Вакуумная установка Советский патент 1982 года по МПК C23C13/10 

1

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для загрузки и выгрузки изделий в за куумных установках со шлюзовыми сис темами и устройствами нанесения покрытий.

Известна вакуумная установка, содержащая шлюзовую камеру и корпус с размещенными в нем подложкодержа- телями, закрепленными на карусели с возможностью герметизации в шлюзовой камере р.

В установке ненадежная система откачки шлюзовой камеры относительно карусели с подложкодержателями.

Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности является вакуумная установка, содержащая корпус с размещенными в нем цилиндрически ми подложкодержателями, закрепленными на карусели, фланец, расположенный метщу одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически соединенный

со штоком возвратно-поступательного перемещения и, откачной патрубок l2 ,

Недостатком этого устройства яв ляется обязательное наличие в шлюзовой камере или в системе его откачки клапана, имеющего отдельный, например, электромагнитный привод, на КОТО1ШЙ необходимо подавать управлякиций сигнал (команду) после герметизации шлюза для откачки и снимать

10 этот сигнал перед разгерметизацией шлюза для загпузки-выгрузки изделий.

Это снижает надежность работы установки, так как в случае отсутISствия управляющего сигнала или выхода из строя привода клапана давление в шлюзовой камере не будет понижено до необходимого уровня и при соединении с корпусом резко повысит

Ж давление в нем, что приведет к браку при обработке изделий.

Цель изобретения - повышение надежности работы установки. 3 Указанная цель достигается тем, что вакуумная установка, содержа.щая корпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержателями, закрепленными на карусели, фланец, расположенный между одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически со диненный со штоком возвратно-поступательного перемещения, и откачной патрубок, снабжена сильфоном и пружинами, размещенными коаксиально фланцу, выполненному V-образной формы, закрепленными на откачном патрубке и фланце, и двумя параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке, один из которых расположен в долости фланца, а другой - в полости откачного патрубка, причем в основаниях фланца и корпуса выполнены отверстия, соосные оси штока. В установке управление откачной шлюзовой камеры осуществляется двумя параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке. При этом от падает необходимость в отдельном приводе клапанов, что повьш1ает надежность работы установки. На фиг о 1 изображена установка при загрузке-выгрузке изделий; нафиг. 2 - то же, после, окончания загрузки изделийо Установка содержит корпус 1 с крышкой 2, на которой размещена крышка 3 шлюза. На карусели 4, расположенной в корпусе 1, установлены на пружинах 5 цилиндрические подлож кодержатели 6, которые могут герметизировать шлюз при помопщ фланца 7 U-образной формы и прокладок 8 и 9. На днище корпуса 1 герметично закреплен откачной патрубок 10. В откачном патрубке 10 посредством сильфона 11 установлен фланец 7. Для подъема фланца 7 в откачном патрубке 10 смонтированы пружины 12. Через центральные отверстия фланца 7 и откачного патрубка 10 проходит шток 13 привода, на котором закреплены два параллельных клапана 14 и 15. Установка работает следующим об разом. Для загрузки-выгрузки изделий шток 13 перемещается вверх и фланец 7 под действием пружин 12 поднимает цилиндрический подложкодержател 6 И герметизирует при помощи прокладок 8 и 9 отверстие в крьшке 2, при зтом в верхнем крайнем положении штока 13 клапан J5 negeKpHBaeT отверстие в откачном патрубке 10 и прекращает откачку |Шлюза. Затем напускается воздух и крышка 3 шлюза откры вается. После загрузки-выгрузки изделий крышка 3 шлюза закрывается и подается сигнал (команда) на опускание штока 13, при этом скорость перемещения штока 13 и скорость откачки шлюза выбираются так, чтобы при перекрытии клапаном 14 отверстия во фланце 7 давление снизилось до уровня, при котором возможно шлюзование. Продолжая движение, шток 13 через клапан 14 перемещает фланец 7 в крайнее нижнее положение а цилиндрический подложкодержатель 6 под действием пружин 5 устанавливается на карусель 4, которая поворачивается и устанавливает иод отверстием в крьш1ке 2 цилиндрический подложкодержатель 6 с изделием, прошедвшм обработку. Затем цикл шлюзования повторяется. Надежность работы предлагаемого устройства выше, так как в его конструкции отсутствует отдельный привод клапана, коммутирующего систему откачки шлюза, а следовательно, и количество сигналов команд в системе управления меньше. Формула изобретения Вакуумная установка, содержащая корпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержателями, закрепленными на карусели, фланец, расположенный меащу одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически соединенный со штоком возвратно-поступательного перемещения, и откачной патрубок, отличающаяс я тем, что, с целью повьшгения надежности работы установки, она снабжена сильфоном и пружинами, размещенными коаксиально фланцу, вьшолненному и-образной формы, закрепленными на откачном патрубке и фланце, и двумя параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке, один из которых расположен в полости фланца, а другой в полости откачного патрубка, причем в основаниях флан