Устройство для раздува кварцевых изделий Советский патент 1982 года по МПК C03B9/02 F23D13/00 

I

Изобретение относится к устройствам для раздува стеклоизделий и может найти применение на всех предприятиях страны, на которых производятся полупроводниковые материалы.

Известно устройство для раздува кварцевых изделий, используемое на предприятиях, производящих полупроводниковые материалы, сост Оящее из горелки и приспособления для подвески инструмента в виде двуплечей стрелы, к концу стрелы подвешен с возможностью вращения, вокруг своей вертикальной оси пневмоцилиндр со штоком. На штоке перпендикулярно к нему закреплен вал, на котором установлена горелка fl Закрепление горелки на приспособлении дает возможность ориентировать пламя горелки в нужном направлении при .помощи перемещения самого кварцевого изделия, что позволяет нес

колько повысить производительность процесса.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому эффекту является устройство для раздува кварцевых изделий, содержащее корпус, горелку, трубопроводы с вентилями и механизм регулирования подачи газов 2J .

Недостатком устройств для раздува кварцевых изделий является то, что регулирование количества подаваемых газов на горелку производится вручную открыванием, и прикрыванием вентилей на трубопроводах подачи газов к горелке. Это не позволяет поддерживать оптимальное соотношение количества газов в период раздува кварцевых изделий и приводит к большому расходу технологических газов, а в период включения устройства в работу вызывает хлопки

и взрывы смеси газов в горелке. Цель изобретения - повышение безопасности и производительности раздува. Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для раздува кварцевых изделий, содержащем корпус, горелку, трубопроводы с вентилями и механизм регулирования подач газов, -последний выполнен в виде соединенных с горелкой камер,,связанных через емкость с мембраной с пневматическим клапаном, причем каждая камера снабжена золотником со штоком. Кроме того, устройство дополнительно снабжено сильфонйми, каждый из которых насажен на шток. На чертеже изображено устройство для раздува кварцевых изделий, вид в плане. Устройство для раздува кварцевых изделий состоит из корпуса 1 с кронштейном 2, на котором закреплена горелка 3 для раздува кварцевого изделия + и механизма регулирования подачи газов, выполненного в виде расположенных на корпусе 1 двух камер 5 в состав которых входит золот ник 6, накидная гайка 7 пружина 8, сильфон 9 и шток 10. К камерам 5 технологические газы подводят ся по трубопроводам 11 через вентили 12. Горелка 3 соединена с камерами при помощи трубопроводов 13) на которых расположены регулирующие вентили I и приборы 15 учета количества газов В нижней части корпуса 1 устройства под камерами 5 размещена емкость 16 с мембраной 17 и калиброванным отве стием 18. На мембране 17 расположена стойка 19 спланкой 20, к которой за креплены регулирующие винты 21, служащие для установки в положении штоков 10 камер 5- У емкости 16 расположен пневматический клапан 22 с педалью 23, служащий для регулирования подачи сжатого воздуха в емкость 16. Пневматический клапан 22 соединяется с емкостью 1б при помощи гибкого шланга 2, а с пневмосистемой - при помощи трубопровода 2 Перед включением устройства в работу в камере 5, через которую подается горючий газ к горелке 3, регулирующим винтом 21 шток 10 поджимают так, чтобы не было зазоров между што ком 10 и золотником 6 и между штоком 10 и винтом 21. У камеры 5, eрез которую подается к горелке 3 газ окислитель, винтом 21 устанавливают зазор между штоком 10 и золотником 6 . Включение устройства в работу производится следующим образом. Открытием вентилей 12 подают технологические газы (горючий газ например водород, и газ-окислитель, например кислород) к камерам 5 устройства. Затем нажатием ноги на педаль 23 клапана 22 подается сжатый воздух в емкость, который перемещает вверх мембрану, а вместе с ней и винты 21 через стойку 19 и планку 20. Так как в камере, регулирующей подачу горючего газа, шток 10 между золотником 6. и регулирующим винтом располагается без зазора, то при Перемещении винта вверх сразу же перемещается вверх и шток, которы(1 приподнимает золотник и горючий газ через камеру 5 под золотником по трубопроводу 13 через прибор 15 учета поступает на горелку. Требуемое количество горючего газа, которое необходимо подать на горелку с учетом его оптимального соотношения с газом-окислителем, регулируется вентилем 14. Подача горючего газа на горелку 3 исключает хлопки и взрывы смеси газов к ней. Так как между штоком 10 и золотником в камере 5 через которую поступает газ-окислитель к горелке, имеется зазор, то шток начинает приподнимать вверх золотник 6 тогда, когда горючий газ через вторую камеру 5 уже идет к горелке. После подъема золотника в этой камере газ-окислитель под золотником 6 по трубопроводу 13 через прибор учета газа поступает на горелку. Требуемое количество газа-окислителя, которое необходимо подавать на горелку с учетом его соотношени-я с горючим газом, регулируется вентилем }k. Увеличение количества газов на горелку при заданном соотношении производится плавным нажатием ноги на педаль клапана 22. Уменьшение количества газов на горелку производится плавным отпусюм педали. Прекращение подачи газов на горелку производится снятием ноги с педали. Калиброванное отверстие 18 в емкости 16 служит для регулирования выпуска сжатого воздуха . Пламя горелки в нужном направлении ориентируется перемещением самого кварцево-, го изделия. Предлагаемое устройство для раз дува кварцевых изделий позволяет значительно повысить производитель ность процесса, снизить на 2-3 удельные расходы технологических г зов на раздуй изделий повысить ка чество регулирования и обеспечить безопасные условия труда. Формула изобретения 1. Устройство для раздува кварцевых изделий, содержащее корпус, горелку, трубопроводь с вентилями и механизм регулирования подачи га зов, отличающееся тем, что, с целью повышения безо3пасности .и производительности раздува, механизм регулирования подачи газов выполнен в виде соединенных с горелкой .камер, связанных через емкость с мембраной с пневматическим клапаном, причем каждая камера снабжена золотником со штоком. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что оно снабжено сильфонами, каждый из которых насажен на шток. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 307982, кл. С 03 В 9/02, 1970. 2. Авторское свидетельство СССР № 191751, кл. С 03 В 9/02, 19б5.