Изобретение относится к измеритель ной технике и может быть использовано для контроля распределения легирующей примеси по поверхности и глубине полупроводниковых структур.
Наиболее близким к предлагаемому является устройство для измерения, содержащее держатель зондовых голо вок, механизм перемещения зондов, микроскоп и предметный столик с механизмом юстировки 1.
Однако известное устройство не обеспечивает высокой точности измерения.
Цель изобретения - повышение точности ,измерения.
Указанная цель достигается тем, что в устройстве для измерения удельного сопротивления по сопротивлению растекания, преимущественно для измерения профиля распределения удель--. ного сопротивления по сферическому . или цилиндрическому шлифу полупроводниковых структур, содержащем держатель головки, механизм перемещения зондов, микроскоп и предметный столик с механизмом юстировки, последний снабжен вогнутой цилиндрической опорой с подвижно установленным на нем выпуклым цилиндрическим i
сегментом, с возможностью угловых перемещений перпендикулярно плоскости, проходящей через точки контактироЬания зондов со сферической или цилиндри- ческой поверхностью шлифа измеряемой, структуры и совмещенной с оптической осью микроско/та.
На чертеже схематически изображено устройство для измерения удельно10го сопротивления, общий вид.
Измерительный зонд 1 закреплен в держателе зондовой головки 2, шарнирно установленной на механизме 3 перемещения зонда. Образец 4 со сферичео15ким или цилиндрическим пшифом 5 установлен на площадке клинообразного компенсатора 6,. имеющего возможность перемещаться по наклонной направляющей выпуклого цилиндрического сегмен20та 7,опирающегося на вогнутую цилиндрическую поверхность. 8, установленной на основании 9 предметного столика. Перемещения компенсатора 6, сегмента 7, опоры 8 осуществляются
25 соответственно посредством приводов 10, 11, 12. Над зондом установлен микроскоп 13, имеющий в поле зрения перекрестие.
Снятие профиля распределения удель30ного сопротивления по глубине полупро
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Станок для изготовления сферического шлифа | 1977 |
|
SU701770A1 |
| Зондовое устройство для измерения электрических параметров изделий микроэлектроники | 1986 |
|
SU1536528A1 |
| КОМПЛЕКТ ЗОНДОВ ДЛЯ МИКРОСКОПА СО СКАНИРУЮЩИМ ЗОНДОМ | 2007 |
|
RU2459214C2 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР | 1990 |
|
RU2023327C1 |
| Зондовое устройство | 1986 |
|
SU1406829A2 |
| Устройство для измерения удельного сопротивления | 1978 |
|
SU729514A1 |
| Камера для прицельной съемки рентгенограмм | 1979 |
|
SU853502A1 |
| Зондовая головка | 1977 |
|
SU661862A1 |
| Зондовое устройство | 1973 |
|
SU728227A1 |
| ВСЕСОЮЗНАЯ I _ , .^.-.-^ргмл Trvt*-"'''' if ft ''<'• il^a;:HiHU"iLAH-; .с !*Й;;; | 1973 |
|
SU364414A1 |
