Способ получения газопоглотительного покрытия Советский патент 1981 года по МПК H01J7/18 

I

Изобретение относится к производству элект-i ровакуумных приборов и откачных элементов, испольэуемых в высоковакуумной электрофизической аппаратуре.

Для поддержания вакуума в электронных приборах используют актвный состав для нераспыляемых газопоглотителей - цето, представляющий смесь, включающую 50-80% металлического тория и 50-20% сплава из 72% цермищмёталла с 28% алюминия. Преимуществом . этого состава перед всеми другими иераспыляемыми газопоглотителями является его высокая сорбционная активность по окиси и двуокиси углерода уже при нормальной температуре.

Известен способ получения геттерного покрытия из порошка цето, основанный на применении связующего вещества (биндера) .

Однако наличие невыго1)евцл1х остатков биндера в покрытии резко снижает сорбщюнную активность геттера и увелицгеает газовыде;|ение из него при термообработке прибора.

Кроме того, слабая ашезионная прочность покрытия вь1зывает частые сколы при активировке геттерного покрытия и его осыпаиие при вибрации прибора.

Наиболее близким к предлагаемому является безбиндерный способ получения геттерных покрытий с помощью плазмедао-дугового напыления в инертной среде. Этим способом получают титановые или циркониевые покрытия обладающие хорощей адгезионной прочностью, но низкой активностью в части всех газов, кроме водорода, нормальной температуре 2.

Однако при использовании известного способа для получения покрытия из порошка типа цето сцепление такого покрытия со всеми обычными подложками (сталь, никель,. медь, молибден и др.) оказывается очень слабым.

Цель изобретения - получение безбиндерного геттерного покрытия из порошка цето, обладающего высокой адгезионной прочностью, и, как следствие, улучшение вакуума в ЭВП и электрофизической аппаратуре, где основным компонентом остаточной среды является окись углерода.

Поставленная цель достя1ается тем, что сопшсно способу получения газопоглотительного