Вакуумная установка для нанесения покрытий Советский патент 1984 года по МПК C23C13/12 

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в оптической и автомобильной промьшшенности для нанесения отражакнцих покрытий осветительных устройств, например, на рефлектры автомобильных фар, фонарей, светильников .

Известна однокамерная установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая рабочую камеру, соединенную со средствами откачки, испарители и кассеты для размещения изделий крышку с фланцем и механизмом перемещения фланца вдоль оси камеры

Недостатком указанной установки является низкая производительность из-за потерь времени, связанных с подготовкой камеры между рабочими циклами в момент загрузки-выгрузки изделий и дозагрузкой испарителей.

Наиболее близкой к изобретению является вакуумная установка для нанесения покрытий, содержащая корпус рабочей камеры, систему откачки и фланец с патрубком и закрепленными на одной его стороне испарителями и пoдлoжкoдepжaтeля ш, причем фланец установлен с возможностью возвратно-поступательного перемещения вдоль оси камеры и вращательного движения относительно своей оси jYj .

Недостатком известной установки является недостаточно высокая производительность, обусловленная потерями времени на подготовку камеры к новому циклу работы.

Цель изобретения - повышение производительности установки.

Поставленная цель достигается тем, что вакуумная установка длянанесения покрытий, содержащая корпус рабочей камеры, откачиой патрубок, фланец с патрубком и закреп ленными на одной его стороне испарителями, установленный с возможностью возвратно-поступательного и вращательного движений, снабжена дополнительным патрубком с испарителями и подложкодержателями, закрепленными на противоположной стороне фланца, причем дополнительньй патрубок установлен на фланце соосно основному.

На фиг. 1 представлена принципиальная схема вакуумной установки; на фиг. 2 - то же, вид сбоку.

Вакуумная установка для нанесения покрытий содержит корпус рабочей камеры 1, соединенньй с откачным патрубком 2 и патрубком 3, закрепленным на фланце 4. На одной стороне фланца 4 установлены испарители 5 и подложкодержатели 6, снабженные приводом планетарного вращения. Фланец 4 снабжен также механизмом 7 для поворота вокруг своей оси (вращения) и механизмом 8 для возвратнопоступательного перемещения по направляющим 9 вдоль оси камеры. Ihw противоположной стороне фланца 4 соосно основному патрубку 3 герметично . установлен дополнительньй патрубок 10с испарителями 11 и подложкодержателями 12, также смонтированными с возможностью их планетарного вращения .

Установка для нанесения покрытий работает следующим образом.

Фланец с загруженными испарителями 5 и подложкрдержателями 5 с помщью механизма 8 перемещения устанавливается в положение А. После откачки рабочей камеры 1 осуществляется процесс металлизации изделий, закрепленных в подложкодержателях 6 путем испарения материала испарителей 5 на предварительно очищенные в тлеющем разряде обрабатываемые поверхности изделий. После разгерметизации камеры 1 4 по направляющим 9 отходит на позицию в положение Б, поворачивается вокруг своей оси механизмом 7 вращения и подходит к рабочей камере 1 дополнительным патрубком 10, вновь занимая положение А. Цикл обработки изделий повторяется.

Во время обработки очередной партии изделий в патрубке 3, оказавщимся после поворота разгерметизированным, осуществляется разгрузка обработанных изделий и дозагруэка испарителей 5, чем сокращается время на подготовку установки к работе и, соответственно, повьииается ее производительность. Кроме того, загрузка - разгрузка подложкодержателей производится всегда в одном и том же положении А, что удобно для автоматизации погрузочно-разгрузочных работ, также снижающих потери рабочего времени. Такая компоновка установки облегчает ее встраивание в автоматическую линию.

I II

h

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ, содержащая корпус рабочей камеры, откачной патрубок, фланец с патрубкоми эакрепленными на одной его стороне испарителями и подложкодержателями, установленный с возможностью возвратно-поступательного и вращательного движений, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности, она снабжена дополнительным патрубком с испарителями и подложкодержателями, закрепленными на противополоя ной стороне фланца, причем дополнительный патрубок установлен на флаице соосно основному