венная обработка кромок дает возможность в дальнейшем компенсировать неоднородность наростов на кромке кремниевой пластины при нанесении на ее поверхность способом испарения эпитаксиального слоя. Это позволяет уменьшить брак после нараш;ивания эпитаксиального слоя.
Формула изобретения
Абразивный круг, содержаший корпус со скосами на торцовых поверхностях и установленные на них в шахматном порядке абразивные элементы, отличающийся тем, что, с целью повышения качества }илифования при двусторонней обработке кромок деталей, абразивные элементы установлены с вылетом, обеспечивающим перекрещивание с образованием рабочей поверхности в виде двугранного угла.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент Германии № 441894, кл. 67с 1, 1927.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СВЯЗУЮЩЕЕ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АБРАЗИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ И ИНСТРУМЕНТОВ (ВАРИАНТЫ) | 2005 |
|
RU2307859C2 |
| СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ВЫСТУПАЮЩИХ ДЕФЕКТОВ С ПОВЕРХНОСТИ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ | 1970 |
|
SU433570A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ШУНТИРУЮЩЕГО ДИОДА ДЛЯ СОЛНЕЧНЫХ БАТАРЕЙ КОСМИЧЕСКИХ АППАРАТОВ | 2009 |
|
RU2411607C1 |
| БУЛЯ НИТРИДА ЭЛЕМЕНТА III-V ГРУПП ДЛЯ ПОДЛОЖЕК И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ПРИМЕНЕНИЯ | 2001 |
|
RU2272090C2 |
| СПОСОБ ГЕТТЕРИРУЮЩЕЙ ОБРАБОТКИ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР | 1999 |
|
RU2176422C2 |
| Абразивный инструмент | 1987 |
|
SU1495103A1 |
| Способ шлифования сложнопрофильных изделий | 1981 |
|
SU965733A1 |
| СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ЗАУСЕНЦЕВ И СКРУГЛЕНИЯ ОСТРЫХ КРОМОК | 1991 |
|
RU2008173C1 |
| ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ФАСОК И КРОМОК ОТВЕРСТИЙ | 1991 |
|
RU2045385C1 |
| Способ заточки режущих кромок инструментов | 1988 |
|
SU1565656A1 |
-А
фиг. 2
