Способ удаления загрязнений с поверхности подложек кинофотоматериалов Советский патент 1981 года по МПК G03C5/00 

Изобретение относится к способам удаления загрязнений с поверхности подложек кинофотоматериалов и может быть использовано в химико-фотографической промышленности, а также в фото литографических процессах при изготов лении полупроводниковых приборов в микроэлектронике и радиотехнике. Известен способ удаления загрязнений с поверхности подложек кинофото материалов путем обработки поверхности струей поверхностно-активного вещества, имеющей скорость 130 м/с и удаления его остатков воздушной струей 1. Недостатком известного способа является его неудовлетворительная эффективность: на подложке остается большое количество загрязнений в виде пыли, что приводит к снижению, напри мер, качества фотошаблонов, изготавливаемых из фотоматериалов. Цель изобретения - повышение эф фективности способа. Поставленная цель достигается тем, что поверхностно-активное вещество (ПАВ) подают на поверхность подложки кинофотометериалов в виде струи аэрозоля со скоростью 180-220 м/с. . На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство. Устройство содержит опорный валик 1 для подложки 2. Вдоль подложки,опирающейся на валик 1 , направлены выходные щели аэрозольной 3 и воздухонагнетающей k головки. Аэрозольная головка 3 содержит распределительную камеру 5 для воздуха и распределительную камеру 6 для моющей жидкости. Воздухонагнетающая головка 4 имеет воздухораспределительную камеру 7. Возле выходной щели головки 3 имеется камера отсоса аэрозоля 8, а возле выходной щели головки k - камера отсоса S Заборный патрубок воздушного насоса 10 соединен с камерами отсоса 9 и 10. Выходной патрубок насоса 10 через влагоотделитель 11 и 3 фильтр 12 соединен с воздухораспределительными камерами 7 и 5 головок 3 и 4. Бак 13 для моющей жидкости через насос 14 и фильтр 15 соединен с распределительной камерой 6 для моющей жидкости. Устройство работает следующим образом. Подложка 2 равномерно движется, опираясь на валик 1. Моющая жидкость ПАВ из бака 13 подается насосом Н через фильтр 15 в распределительную камеру 6 аэрозольной головки 3. В газораспределительную камеру 5 этой (же головки воздушным насосом 10 через влагоотделитель 11 и фильтр 12 подается воздух. Воздух, проходя через выходную щель головки 3 смешивается с ПАВ из камеры ,6, таким образом, на выходе головки 3 получается струя аэрозоля ПАВ. Частицы аэр золя бомбардируют и открывают загряз нения с подложки 2. Избыток аэрозоля отсасывают из камеры 8 насосом 10. ПАВ из отсасываемого аэрозоля отделя во влагоотделителе 11 и снова подают в бак 13. Сжатый воздух от насоса 10 поступает также в камеру 7 воздухона гнетающей головки . Струя воздуха, выходя из щели головки , обдувает поверхность подложки 2 и удаляет с нее оставшееся ПАВ. Образующийся при этом туман отсасывают из камеры 9 насосом 10.. Пример. На подложку кинофотоматериала наносят частицы мелкодисперсной сажи. Длина участка загрязняемой подложки составляет 200 мм. С помощью микроскопа подсчитывают число частиц сажи на загрязненном участке Затем подложку протягивают через ис-т пытываемую установку, к двухколлекторной головке, к которой подсоединены насос для подачи моющей жидкости и воздуходувка. Подсчитывают количество частиц после очистки струей аэрозоля. Вычисляют отношение разности числа частиц на загрязненном участке до и после прогона через обеспыливающую установку к числу частиц до прогона. Для сравнения подложку с загрязненным участком такой же длины протягивают через испытуемую установку, у которой от двухколлекторной головки отключена воздуходувка и очистку ведут сплошной струей жидкости. Эффективность очистки определяют, как и в предыдущем случае. При испытании меняют состав ПАВ, его расход, скорость истечения струи аэрозоля, скорость движения очищаемой подложки и другие параметры. Примеры конкретного выполнения способа сведены в табл. 1. Таблица I

Триацетатцел- О , раствор люлознаяСВ-102

18

9, раствор СВ-105

0,5%-ный раствор СВ-11 7

Триацетатцел- 1 о-ный раствор ч люлознаяэтилового спирта.

0, раствор

||

30 СВ-105

250

180 250 180 250 200 280 200 280 200

Результаты, полученные при скорости продвижения подложки 18,30 и Как следует из приведенных данных предлагаемый способ является более эф фективным по сравнению с известным и позволяет более полно удалять загрязнения с поверхности подложек кино фотоматериалов, что значительно повышает качество материалов. Формула изобретения Способ удаления загрязнений с поверхности подложек кинофотоматериалов путем обработки поверхности поПродолжение табл. 1

45 м/мин и при использовании различных ПАВ, сведены в тбал. 2.

Таблица2 верхностно-активным веи еством и удаления его остатков воздушной струей, отли чающийся тем, что, с целью повышения эффективности способа, обработку поверхности осуществляют струей аэрозоля поверхностноактивного вещества, которую подают со скоростью 180-220 м/с. Источники информации , принятые во внимание при экспертизе 1. Заявка ФРГ М 2056571, кл. 57 в 1/7, опублик. 1971 (прототип) ..