Вакуумный криогенный насос Советский патент 1982 года по МПК F04B37/08 

(5) ВАКУУМНЫЙ КРИОГЕННЫЙ НАСОС Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям кри огенных средств получения вакуума. Известен вакуумный криогенный насос, содержащий корпус с входным патрубком и расположенные в корпусе внутри охлаждаемого теплозащитного экрана с жалюзийной решеткой криопанели 1 . Недостатком известного насоса является невысокая быстрота дей ствия вследствие значительного со;противления жалюзийной решетки поток откачиваемого газа. Цель изобретения - повышение быст .роты действия насоса. Указанная цель достигается тем, что решетка выполнена конической с вершиной конуса, обращенной к крио панелям, жалюзи расположены паралпельно оси входного патрубка, а угол при вершине конуса определяется по ; формуле oL 2 arcin Cf,, где Cn - вероятность пролета молекул газа через решетку. На чертеже показан насос, продольный разрез. Вакуумный криогенный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2 и расположенные в корпусе 1 внутри охлаждаемого теплозащитного экрана 3 с жалюзийной решеткой криопанели 5, причем решетка k выполнена конической с вершиной конуса, обращенной к криопанелям 5,и жалюзи 6 расположены параллельно оси входного патрубка 2. Экран 3 установлен на фланце 7 криогенератора 8,. охлаждаемом до температуры порядка 80К, а криопанели - на фланце 9 криогенератора 8, охлаждаемом до температуры порядка 20К.