Турбомолекулярный вакуумный агрегат Советский патент 1982 года по МПК F04D19/04 

(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных агрегатов.

Известен турбомолекулярный вакуумный агрегат, содержащий последовательно соединенные форвакуумный и турбомолекулярный насосы с приводными электродвигателями и систему управления и блокировки, включающую цепи питания электродвигателей от внещнего источника 1.

Недостатком известного агрегата является значительные энергозатраты.

Цель изобретения - снижение энергозатрат.

Указанная цель достигается тем, что на валу электродвигателя форвакуумного насоса установлен генератор, связанный цепью питания с электродвигателем турбомолекулярного насоса, а в цепи питания электродвигателя форВакуумного насоса установлено реле, контакты которого расположены в цепях питания электродвигателя турбомолекулярного насоса от внешнего источника и генератора.

На чертеже представлена схема агрегата.

Турбомолекулярный вакуумный агрегат содержит последовательно соединенные форвакуумный и турбомолекулярный насосы 1 и 2 с приводными электродвигателями 3 и 4 и систему 5 управления и блокировки, включающую цепи 6 и 7 питания электродвигателей 3 и 4 от внещнего источника, причем на валу электродвигателя 3 форвакуумного насоса 1 установлен генератор 8, связанный цепью 9 питания с электродвигателем

10 4 турбомолекулярного насоса 2, а в цепи 6 питания электродвигателя 3 форвакуумного насоса 1 установлено реле 10, контакты 11 и 12 которого расположены в цепях 7 и 9 питания электродвигателя 4 - турбомолекулярного насоса 2 от внещнего источника и

15 генератора 8.

Агрегат работает следующим образом.

При подаче питания от внешнего источника в цепи 6 и 7 срабатывает реле 10 и 20 замыкает нормально разомкнутые контакть1 12, расположенные в цепи 7 питания. Происходит запуск форвакуумного насоса 1 и разгон ротора турбомолекулярного насоса 2. По мере понижения давления на входе