Криогенный насос Советский патент 1982 года по МПК F04B37/08 F04B37/02 

(54) КРИОГЕННЫЙ НАСОС

I

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криогенных вакуумных насосов.

Известны криогенные насосы, содержащие корпус с расположенными в нем внутри охлажцаемого теплозащитного экрана охлаждаемыми криопанелями, на поверхности которых размещен адсорбент 1.

Недостатком известных насосов является невысокий предельный вакуум, обусловленный сравнительно высокой температурой криопанелей, перегреваемых за счет излучения с поверхности экрана.

Цель изобретения - повыщение продольного вакуума.

Указанная цель достигается тем, что криопанели снабжены ребрами, образующими каналы для прохода газа к адсорбенту, причем ребра вьшолнены в виде шевронов.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Криогенный насос содержит корпус 1 с расположенными в нем внутри охлаждаемого теплозащитного экрана 2 охлаждаемыми криопанелями 3, на поверхности которых размещен адсорбент 4, причем криопанели 3 снабжены ребрами 5, образующими каналы 6 для прохода газа к адсорбенту 4. Ребра 5 выполнены в виде шевронов. Криопанели 3 подключены к криогенератору 7.

Насос работает следующим образом.

Криогенератор 7.вырабатывает холод на двух температурных уровнях: высоком - для охлаждения теплозащитного экрана 2, и низ10ком - для охлаждения криопанелей 3. Откачиваемый газ, попадающий в полости теплозащитного экрана 2, достигает криопаиелей 3. При этом легкоконденсируемые компоненты газовой смеси конденсируются на ребрах 5, а

15 трудноконденсируемые компоненты по каналам 6 поступают к адсорбенту 4 и адсорбируются. ,

Выполнение криогенного насоса с ребрами

30 на поверхностях криопанелей позволяет защитить адсорбент от теплопритоков с экрана, понизить его температуру и тем самым повысить предельный вакуум насоса.