Вакуумный агрегат Советский патент 1981 года по МПК F04D19/04 

(54) ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству высоковакуумных агрегатов на базе турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известны вакуумные агрегаты , содержащие турбомолекулярный и форвакуумный механический насосы с автономными приводами 1.

Недостатком известных агрегатов является невысокая экономичность вследствие неэффективного использования оборудования, в частности привода форвакуу1 1ного механического насоса, потребляемая мощность которого снижается по мере понижения давления в агрегате от атмосферного до соответствующего пуску турбомолекулярного насоса.

Цель изобретения - повышение зкономичности при выполнении привода турбомолекулярного насоса в виде газовой турбины.

Указанная цель достигается тем, что агрегат дополнительно содержит установленный на валу привода механического насоса компрессор высокого давления с р-зсивером, связанным со входом газовой турбины.

На чертеже представлена схема вакуумного ахрегата.

Вакуумный агрегат содержит турбомолекулярный и форвакуумный механи-. ческий насосы 1 и 2 с автономными приводами 3 и 4. Агрегат дополнительно содержит установленный на валу 5 привода 4 механического насоса 2 компрессор 6 высокого давления с ресивером 7, связанным со входом газовой турбины, выполняющий функции

10 привода J турбомолекулярного насоса 1.

Агрегат работает следующим образом.

Первоначально включается привод 4 форвакуумного механического насоса 2,

15 и полость турбомолекулярного насоса 1 откачивается до давления его запуска. При этом по мере понижения давления мощность, потр;эбляемая приводом 4 форвакуумного насоса 2, сни20 .жается. После достижения в полости турбомолекулярного насоса 1 давления запуска компрессор 6 высокого давления подключается к валу 5 привода 4 и через ресивер 7 подает сжатый газ

25 на газовую турбину, выполняющую функцию привода 3 турбомолекулярного насоса 1

Использование привода турбомолекулярного насоса в виде газовой тур30бины позволяет более эффективно использовать оборудование, входящее в состав вакуумного агрэгата, и повысить его экономичность.

Формула изобретения

Вакуумный агрегат, содержащий турбомолекулярный и форвакуумный механический насосы с автономными приводами, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности

при выполнении привода турбомолекулярного насоса в виде газовой турбины, агрегат дополнительно содержит установленный, на валу привода механического насоса компрессор высокого давления с ресивером, связанным со входом газовой турбины.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Вакуумная техника. Справочные материсшы. М., Реклама, 1975, с. 30,