Сверхвысоковакуумный затвор Советский патент 1984 года по МПК F16K3/10 F16K31/16 

о: а

со Изобретение относится к вакуумной текнике, в частности к вакуумной коммутационной аппаратуре, и может быть использовано в вакуумных системах, требующих применения высокотемпературкого прогрева. Известен сверхвысоковакуумный aaiw вор с эпектропневматическим приводом, имеющий цва исполнительных органа, оцин из которых перемещает уппотнитепьный орган цо полного открытия или перекрытия прохоцных отверстий, а другой осуществляет герметичное уплотнение седла затвора 13 . Недостатки известного затвора - слож ность и пониженная надежность автома тического управления, а также повышенные масса и габариты, в частности расстояние между фланцами проходного отверстия, что уменьшает проводимость затвора. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и- достигаемому результату является сверквысоковакуумный затвор, содержащий шибер со ступицей и уплотнением, расположенный между фланцами с проходными отверстиями и связанный в вакуумной полости с механизмом перемещения, снабженным рычагом и управляемым подвижным в осевом направпении диском, герметично соединенным с фланцами посредством сильфовов и связанным с приводом С2 3 . Недостатком указанного затЬора является сложность механизма силового привоца. увепачивающего расстояние между фланцами прокодного отверстия и имеющего тяжелонагруженные пары трения, что приводит к уменьшенной проводимооти затвора Т пониженным ресурсу и наде ности работы. Кроме того, конструкция механизма перемещения сложна для регулировки положения шибера и требует повышенного .хода сильфонов для полного открытия и перекрытия, что также увеличивает рао стояние между фланцами. Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение надежности и долговечности. Поставленная цель дсх тигается тем.что в сверхвысоковакуумном затворе, содерж щем шибер со ступицей и уплотнением, расположенный между фланцами с проход ными отверстиями и связанный в вакуумной полости с механизмом перемещения, снабженным рычагом и управляемым подвижным в осевом направлении диском герметично соединенным с фланцами поо редством сильфонов и связанным с приводом, механизм перемещения снабжен подпружиненной втулкой, установленной на фланце с возможностью осевого пер&мещения и имеющей радиальный палец, а рычаг выполнен в виде випки, снабженной ступицей с профилированным , в который введен палец втулки, причем ступица шибера снабжена роликом, расположенным внутри вилки рычага. На фиг.1 изображен высоковакуумный затвор, разрез; на фиг. 2 - фланец с механизмом, перемещения в закрытом положении затвора; на фиг. 3 - механизм перемещения шибера в открытом положении затвора, разрез; на фиг. 4 разрез А-А на фиг. 3; на фиг. 5 - вид Б на фиг. 3 (01 при открытии и перекрытии проходного отверстия; 5 - при герметизации и разгерметизации затвора). Затвор состоит из фланца 1, содержащего седло 2 и проходное отверстие 3, и фланца 4 между которыми через разъемные герметичные уплотнения 5 и 6 размещен сильфонный узел, COCTOS щий из фланца 7 с проходным отверстием 8, диска 9 и герметично соединенного с ними сильфонами 10 и 11 подвижного диска (поршня) 12. Между фланцем 4 и диском 9 размещен герметично уплотненный прокладками 13 и 14 цилиндр 15, полость которого разделена кольцевым уплотнением 16 поршня 12 на две камеры 17 и 18, которые соединены через управляющее устройство с источником сжатого газа или жидкости (не показан). Внутри вакуумной полости на фланце 1 расположен механизм перемещения шибера 19 (фиг.2). Механизм перемещения (фиг.З и 4) имеет подвижную втулку 20, контактирующую с основанием поршня 12 и размещенную в корпусе 21 с основанием 22 на пружинах 23. Во втулке 20 в радиальном направлении относительно ее оси на подшипнике 24 расположен палец 25, конец которого входит в профилированный паз 26 ступицы 27 (фкг,5) рычага 28, выполненного в виде вилки. Ступица 27 рйзмещена на пйдшшшиках 29 неподвижной оси ЗО. Конец рычага 28 охватывает ролик 31, насаженный на неподвижную ось 32, размещенную эксцентрично на ступице 33 шибера 19 с уплотнением 34 относительно ее оси 35. Между оскованием ступицы 33 и основанием 22 размещены пружины 36. Затвор работает следующим образом. При его открытии в камеру 17 управ ляющее устройство подается сжатый воэ дух и поршень 12 движется поступа :тепьно вцопь оси проходных отверстий влево, снимая усилие герметизации с уппотнитепьной пары (уплотнение 34-сед по 2). При этом под воздействием пружин 36 шибер 19 отходит от сецпа 2, двигаясь поступательно относительно оси проходных отверстий 3 и 8, вследствие того, что конец пальца 25 втулки 2О, движущейся под воздействием пружин 23, находится в npjbмой части паза 26 ступицы 27 (фиг.5) и не передает движения рычагу 28, который остается в покое, не воздействуя на ступицу 33 шибера 19. Таким образом, при размещении пальца 25 в прямой части профилированного паза 26 шибер 19 может двигаться толь ко поступательно вдоль оси проходных отверстий, при этом длина прямой части паза 26 рассчитывается так, чтобы при разгерметизации между уплотнением 34 шибера 19 и седлом 2, а также между торцом шибера 19 и поршнем 12 были образованы гарантированные зазоры цпя предотвращения повреждений уплотнительных поверхностей. После образования указанных гарантированных зазоров поступательное движение поршня 12 под воздействием пружин 36 ограничивается упором ступиЦЬ1 33 в корпус 21. При последующем движении поршня 12 втулка 20, перемещаясь поступательно под воздействием пружин 23, выводит конец пальца 25 из прямой части паза 26 ступицы 27 на наклонную часть. При этом палец 25, двигаясь поступательно и воздействуя на наклонную часть паза ступицы 27, преобразует поступательное движение втулки 20 во вращательное движение ступицы 27 вокруг неподвижной оси 30. Ступица 27, вращаясь, поворачивает связанный с ней рычаг 28, который, в свою очередь, воздействует через ролик 31 на ось 32, закрепленную на. ступице 33 шибера 19 и смещенную относительно оси поворота ступицы 33 ра расстояние, гарантирующее угол поворота шибера 19, соответствующее полному открытию и перекрытию им проходных отверстий 3 и 8. Таким образом, рычаг 28, воздействуя на ось 32, заставляет поворачиваться вокруг оси 35 ступицу 33 и связанный с ним шибер 19, открывая проходное отверстие 3, при этом передаточные отношения между звеньями механизма перемещения выбраны так, что при незначительном поступательном ходе поршня 12 обеспечивается полное открытие и перекрытие проходимых отверстий. После этого давление в камере 17 снимается. Закрытие клапана происходит в обратной последовательности, при этом сжатый воздух подается в камеру 18. Технико-экономическая эффективность изобретения заключается в повышении проводимости предлагаемого затвора, ресурса работы, надежности, а также в упрощении его конструкции.

Фие.2

Buff В

СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР, содержащий шибер со ступицей и уплотнением, расположенный межцу ф 1анцами с прохоцными отверстиями и связанный в вакуумной полости с меканиэь мом перемещения, снабженным рычагом и управляемым подвижным в осевом направлении диском, герметично соециненным с фланцами посредством сипьфонов и связанным с приводом, о т л и ч а и и с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности и долговечности, механизм перемещения снабжен подпружиненной втулкой, установленной на фланце с возможностью осевого перемещения и имеющей радиальный палец, а рычаг выполнен в виде вилки, снабженной ступицей с профис в лированным пазом, в который введен втулки, причем ступица шибера снаб(Л жена роликом, расположенным внутри вилки рычага.