Устройство для ориентации подложек Советский патент 1982 года по МПК H05K3/00 H01L21/66 

(5) УСТРОЙСТВО для ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК

I

Изобретение относится к технологическому оборудованию для ориентации; . подложек при изготовлении ИС и может быть использовано в прецизионных координатных столах.

Известно устройство ориентации., которое содержит основание, координатый стол, установленный на основании, и механизм ориентации координатного стола, закрепленного на платформе. Механизм ориентации выполнен в виде магнитострикционных движителей, которые попарно установлены С двух сторон стола перпендикулярно друг другу. Одним концом они жестко закреплены на основании, а другим упираются в координатный стол С.П.

Недостатком данного устройства является то, что оно потребляет большие величины токов, вызывающие дополнительные температурные деформации элементов конструкции стола. Кроме этого, оно.имеет небольшие поля перемещений .. .

звестно устройство ориентации, содержащее платформу, координатный стол, установленный на платформе посредством упругих пластин, и механизм ориентации координатного стола, который выполнен в виде пьезокерамических пластин 123,

Недостатком известного устройства является то, что у него небольшие поля перемещения, кроме этого, би10морфные пьезокерамические пластины развивают незначительные усилия. Вся конструкция является упругой системой, которая не позволяет получать большие точности перемещения.

15

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для ориентации подложек, которое содержит основание, координатный стол и механизм ориентации

20 координатного стола. Координатный стол установлен на основании посредством упругих пластин,одинконец которых жестко закреплен на основании. а другой - на столе. Механизм ориентации выполнен в виде пьезокерами .ческой пластины, в центре которой перпендикулярно к ее плоскости уста новлен упор, взаимодействующий со столом, причем пьеэокерамическая пластина подсоединена к выходу усилителя постоянного тока С31. Недостатком устройства является потребление больших величин напряжеНИИ, что уменьшает точность перемещения за счет остаточных деформаций от нагрева. Данная конструкция не может обеспечить перемещение стола по линейным и угловым координатам,в одной плоскости. Цель изобретения - повышение точности ориентации. Указанная цель достигается тем, что в устройстве для ориентации подложек, содержащем координатный стол установленный на основании на упруги опорных элементах, и пьезоэлектричес кие вибраторы для перемещения координатного стола, пьезоэлектрические вибраторщ установлены попарно с двух смежных сторон координатного стола, причем каждый пьезоэлектрический-виб ратор жестко закреплен едним концом на основании с образованием зазора между своим торцом и координатным столом, выполнен вI виде набора пьезокерамических секций и снабжен концен тратором колебаний, установленным на свободном конце пьезоэлектрического вибратора. На фиг.1 изображено ..устройство, общий вид; на фиг,2 - то же, вид сверху; на фиг.З - конструкция пьезо электрического вибратора. Устройство содержит основание 1 и координатный стол 2, установленный на основании 1 посредством упругих цилиндрических опорных элементов 3, один конец которых жестко закреплен на основании 1, а другой на координатном столе 2, Для ориентации последнего устройство снабжено пьезо керамическими вибраторами -7, которые установлены попарно с двух сторо координатного стола 2 и перпендикулярны друг другу. Вибраторы -7 подключены к вых)дам высокочастотных генераторов 8-11, Один конец вибрато ров жестко укреплен на основании 1, а другой установлен с зазором по отношению к координатному столу 2. Вибраторы 4-7 состоят из отдельных пьезокерамичёских секций 12 и 13, а на свободных концах вибраторов А- установлены концентраторы колебаний. Устройство работает следующим образом. При подаче высокочастотного электрического сигнала от генераторов 8 и 9 на резонансной частоте пьезоэлектрических вибраторов 4 и 5, последние начинают колебаться с опреде/ленной амплитудой. Между концентрагором 14 колебаний, закрепленным на жонце вибратора, и боковой поверхностью- координатного стола 2 всасывается и сжимается газ из окружающей среды, создавая при этом сжатую газовую вибропленку, которая и перемещает координатный стол 2 на упругих опор- , ных элементах 3 по оси X на заданную величину. Чем больше амплитуда колебаний и ее частота, тем сильнее сжимается всасываемый газ, а значит увег личивается и толщина газовой виброленты. Поэтому, регулируя амплитуду и частоту колебаний вибраторов, можно изменять отклонение координатного стола 2 от первоначального положения. I Перемещение по оси У осущесхвляется аналогично описанному выше для оси X. для осуществления поворота.координатного стола 2, например, вправо подается высокочастотный электрический сигнал на вибраторы 4 и 6, а для поворота влево - на вибраторы 5 и 7. Применение упругих элементов в качестве направляющих и газовой сжатой вибропленки повышает надежность и точность работы устройства. Формула изобретения Устройство для ориентации подложек содержащее координатный стол, установленный на, основании на упругих опорных элементах, и пьезоэлектрические вибраторы для перемещения координатного стола, отличающееся тем, что, с целью повышения точности ориентации, пьезоэлектрические вибраторы установлены попарно с двух смежных сторон координатного стола, причем каждый пьезоэлектричес-. кий вибратор жестко закреплен одним концом на основании с образованием

зазора между своим торцом и коорди, натным столом, выполнен в виде набо ра пьезокерамических секций и снабжен концентратором колебаний, установленным на свободном конце пьезоэлектрического вибратора.

Источники информации, принятые во внимание .при экспертизе

9173656

5 № 97551, кл. Н 05 К 3/00, 26.06.73.

/