Вакуумный агрегат Советский патент 1982 года по МПК F04D19/04 

С 5) ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ

Изобретение относится к вакуум;ной технике. Известен вакуумный агрегат, содержащий соединенные последовательно турбомолекулярный насос и (}юрвакуумный механический насос 1. Недостатком известного агрегата является ограниченная скорость вращения ротора турбомолекулярного насоса вследствие использования в качестве привода электродвигателя, что обуславливает невысокую быстроту действия и степень сжатия насоса. Известен также вакуумный агрегат содержащий форва.куумный яасос и турбомолекулярный насос с приводом от газовой турбиныС23. Наличие привода от газовой турбин дает возможность варьирования скорое .ти вращения ротора турбомолекулярного насоса в широких пределах, однако использование в качестве рабочей сре ды, турбины сжатого воздуха ведет к о носительно низкой экономичности аг-j регата. Целью изобретения является повышение экономичности. Указанная цель достигается тем, что вход турбины сообщен с атмос(|)ерой посредством регулирующего элемента, а выход - со входом форвакуумного насоса. На чертеже представлена схема предлагаемого агрегата. Вакуумный агрегат содержит форвакуумный насос 1 и турбомолекулярный насос 2 с приводом от Газовой турбины 3 причем вход турбины 3 сообщен с атмосферой посредством регулирующего элемента 4, а выход - со входоА форвакуумного насоса 1. На форвакуумных магистралях установлены регулирующие элементй 5,6 и 7. Агрегат работает следующим образом. Перед запуском турбомолекулярного насоса 2 его полость откачивается до