключена вытяжная вентиляция, а в верхней части имеется щель, через которую засасывается воздух из атмосферы цеха, то тем самым создается направленный воздушный поток внутрь камеры, который удаляется в вытял ную вентиляцию парами, аэрозолями.

Выполнение камеры в виде вертикальной шахты позволило расположить зоны струйной промывки и гидроабразивной обработки друг над другом, а имеющийся в средней ее части V-образный выступ отделяет эти зоны друг от друга, чтобы абразивная суспензия не разбавлялась отработанной водой. За счет выполнения транспортера

зигзагообразной формы обрабатываемые пластины как после гидроабразивной обработки, так и после промывки продолжают двигаться вверх над соответствующими зонами. При этом удаляются капли отработанных жидкостей.

Такая компоновка устройства позволяет

сократить производственные площади,

уменьшить его габаритные размеры и металлоемкость, создать компактную установку, которая вписывается в типовой рабочий стол.

Размещение зоны гидроабразивной обработки в части устройства, т. е. максимальное удаление ее от столешницы, а выполнение камеры в виде вертикальной закрытой шахты с созданием направленного воздушного потока через щель разгрузочно-загрузочной зоны внутрь

устройства позволяет предотвратить попадание аэрозолей, частиц суспензии в атмосферу цеха и не допустить загрязнение рабочего места, улучшить условия обслуживания, что подтверждается результатами

испытаний макетного образца.

Автоматический цикл работы устройства и возможность автоматизации загрузки и разгрузки пластин в ячейки обеспечит ши,рокое применение устройства в производстве полупроводниковых приборов для выполнения следующих операций:

1)подготовительной перед химическим никелированием;

2)финишной после механической обработки алмазным инструментом, например

шлифовки;

3)операции удаления боро- и фосфоросиликатных стекол.

Формула изобретения

1.Устройство для струйной обработки пластин, преимущественно полупроводниковых, содержащее камеру и размещенные в

ней транспортер с ячейками для пластин, промывочный блок и распылительный блок с эжекционными форсунками, смещенными одна от другой на расстояние, равное зоне распыления эжекционной форсунки, и ванну с рабочей жидкостью, отличающееся тем, что, с целью экономии производственных площадей и улучшения условий обслуживания, камера выполнена в виде шахты, одна из стенок которой выполнена с размещенным в ее средней части V-образным выступом, при этом промывочный блок размещен над, а распылительный блок - под V-образным выступом, причем распылительный блок выполнен в виде полукольца.

2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что транспортер выполнен в виде гибкой ленты и установлен зигзагообразно.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

56

I. Бартя О. М. Технология химической и2. Авторское свидетельство СССР

электрохимической обработки поверхности № 540685, кл. В 08В 3/02, 11.01.74 (протометаллов, М., Машгиз, 1961, с. 201-202. тип).

828263

Похожие патенты SU828263A1

название год авторы номер документа
УСТАНОВКА ДЛЯ АЭРОГИДРОДИНАМИЧЕСКОЙ АБРАЗИВНОЙ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ, ФОРСУНКА ДЛЯ НЕЕ (ВАРИАНТЫ), СПОСОБ АЭРОГИДРОДИНАМИЧЕСКОЙ АБРАЗИВНОЙ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ И СОСТАВ ДЛЯ НЕЕ 2010
  • Костевич Александр Викторович
RU2450906C2
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГИДРОАБРАЗИВНОЙ ПОВЕРХНОСТНОЙ ОБРАБОТКИ 1992
  • Смановских Владимир Александрович[Ru]
  • Смановских Новомир Александрович[Ua]
RU2071409C1
Установка для гидроабразивной обработки деталей 1980
  • Морозенко Вадим Никифорович
  • Проволоцкий Александр Евдокимович
  • Чумак Леонид Борисович
  • Феоктистова Эллеонора Валентиновна
  • Бондаренко Леонид Иванович
  • Шипиленко Александр Михайлович
SU897491A1
ВСТРОЕННАЯ СИСТЕМА ПРОМЫВКИ ДЛЯ ГАЗОТУРБИННОГО ДВИГАТЕЛЯ 2014
  • Моррьелло Пьеренцо
  • Питтелла Джанфранко
  • Маркуччи Даниэле
  • Фратталлоне Марко
RU2659641C2
Устройство для струйной обработки поверхности изделий 1974
  • Кирпичев Анатолий Яковлевич
SU540685A1
МОДУЛЬНАЯ ОКРАСОЧНАЯ ВЕНТИЛИРУЕМАЯ КАМЕРА 2000
  • Гончаров А.В.
  • Тихонов Б.А.
RU2189534C2
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТМЫВКИ И СУШКИ ПЛАСТИН 2011
  • Комаров Валерий Николаевич
RU2460593C1
Способ обработки деталей сферическим притиром 1978
  • Власов Вячеслав Васильевич
  • Шевченко Николай Максимович
  • Богомольник Семен Рувелевич
SU891357A1
СПОСОБ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ И ГАЛЬВАНИЧЕСКОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ДЕТАЛИ И АВТОМАТИЧЕСКАЯ КАМЕРА ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ЭТОГО СПОСОБА 2021
  • Казаков Владимир Викторович
  • Казаков Олег Владимирович
  • Ганиев Рустам Рашитович
  • Хакимов Артур Андреевич
  • Ганиева Дарья Анатольевна
RU2771126C1
УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ 2003
  • Заупе Детлеф
  • Вурстер Герд
RU2316398C2

Реферат патента 1981 года Устройство для струйной обработки пластин

Формула изобретения SU 828 263 A1

ASpa3uSff(f r,i/f:riem ff

SU 828 263 A1

Авторы

Гершович Лев Израилевич

Тетерьвов Валерий Иванович

Шеларь Александр Евгеньевич

Даты

1981-05-07Публикация

1978-06-26Подача