ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА Советский патент 1995 года по МПК C23C14/56 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для загрузки и выгрузки изделий в вакуумных установках со шлюзовыми системами и устройствами нанесения покрытий.

Известна вакуумная установка, содержащая корпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержателями, закрепленными на карусели, фланец, расположенный между одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически соединенный со штоком возвратно-поступательного перемещения, и откачной патрубок, при этом она снабжена сильфоном и пружинами, размещенными коаксиально фланцу, выполненному U-образной формы, закрепленными на откачном патрубке и фланце, и двумя параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке, один из которых расположен в полости фланца, а другой в полости откачного патрубка, причем в основаниях фланца и корпуса выполнены отверстия, соосные оси штока.

Недостатком этой установки является обязательное наличие клапана для напуска воздуха, имеющего отдельный, например, электромагнитный привод, на который необходимо подавать управляющий сигнал (команду) для разгерметизации шлюзовой камеры перед выгрузкой-загрузкой изделий и снимать этот сигнал после герметизации шлюзовой камеры.

Это снижает надежность работы установки, так как в случае отсутствия управляющего сигнала или выхода из строя привода клапана давление в шлюзовой камере не будет повышено до атмосферного и выгрузка-загрузка изделий будет невозможна.

Цель изобретения повышение надежности работы установки достигается тем, что вакуумная установка по авт. св. N 901356 снабжена дополнительным штоком с закрепленными на его противоположных торцах дополнительными клапаном и пружиной, а вдоль оси штока возвратно-поступательного перемещения выполнено отверстие для дополнительного штока, при этом дополнительный клапан расположен в полости U-образного фланца, а пружина дополнительного штока расположена между его торцом и торцом штока возвратно-поступательного перемещения.

В установке шток возвратно-поступательного перемещения и дополнительный шток перемещаются от привода, что повышает надежность ее работы, т. к. отпадает необходимость в отдельном приводе клапана напуска воздуха в шлюз вакуумной установки. На фиг. 1 изображена установка в период загрузки-выгрузки изделий 1; на фиг. 2 установка после окончания загрузки изделий.

Установка содержит корпус 1 с крышкой 2, на которой размещена крышка 3 шлюза. На карусели 4, расположенной в корпусе 1, установлены на пружинах 5 цилиндрические подложкодержатели 6, которые могут герметизировать шлюз при помощи фланца 7 U-образной формы и прокладок 8 и 9. На днище корпуса 1 герметично закреплен откачной патрубок 10. В откачном патрубке 10 посредством сильфона 11 установлен фланец 7. Для подъема фланца 7 в откачном патрубке 10 смонтированы пружины 12. Через центральные отверстия фланца 7 и откачного патрубка 10 проходит шток 13 возвратно-поступательного перемещения, на котором закреплены два параллельных клапана 14 и 15. В полости фланца 7 расположен дополнительный клапан 16, который жестко закреплен на дополнительном штоке 17, проходящем через отверстие 18 в штоке 13. Клапан 16 герметизирует верхний торец штока 13, а нижний торец штока 13 соединен с торцом дополнительного штока 17 через набор тарельчатых пружин 19. Торец дополнительного штока 17 в месте крепления тарельчатых пружин 19 соединен с приводом 20 возвратно-поступательного перемещения.

Установка работает следующим образом.

Для загрузки-выгрузки изделий привод 20 перемещается вверх и фланец 7 под действием пружин 12 поднимает цилиндрический подложкодержатель 6 и герметизирует при помощи прокладок 8 и 9 отверстие в крышке 2, при этом шток 13 возвратно-поступательного перемещения перемещается вместе со штоком 17 и в верхнем крайнем положении штока 13 клапан 15 перекрывает отверстие в откачном патрубке 10 и прекращает откачку шлюза. Затем шток 17 привода снимает тарельчатые пружины 19, открывает дополнительный клапан 16 и напускает воздух в шлюз, после этого крышка 3 шлюза открывается. После загрузки-выгрузки изделий (условно не показано) крышка 3 шлюза закрывается и подается сигнал (команда) на опускание привода 20, при этом вначале дополнительный клапан 16 герметизирует верхний торец штока 13, а затем клапан 15 открывает отверстие в патрубке 10, через которое производится откачка шлюза. Скорость перемещения привода 20 и скорость откачки шлюза выбирается так, чтобы при перекрытии клапаном 14 отверстия во фланце 7 давление в шлюзе понизилось до уровня, при котором возможно шлюзование. Продолжая движение, привод 20 перемещает фланец 7 в крайнее нижнее положение, а подложкодержатель 6 под действием пружин 5 устанавливается на карусель 4, которая поворачивается и устанавливает под отверстием в крышке 2 цилиндрический подложкодержатель 6 с изделием, прошедшим обработку. Затем цикл шлюзования повторяется.

Надежность работы установки повышается, так как в ее конструкции отсутствует отдельный привод клапана напуска воздуха в шлюз, а следовательно, и количество сигналов (команд) в системе управления меньше.

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА по авт. св. N 901356, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности в работе, она снабжена дополнительным штоком с закрепленными на его противоположных торцах дополнительными клапаном и пружиной, а вдоль оси штока возвратно-поступательного перемещения выполнено отверстие для дополнительного штока, при этом дополнительный клапан расположен в полости U-образного фланца, а пружина дополнительного штока расположена между его торцом и торцом штока возвратно-поступательного перемещения.