Способ ориентации объекта Советский патент 1981 года по МПК H01L21/68 

1

Изобретение относится к технологии изготовления многослойных, печатных плат, а точнее к способам совмещения отметок совмещения (реперных знаков) слоев многослойных печатных плат на смотровом устройстве для последующего выполнения в них отверстий относительно отметок совмещения, и может быть использовано в мащиностроительной, радиоэлектронной, авиакосмической промьшшенности и др.

Известен способ юстировки, которьй заключается в том, что совмещают изображения, расположенные на одной прямой линии в разных плоскостях помещенных р,руг под другом. Для этого подсвечивают изображения, отражают лучи через систему зеркал, одновременно фокусируют и, увеличив, подают на смотровое устройство П .

Однако кзвестный способ не позволяет совмещать изображения, расположенные на одной прямой линии, находящиеся в одной плоскости, не дает, достаточной точности и сложен для оператора за счет совмещения целых изображений, а также сложен в реализации.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ ориентации объекта, преимущественно печатной платы, включающий перемещение объекта, одновременное проецирование на экран изображений двух реперных знаков объекта Г2.

Недостатком известного способа являются небольщие технологические возможности.

Цель изобретения - расширение технологических возможностей.

Цепь достигается тем, что в способе -ориентации объекта, преимущественно печатной платы, включающем перемещение объекта, одновременное проецирование на экран изображений двух реперных знаков объекта, изображение одного из реперных знаков проецируют на экран зеркально отраженным по отношению к изображению второго знака. На фиг, 1 показано расположение слоя печатной платы с реперными зна ками на рабочем столе, ход лучей и рисунок совмещения на смотровом уст ройстве i на фиг. 2 - слой печатной платы смещен влево на фиг..3 - сло печатной платы смещен вправо; на фиг. 4 - слой печатной платы имеет положительный допуск на межцентро вое расстояние между реперными знаками ; на фиг. 5 - слой печатной пла ты имеет отрицательный допуск на ме центровое расстояние между реперным знаками. Сущность способа заключается в следующем. На рабочем столе 1 располагают слой печатной платы 2 с реперными знаками 2-1 и 2-2, имеющими допуска на межосевое расстояние L размеры:, наружные D+ и на внутренние d+E. Элементы изображений репер ных знаков подсвечивают каждый в отдельности и их увеличенные объективами 3 и 4 изображения через свою систему зеркал: для 2-1 - 5-7 и для 2-2 - 8 - подают на зеркало отражения-пропускания 9 с помощью лучей. Лучи соответственно от точек 10 11 внутреннего контура реперного зн ка 2-1 пройдя через систему зеркал 5-7,, оборачиваются на 180 , пр ходя через отверстие зеркала 9 и проецируют на экране 12 смотрового устройства зеркальное изображение этих точек. Лучи от точек 13 и 14 наружного контура реперного знака 2-2, пройдя объектив 3, отразившись от зеркала 8, попадают на зеркало 9, которое отражает изображение точек наружного контура. Изображение наружного контура реперного знака 2-2 проецируется на экране 12 смотрового устройства прямо. Таким образом, чтобы выставить слой платы, необходимо построить на одном экране проекционного смотрово го устройства одно полное изображение отметки совмещения путем одновр менного совмещения прямого и зеркал ного изображения неодинаковых элементов двух реперных знаков, находя ся в одной плоскости на одной прямо 4 На одном экране смотрового устройства 12 получают увеличенные при необходимости с разными коэффициентами увеличения и достраиваемые до вписанных или описанных фигур неодинаковые элементы реперных знаков 2-1 и 2-2 слоя печатной платы 2, причем величину возможного недостроения уравнивают перемещением слоя печатной платы на рабочем столе 1 . Идеальный случай - мм. В остальных случаях точность выставки реперных знаков определяют на основании величин погрешности К в мм, зависимой от величины интервала S в мм и кратности увеличения. Сзпцествует таблица зависимости этих величин, в которой учитываются возможности человеческого глаза. S - интервал, мм 1234 (в еличина недостроения) ; К - величина погрешности глаза, мм 0,0350,0500,0640,074 Формулу расчета фактической погрешности на величину недостроения S (до вписанных или описанных фигур) при совмещении неодинаковых элементов реперных знаков при выставке слон можно представить следующим образом. Величина погрешности глаза К в мм, соответствун щая интервалу S, деленная на кратность увеличения, дает фактическую погрешность на величину недостроения S в мм. Регулируя эти величины при создании конструкции, реализующей предлагаемый способ, получим точность выставки от сотых долей до нуля. Пример 1. Слой смещен, например влево (фиг. 2). Смещение по оси для левого реперного знака t. , для правого - t, что на экране с учетом коэффициента увеличения для каждого реперного знака соответствует t К и t К. .Изображения элементов реперных знаков в этом случае расходятся. Пример 2. Слой смещен вправо (фиг. З) , изобралсения реперных. знаков в этом случае на экране расходятся, поменяв направления. Из этого следует, что совмещение . .изображений происходит с удвоенной скоростью. 5 Пример 3. На,фиг. 4 слой 2 имеет положительный допуск на межцентровое расстояние между реперными знаками. При совмещении изобра жений элементов реперных знаков в р зультате оптического сложения слоя относительно оси симметрии допуск на межцентровое расстояние ($ автома тически располовинивается - S12., На экране 12 смотрового устройства изо ражение отдельных элементов реперных знаков смещено влево отноитель но оси симметрии экрана .на величину /2, помноженную на кратность ув личения.. Пример 4. При отрицательном допуске на. межцентровое расстояние (фиг. 5) изображение отдельных элементов реперных знаков смещено вправо относительно оси симметрии экрана на величину , помноженную на кратность увеличения. Из этого следует, что точность выставки .слоя по отметкам реперных знаков не зависит от величины и знака допуска на межцентровое расстояние. Величина смещения изображения реперных знаков влево или вправо относительно оси экрана смотрового устройства дает возможность судить о величине и . знаке допуска на межцентровое расстояние между ними. Таким образом, предлагаемый способ совмещения изображений позволяет повысить точность выставки слоя 6 печатной платы, усреднить допуск на исполнение реперных знаков, сократить время выставки, значительно повысить производительность труда оператора, Снизить квалификацию оператора, реализовать способ простыми и дешевыми средствами, исключить операцию контроля, благодаря гарантированной высокой- точности выставки. Формула изобретения Способ ориентации объекта, преимущественно печатной платы, включающий перемещение объекта, одновременное проецирование на экран изображений двух реперных знаков объекта, отличающийся тем, что,с целью расширения технологических возможностей, изображение одного из реперных знаков проециру- . ют на экран зеркально отраженным по отношению к изображению второго знака. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент Франции № 2079163, кл. Н 01 L 7/00, 1971. 2..Фотолитография и оптика. Под ред. Я.А.Федотова, Г.Поня, Советское радио, 1974, с. 283, рис. 11, 56.

tj-K i-K

2-1

12

Л

S/2

L,

/