Устройство для ориентации подложек Советский патент 1980 года по МПК H01L21/77 H05K3/00 

1

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано в оптико-механических приборах, в координатных измерительных устройства х.

Известно устройство для ориентации подложек, содержащее основание, 1координатный стол и расположённые между ними пьезокерамические элементы, снабжённое демпфирующим элементому соединяющим основание с координатным столом, а упомянутый координатный стол выполнен в виде круглой мембраны, на поверхности которой жестко закреплены пьезокерамические элементы с образованием шестиугольника .

Недостатком известного устройстав является сложность конструкции, заключающаяся в трудности подбора демпфирующего элемента для исключения отражения волны.

Известно устройство для ориентации подложек, содержеицее координатный стол и основание с продольными и поперечными пазами, в которых закреплены стержнеобразные пьезо- j .керамические элементы 2.

Недостатком этого устройства является малый возможный диапазон перемещений, сложность конструкции. Цель изобретения - расширение

5 функциональных возможностей.

Указанная цель достигается тем, что устройство для ориентации подложек, преимутцественно микросхем, содержащее координатный стол и основание с продольными и поперечными пазами, в которых закреплены стержнеобразные пьезокераг 1ические элементы, снабженно соединительными пластинами, каждая из которых

15 одним концом жестко закреплена на одном из пьезокерамических элементов, fi другим - с координатным столом с возможностью фрикционного взаимодействия, при этом пьезокерами20 ческие элементы подпружинены.

На фиг.1 показана схема устройства; на фиг.2 - вид устройства сверху.

Устройство содержит основание 1,

25 в котором выполнено, четыре паза 2, расположенных в форме креста. В пазах 2 упруго, например, при помощи пружин 3, установлены стержнеобразные пьезокерамические элементы 4.

30 Электроды стержнеобразных пьетокерамических элементов расположены на боковых (вертикальных) плоскостях и разделены накрест на четыре зоны 5,6,7 и 8.

На концах пьезокерамических элементов 4 жестко закреплены пластины 9 . На пластинах 9 помещен с возможностью фрикционного взаимодействия столик 10..

Устройство работает следующим образом.

При подключении двух напротцвлежащих зон, например 5 и 8, стержнеобразных пьезокерамических элементов 4 к источнику высокочастотного напряжения через коммутирующее устройство (не показано) пьезокерамические элементы 4 совершают продольные и поперечные (в вертикальном направлении) колебания. Пьезокерамические элементы 4 питаются-на частоте продольного резонанса. Собственная частота колебаний пьезокерамических элементов 4 в поперечном направлении отличается от частоты колебаний в продольном направлении, поэтому имеется сдвиг по фазе продольных и поперечных колебаний. Концы пьезокерамических элементов, на которых закреплены пластины 9, совершают эллипсообразные движения, столик 10 совершает поступательное движение. Реверсирование осуществляется подключением двух других зон, например б и,7, к источнику высокочастотного напряжения посредством переключающего устройства (не показано).Движение по одной из координат осуществляется подключением к источнику высокочастотного напряжения двух напротиволежащих пьезокерамических

7 (О

КС у

/ k SS5oN ГЗГ

Л

L...

II II I S S

Фие.1

элементов 4, движение по другой подключением других пьезокерамических элементов 4.

Устройство позволяет упростить конструкцию, исключая необходимость подбора демпфирующего элемента. Наилучшими динамическими характеристиками устройство обладает при соотношении продольного и поперечного размеров (в вертикальном направлении пьезокерамического элемента 4.

Формула изобретения

Устройство для ориентации подложек, преимущественно микросхем, содержащее координатный стол и основвание с продольными и поперечными пазами, в которых закреплены стержнеобразные пьезокерамические элементь1,отличаю. щееся тем, что с целью расширения функциональных возможностей, оно снабжено соединительными пластинами, каждая из которых одним концом жестко закреплена на одном из п&езокерамических элементов, а другим - с координатны столом с возможностью фрикционного взаимодействия, при этом пьезокерамческие элементы подпружинен:-.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР по заявке № 2608445/18-21,

кл. Н 01 L 21/70, 21..04.78.

2.Авторское свидетельство СССР № 541305, кл. Н 05 К 3/00, 06.01.75 (прототип). /

451 /1

-4t3l