Криогенный насос Советский патент 1983 года по МПК F04B37/08 

00

со

О)

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен криогенный насос, содержащий охлаждаемый экран и размещенные в нем гофрированные криопанели, подключенные к криогенератору 1.

При работе известного насоса часть теплового потока отражается от внутренней поверхности экрана и попадает на криопанели, что ухудшает экономичность откачки газов.

Цель изобретения. - повыщение экономичности насоса.

Цель достигается тем, что криогенный насос, содержащий охлаждаемый экран и размещенные в нем гофрированные криопанели, подключенные к криогенератору, дополнительно содержит установленный на его входе жалюзийный экран, а охлаждаемый экран с внутренней стороны снабжен зачерненными ребрами из высокотеплопроводного материала.

На чертеже показан предлагаемый насос, разрез.

Крибгенный насос содержит охлаждаемый экран 1 и размещенные в нем гофрированные криопанели 2, подключенные к криогенератору 3, и установленный на входе жалюзийный экран 4, а охлаждаемый экран- 1 с внутренней стороны снабжен зачерненными ребрами 5 из высокотеплопроводного материала.

Насос работает следующим образом.

После предварительного вакуумирования полости насоса включается криогенератор 3, который охлаждает криопанели 2 и экраны 1 и 4. На криопанелях конденсируются откачиваемые газы, поступающие через жалюзийный экран 4. Одновременно с этим через экран 4 проникает тепловое излучение. Многократно поглощаясь зачерненными поверхностями, образующими межреберное 5 пространство экрана 1, тепловое излучение на 97-98% поглощается экраном 1.

Преимущество предлагаемого насоса заключается в том, что выполнение на внутренней поверхности экрана ребер из высокотеплопроводного материала, имеющих покрытие с высокой поглощающей способностью, позволяет снизить в 2-3 раза теплопритоки к криопанели от излучения, проникающего со стороны входа газа в насос.