Проекционный объектив с увеличением -1/5 @ Советский патент 1990 года по МПК G02B13/24 

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов.

Целью изобретения является увеличение поля зрения объектива.

На фиг. 1 приведена оптическая схема объектива; на фиг. 2 - частотно-контрастные характеристики

(линия - идеальная система,

линия - - меридиальное сечение, . -.- - сагиттальное сечение).

Объектив состоит из четырнадцати линз, собранных в одиннадцать компонентов. Цервый компонент - отрицательный мениск 1, обращенный вогнутостью к полости предметов, второй - отрицательный мениск 2, обращенньпЧ выпуклостью к плоскости предметов, третий - двояковыпуклая линза 3, четвер- тьй и пятый - положительные мениски 4 и 5, обращенные выпуклостью к штос- кости предметов, шестой - отрицательный мениск, обращенНьпЧ выпуклостью к плоскости предметов и склеенньп из положительной 6 и отрицательной 7 линз, седьмой - отрицательньй мениск 8, обращенньв выпуклостью к плоскости предметов, восьмой - отрицательный мениск 9, обращенный вогнутостью к,плоскости предметов, девятый - по01

оо

ложительный мениск, обращенньй вогнутостью к плоскости предметов и склеенный из отрицательной 10 и положительной 11 линз. Десятый - двояковыпуклая линза 12, одиннадцатый - ifo- ложительньй мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из положительных менисков 13 и 14,

Объектив имеет высокую степень коррекции аберрации для области спектра 404,6 + 5 нм. Увеличение объектива - i/5x. Апертура 0,27, поле зрения 2S мм.

Предлагаемый объектив имеет преимущество перед известным, увеличено поле изображения др f 28 мм, что позволит размещать большее количество полупроводниковых приборов на пластине rtpH одном экспонировании.

Ф о р мула изобретен и я

Проекционный объектив с увеличением - 1/5х,включаю1191й одиннадцать компонентов,первый из которых -отрицательный мениск, второй - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, третий - двояковыпуклая линза, четвертьй и пятьй - по- ложительные мениски, обращенные выпуклостью к плоскости предметов, шестой - склеенный отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, седьмой - отрицательньй

O мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, восьмой - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов,девятьп1 компонент - положительный мениск, об5 ращенный вогнутостью к плоскости предметов и склеенньп из положительной и отрицательной линз,десятый компонент - двояковыпуклая линза, одиннадцатый компонент - склеенный положительный

Q мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, от ли ч а ю- р и и с я тем, что, с целью увеличе- .ния поля зрения, первый компонент обращен вогнутостью к плоскости пред5 метов и имеет соотношение радиусов

1:2, а одиннадцатый компонент выполнен склеенным из двух положительных менисков.

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов. Цель изобретения - увеличение поля зрения объектива. Проекционный объектив содержит одиннадцать компонентов, первый из которых отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов с соотношением радиусов 1:2, второй - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, третий - двояковыпуклая линза, четвертый и пятый - положительные мениски, обращенные выпуклостью к плоскости предметов, шестой - склеенный отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, седьмой и восьмой - отрицательные мениски, обращенные выпуклостью и вогнутостью к плоскости предметов, соответственно, девятый - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов и склеенный из положительной и отрицательной линз, десятый-двояковыпуклая линза, а одиннадцатый - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и выполненный из двух положительных менисков. 2 ил.

/7y ocffoc/rftj . /тре нетоВ

а

Н j

8 9 10 111213Щ I

И1Л

фиг.1