Вакуумная система течеискателя Советский патент 1981 года по МПК F04F9/00 G01M3/02 

Изобретение относится к вакуумной техни- ке, а именно к устройству средств контроля герметичности вакуумных систем. Известны вакуумные системы течеискателей, содержащие масс-спектрометрическую камеру, соединенную со входом .диффузионного насоса И. Недостатком известной системы, является ограниченная чувствительность течеискателя вслед ствие наличия значительного фона остаточных газов в масс-спектрометрической камере. Цель изобретения - повышение чувствительности течеискателя. Указанная цель достигается тем, что в массспектрометрической камере размещена улитка коробчатого сечения, соединенная со входом диффузионного насоса. На фиг. 1 представлена вакуумная система течеискателя; на фиг. 2 - масс-слектрометрическая камера, поперечный разрез; на фиг. 3 сечение А-А на фиг. 2. Вакуумная система течеискателя содержит . мас«-спектрометрическую камеру 1, соедииенную со входом диффузионного насоса 2, npib чем в масс-спектрометрической камере 1 размещена улитка 3 коробчатого сечения, соединенная со входом диффузионного насоса 2. В масс-спектрометрической камере I расположены источник 4 ионов и коллектор 5 (траектория 6 движения ионов пробного газа показана пунктиром), а выход диффузионного насоса 2 соединен со входом форвакуумного насоса 7 посредством трубопровода 8. Система работает следующим образом. Пробный газ, при помощи которого исследуемый объект проверяется на герметичность, попадая в масс-спектрометрическую камеру 1, ионизируется и его ионы из источника 4 под действием перпеидикулярных электрического и машктного полей по круговой траектории 6 достигают коллектора 5, где преобразуются в электрический сщ-нал, соответствующий количеству пробного газа и фиксируемый регистрирующей аппаратурой. Улитка 3 размещена в масс-спектрометрической камере 1 таким образом, что меньший ее радиус больше радиуса траектории 6 движения ионов пробного газа. При этом ионы болышшства остаточных газов

386

(в случае использования в качестве пробного газа гелия - всех остаточных газов, кроме водорода) будут попадать в улитку, так как

радиус траектории движения ионот при наличии перпендикулярных электрического и магнитиого полей больше, чем больше масса иона, а оттуда в диффузионный насос 2.

Таким образом, при размещении в маСсспектрометрической камере течеискателя улитки, соединенной со входом диффузионного на-. coca, значительно уменьшается количество ионов остаточных газов, сл)гчайно попадаюидах на коллектор и создающих нежелательный фон

результате чего чувствительность течеискателя

в целом повышается.

Формула изобретения

Вакуумная система течеискателя, содержащая масс-спектрометрическую камеру, соединенную со входомГ диффузионного насоса, о тл и чающаяся тем, что, с целью повышения чувствительности течеискателя, в масс-спектрометрической камере размещена улитка корюбчатого сечения, соединенная со входом диффузионного насоса.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Глазков А. А. и др. Учебная лаборатория вакуумной техники (теория и практикум). М., Атомиздат, 1971, с. 135. .

-А

Фиг.