Зондовая головка Советский патент 1982 года по МПК H05K1/11 H01L21/66 

f Б) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА

Изобретение Относится к технологическому оборудованию электронной промышленности, а именно к установкам контроля и исследования полупроводниковых структур. Известны зондовые головки, аыполненные в виде игольчатых зондов, размещенных в держателях, соединенных с механизмом нагружения зондЪв fl Однако вследствие индивидуального нагружения зондов, их контактные давления не идентичны, что в значительной степени влияет на достоверность результата измерений. Известна также зондовая головка, содержащая корпус с закрепленными в нем изолированными друг от друга зондами, механизм нагружения зондов, выполненный в виде подпружиненного толкателя и пакета балочных опор J 2 Недостатком известного устройства является неплавное нагружение зондов, а также изменейие упругих свойст пружины нагружения в процессе эксплу атации, что ведет к нестабильности параметров головки и значительным погрешностям при измерении. Цель изобретения - повышение точности контроля. Поставленная цель достигается тем, что в зондовой головке, преимущественно для контроля полупроводниковых структур, содержащей корпус, основание, в диэлектрических направляю(|(их которого размещены зонды, механизм нагружения зондов с пакетом балочных опор и толкатели, механизм нагружения зондов снабжен парой постоянных магнитов, размещенных в корпусе один над другим одноименными полюсами навстречу, один другому и выполненных с возможностью взаимодействия через толкатель со сферической поверхностью с пакетом балочных опор. На чертеже изображена принципиальная схема зондовой головки. Зондовая головка состоит из корпуса 1 с крышкой 2, выполненной из

магнитомягкого материала, внутри которого размещен механизм нагружения зондов, включающий пару постоянных магнитов 3 и 1, расположенных навстречу один другому одноименными полюсами. Регулировочный винт 5 служит для ограничения перемещения магнита.Магнит k через толкатель 6 опирается на центр начальной балки пакета балочных опор 7. На корпусе гайкой 8 закреплено основание 9 с диэлектрическими направляющими 10, в которых расположены зонды 11. Зонды 11 нерабочими концами попарно опираются на равноотстоящие от середины концы замыкающих балок пакета балочных опор

Устройство работает следующим образом.

При опускании зондовой головки на контролируемую полупроводниковую структуру 12, зонды 11, входя в соприкосновение со структурой 12, перемещаются в диэлектрических направляющих 10 основания 9 и воздействуют на толкатель 6 (через пакет балочных опор 7) f представляю чий собой цилиндрический стержень, который сферической поверхностью воздействует на магнит , сближая его с магнитом 3 Вследствие того, что магниты 3 и направлены друг к другу одноименными полюсами, силы взаимодействия их магнитных полей, стараясь сохранить первоначальное положение магнитов 3 и 4, создают давление на зонды 11, необходимое для надежного контактирования их с полупроводниковой структурой 12.

Усилие давления зондов 11 на структуру 12 зависит от начального положения магнита 2 в осевой направлении, которое устанавливается регулировочным винтом 5

Конструкция зондовой головки позволяет исключить необходимость индивидуальной подгонки зондов по давлению на структуру, что значительно снижает себестоимость изготовления зондовой голрвки. Применение вместо пружинных элементов в устройствах нагружения постоянных магнитов, в. свою очередь, позволяет стабилизировать параметры зондовой грловки, а значит и увеличить достоверность результатов контроля.

Формула изобретения

Зондовая головка, преимущественно для крнтроля полупроводниковых структур, содержащая корпус, основание, в диэлектрических направляющих которого размещены зонды, механизм нагружения зондов с пакетом балочных опор и толкатели, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности контроля, механизм нагружения зондов снабжен парой постоянных магнитов, размещенных в корпусе один над другим одноименными полюсами навстречу один другому и выполненнных с возможностью взаимодействия через толкатель со сферической поверхностью с пакетом балочных опор.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

№ , кл. н 05 к 1/04, 197

(прототип).