(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ IIOBF.RXHOCTH
ДЕТАЛИ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Интерферометр для контроля измененияАбЕРРАций лиНз и зЕРКАл пРи зАКРЕплЕНиииХ B ОпРАВы | 1978 |
|
SU848999A1 |
| Интерферометр для контроля качествапОВЕРХНОСТЕй,ОпРЕдЕлЕНия АбЕРРАцийКРупНОгАбАРиТНыХ ОпТичЕСКиХ элЕМЕНТОВи иССлЕдОВАНия пРОзРАчНыХ НЕОдНОРОдНОСТЕй | 1979 |
|
SU848996A1 |
| Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей | 1986 |
|
SU1368623A1 |
| Интерференционное устройство для контроля линз | 1990 |
|
SU1758423A1 |
| Интеферометр для исследования качества поверхностей и аберраций крупногабаритных оптических элементов и прозрачных неоднород ностей | 1975 |
|
SU529362A1 |
| Интерферометр для контроля асферических поверхностей второго порядка | 1988 |
|
SU1627829A1 |
| Интерферометр для контроля вогнутых цилиндрических поверхностей | 1981 |
|
SU1000745A1 |
| НЕРАВНОПЛЕЧИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР | 2001 |
|
RU2215988C2 |
| Интерферометр для контроля оптических поверхностей | 1982 |
|
SU1065684A1 |
| Интерферометр | 1976 |
|
SU603840A1 |
I
Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, в частности к средствам контроля цилиндрической поверхности детали с интерференционной точностью, например деталей из оптического стекла.
Известен интерферометр для контроля поверхности детали, содержащий источник .света (лазер), объектив, коническую линзу, голограмму и экран I.
Недостатком этого интерферометра является невозможность комплексного контроля, а также то, что диаметр конической линзы ограничивает наружный диаметр цилиндрической детали, чрезвычайно затруднено измерение дефектов из-за переменной цены интерференционной полосы, которая зависит от угла падения лучей на цилиндрическую поверхность.
Наиболее блТ13ким к изобретению является интерферометр для контроля поверхности детали, содержащий источник света, светоделитель, делящий световой поток на две ветви, три зеркала, два из которых параллельны между собой и расположены соответственно в каждой из ветвей, под углом 45° к оптической оси интерферометра,.
зеркал&м, регистрирующее устройство и держатель детали 2.
Недостатками указанного интерферометра являются низкие производительность и точность контроля цилиндрических поверхностей.
Целью изобретения является повышение производительности и точности контроля цилиндрических поверхностей.
Поставленная цель достигается тем, что интерферометр снабжен двумя цилиндриto ческими линзами, расположенными между одним из двух параллельных зеркал и третьим зеркалом так, что их фокальные плоскости совмещены, а держатель детали размещен между этими линзами так, что его рсь симметрии совмещена с общей фокаль 5 -ной плоскостью.
. На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра длгГ контроля поверхности детали.
Интерферометр содержит источник I света, светоделитель 2, зеркала 3 и 4, расположенные паралле;1ьно между собой н Под углом 45° к оптической оси интерферомртпя тпртьр .чрпкяло 5. двеиилиндоичес
