Интерферометр для контроля вогнутых сферических поверхностей Советский патент 1982 года по МПК G01B9/02 

(54) ИНТЕРФЕТОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОГНУТЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

I

Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для контроля . формы высокоапертурных вогнутых сферических поверхностей.

Известен интерферометр для контроля качества вогнутых Сферических поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения, фокусирующий объектив, светодеЛНтель в виде кубика, образованного склеиванием двух прямоугольных призм, эталонное сферическое зеркало и регистратор интерферешщ- онной картнны 1.

Недостатками известного интерферометра являются ограниченность диапазона апертур контролируемых поверхностей, сравнительно невысокая точность и производительное} контроля. Эти недостатки обусловлены тем, что кубик вносит сверическую аберрацию в пучок и предъявляются настолько высокие требования к качеству его изготовления, что они трудно вьшолнимы на практике.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для контроля вогнутых сверическнх поверхностей.

содержащий источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения от источника объектив и светоделитель, на одном выходе излучения из которого установлена линза, на другом - регистратор интерференционной картины 2.

Недостатками этчэго интерферометра являются ограниченность диапазона апертур контролируемых поверхностей, сравнительно невысокая точность и производительность контроля, что

to обусловлено высокими требованиями, предъявляемыми к точности изготовления светоделителя, и сложностью процесса юстировки иитёр; ферометра.

Целью изобретения является расщиренне ди-.

Т5 апазона контролируемых поверхностей, повышение точности и производительности контроля.

Указанная цель достигается тем, что в инцрферометре, содержащем источник монохроматического излучения и последорательно распо70ложенные по ходу нзлучения от источника объектив и светоделитель, на одном выходе излучения из которого установлена лннза, на другом - регистратор интерференционной кар39тины, линза выполнена менисковой неапланатической, вогнутая поверхность линзы обращена к светоделителю, радиус кривизны поверхности линзы определяется из соотношения Пл(П;, , deCnl-И) (Пл Пс.(1г-с1л-абсолютная величина радиуса вогнутой поверхности линзы; -абсолютная величина радиуса выпуклой поверхности линзы; -толщина линзы; -толщина светоделителя; показатель преломления линзы; -показатель преломления светоделн,теля. На чертеже представлена оптическая схема интерферометра. Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения, объектив 2, светоделитель 3, вьшолненньш в виде кубика, мени ковую неапланатическую линзу 4, регистратор 5 интерференционной картины. Интерферометр работает следующим образом. Излучение от источника 1 фокусируется объективом 2, проходит через светоделитель 3 линзу 4, и направляется к контролируемой поверхности 6. Излучение, отраженное от выпуклой поверхности линзы 4, образует эталонный волновой фронт сравнения. Излучение, от ражешюе от контролируемой цоверхяости 6, образует исследуемый волновой фронт. Исследуемый и эталонный волновые фронты интерферируют между собой и образуют интерференщюнную картину, для регистрации которой регистратор 5 интерференционной картины. По виду интерференционной картины судят о форме контролируемой поверхности 6 Таким образом, выполнение линзы мениско вой неаиланатической, конструктивные парамет ры которой связаны указанными соотношениями с 1гараметрами светоделителя, позволяет повысить точность контроля благодаря тому, что когерентные лучи образуются на выпуклой поверхности линзы. Повышение производительности контроля достигается благодаря тому, что процесс юстировки интерферометра значительно упрощен и сводится, по существу, к совмещению автоколлимационной точки от вьшуклой поверхности линзы с предметной точкой объектива. Формула изобретения Интерферометр для контроля вогнутых сфер4 ческих поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения и последова тельно расположенные по ходу излучения от источника объектив и светоделитель, на одном выходе излучения из которого установлена линза, на другом - регистратор интерференционной картины, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых поверхностей, повышения точности и производительности контроля, линза выполнена менисковой неапланатической, вогнутая поверхность линзы обращена к светоделителю, радиус кривизны поверхности линзы 1определяется из соотношения ,n(.X AУg- A п-(П-й)-4 dteCnl-) СПлПс)С«-сГл-) абсолютная величина радиуса вогнутой поверхности линзы; абсолютная величина радиуса Ашуклой поверхности линзы; толщина линзы; толщина светоделителя; показатель {феломления линзы; показатель преломления светоделителя. Источншси информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Оптико-механическая промышленность, 1973, NO 8, с. 50-58. 2.Авторское свидетельство СССР ff 373519, кл. G 01 В 9/02, 19.07.73 (прототип).