Вакуумный агрегат Советский патент 1984 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен вакуумный агрегат, содержащий турбомолекулярный и форвакуумный насосы, соединяющий их трубопровод с запорным вентилем, блок управления и питания.

В этом агрегате форвакуумный насос используется для предварительного вакуумирования турбонасоса, а электронный блок- для управления преобразования частоты и частотного пуска электродвигателя турбонасоса 1.

Недостатком такого агрегата является сложность и высокая стоимость системы электропривода, в частности электронного блока питания и управления.

Наиболее близким к изобретению является вакуумный агрегат, содержащий турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода механический насос и ресивер 2.

Недостатками этого агрегата являются его невысокая экономичность, вследствие повышенного расхода электроэнергии, неэффективное использование оборудования компрессора и механического насоса. Кроме того, турбинный привод повышает уровень шума и опасность эксплуатации, вследствие работы оборудования под высоким давлением сжатого воздуха.

Целью изобретения является повышение экономичности и снижение уровня шума.

Указанная цель достигается тем, что в вакуумном агрегате, содержащем турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода механический насос и ресивер, турбина размещена в форван гумной полости турбомолекулярного насоса, а сопло сообщено с атмосферой патрубком.

Кроме того, патрубок снабжен венти лем.

Ресивер при помощи регулируемого клапана подсоединен к трубопроводу.

На чертеже изображена схема вакуумного агрегата.

Вакуу.мный агрегат содержит турбомолекулярный насос 1, снабженный приводом в виде газовой турбины 2 с подводящим соплом 3 и имеющий форвакуумную полость 4, соединенный с турбомолекулярным насосом 1 при помощи трубопровода 5 механический насос 6 и ресивер 7.

Турбина 2 размещена в форвакуумной полости 4 турбомолекулярного насоса 1, а сопло 3 сообщено с атмосферой посредством патрубка 8.

Патрубок 8 снабжен вентилем 9.

Ресивер 7 при помощи регулируемого клапана 10 подсоединен к трубопроводу 5.

Агрегат работает следующим образом.

Первоначально включается механический насос 6 и откачивается полость турбомолекулярного насоса 1 и ресивера 7 до 5 предельного остаточного давления. Затем открывается вентиль 9, и в сопло 3 поступает воздух из атмосферы. Струя воздуха, истекая через сопло 3 в вакуум, приобретает высокую скорость и, взаимодействуя с колесом турбины 2, приводит его во вращение 0 вместе с ротором турбомолекулярного насоса 1. По мере выхода ротора на рабочие обороты с помощью вентиля 3 постепенно уменьщают количество поступающего в сопло 3 воздуха.

Предлагаемый агрегат позволяет повысить экономичность за счет исключения из состава агрегата электродвигателя, герметичного электроввода, блока питания или компрессора и системы подачи сжатого газа на турбину, а также снижения потребляемой мощности.

1. ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ, содержащий турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода ме-, ханический насос и ресивер, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности и снижения уровня шума, турбина размещена в форвакуумной полости турбомолекулярного насоса, а сопло сообщено с атмосферой патрубком. 2.Агрегат по п. 1, отличающийся тем, что патрубок снабжен вентилем. 3.Агрегат по п. 1, отличающийся тем, что ресивер при помощи регулируемого клапана подсоединен к трубопроводу. СО