Установка для напыления изделий из синтетической двуокиси кремния Советский патент 1982 года по МПК C03C3/06 

( УСТАНОВКА ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ СИНТЕТИЧЕСКОЙ Изобретение относится к устройствам для изготовленчп методом напыления изделий из синтетической двуокиси кремния и может найти применение на предприятиях по производству полупро водников . Известна установка для напыления труб из синтетической двуокиси кремния, включающая раму, которая установлена на тележке с возможностью перемещения в горизонтальной плоскос ти, вал для крепления оправы и горелок-распылителей, которые смонтированы с возможностью перемещения в вертикальной плоскости на штоке j. Недостатком известной установки является то, что у нее возвратно-пос тупательное движение штока с горелками-распылителями в вертикальной плоскости осуществляется сложным для обслуживания кулачково-рычажным механизмом, требующим частого ремонта. При приготовлении изделия сфериче кой формы горепки-распылители, переДВУОКИСИ КРЕМНИЯ мещаясь возвратно-поступательно в вертикальной плоскости параллельно оси вращения оправы изделия, находятся на различных расстояниях от образующей оправы изделия: в нижнем положении - на оптимальном расстоянии, Б верхнем положении - в несколько раз больше. При нахождении горелок-распылителей в верхнем положении получается большой разброс напыленных материалов, в результате чего увеличивается время напыления изделия и повышается расход напыляемых материалов. Цель изобретения - сокращение расхода материалов напыления и увеличения производительности процесса. Эта цель достигается тем, что горелки-распылители снабжены устройством для перемещения их параллельно образующей оправы-формы изделия, а подъемник снабжен пневмоприводом. Причем устройство для перемещения горелок-распылителей параллельно образующей оправы-формы изделия может быть выполнено в виде направляющей линейки с направляющим роликом штанги, пружины с упором и отклоняю щего Г.собразиого рычага с отклоняющим роликом. На чертеже представлена установка для напыления изделий из синтети ческой двуокиси кремния. Установка состоит из стойки 1 , стойки 2 с направляющей линейкой 3, цилиндра пневматического подъемника 4, штока 5 пневматического подъемни ка, кронштейна 6, пластины 7, пласт ны 8, закрепленной к кpoнштeйнV 6, стойки горелок-распылителей 9, оси 10, пружины 11 возврата, регулирующего сухаря 12, штанги 13 горелок-р пылителей, горелок-распылителей Н, трубопроводов 15 подачи материалов распыления, пружины 16, упора 17 пружины, направляющего ролика 18, штанги 19 рычага отклонения, рычага 20 отклонения горелок-распылителей , подвижных регулирующих сухарей 21, ролика 22 отклонения, направляющего ролика 23, электропривода 2 редуктора 25; вала 26, оправы формы для напыления изделия,.стержня 28, закрепленного шарнирно к пластине 8 и проходящего через отверстие в пластине 7Для изготовления изделия из синтетической ; вуокиси кремния методом напыления оправку-форму 27 вращают со скоростью Околс 75 об/мин, а горелки-распылители перемещают возвратно-поступательно в вертикальной плоскости с переменной скоростью до 2 м/мин. Регулирование скорости перемещения горелок распылителей производится автоматически специальным уст ройством (не показано). Установка работает следующим образом. Первым в работу включается электропривод 2k, который через редукто 25 и зал 2б сообщает оправе-форме 2 вращательное движение. Затем в нижнюю часть цилиндра пневматического подъемника 4 подается воздух, который перемещает шток 5 вверх. Одновременно со штоком 5 вверх переме щается кронштейн 6, стойка горелокраспылителей 9 вместе со штангами-1 горелками-распылителями 1 и рычагом 20. Для возможности перемещения горелок-распылителей параллельно образующим оправы-формы изделия 27 к стойке 2 закреплена направляющая 3, которая имеет профиль аналогичный профилю образующей оправы-формы 27. На штанге 13 закреплен ролик 18 и пружина 16, которая размещена между сухариком 12 и упором 17. Штанга 13 в сухарике 12 имеет не жесткое крепление. При движении штока 5 вверх, вместе с кронштейном 6 движется вверх и штанга 19) жестко закрепленная к оси 10, ас ней стойка 9, штанга 13 с горелками-распылителями 15. Пружина 16, все время действуя на упор 17, прижимает ролик 18 к направляющей 3, благодаря чему горелки-распылители 1 во время подъема и опускания перемещаются параллельно образующим оправам-формам 27Затем в трубопроводы 15 подаются продукты напыления при сгорании которых на выходе из горелок-распылителей k образуется двуокись кремния и напыляется на оправы-формы 27t образуя заготовки изделия 29, которые после остекловызанйя превращаются в кварцевое изделие. Для возможности напыления двуокиси кремния на верхнюю часть оправ-форм 27 на штанге 19 закреплен сухариком 21 рычаг 20 отклонения горелок-распылителей с загнутым концом в нижней части. При перемещении вверх штока 5 с кронштейном 6 и штангой 19 вместе с ними перемещается вверх и рычаг 20 отклонения. Загнутый конец рычага 20, дойдя до ролика 22, поворачивает на оси 10 со стойкой горелок-распылителей 9, штангами 13 и горелками-распылителями I. Наклоняя, под оправамиформами 27 горелки-распылители , напыляют двуокись кремния на верхнюю часть оправ-форм 27, образуя донышко в заготовках изделий 29При наклоне штанги 19, закрепленной жестко на оси 10, поворачивается ось 10, а вместе с ней закрепленная жестко пластина 7, которая сжимает пружину 11. Затем воздух подается в верхнюю часть цилиндра пневмоподъемника k и шток 5 подъемника опускается вниз, перемещая горелкираспылители I сверху вниз параллельно образующим оправ-форм 27. При выходе изогнутого конца рычага 20 отклонения из зацепления с роликом Z отклонения пружина 11 разжимается, воздействуя на пластину 7, поворачивает ось 10, а вместе с ней штангу 19, штанги 13 горелок-распылите1 в roлей; и горелки-распылители ризонтальное положение. Возвратно-поступательное движение горелок-распылителей I в вертикальной плоскости продолжается до тех пор, пока не будет напылена тре буемая толщина изделия.После этого производится остановка установки в следующей последовательности. Прекращают подачу продуктов напыления в трубопроводы 15. Прекращают подачу воздуха в цилиндр пневмоподъемника и выключают электропри вод . После остывания изготовленные изделия 29 снимают из оправ-фор 27 и направляют на остекловывание, а установку включают для напыления новых изделий. Устройство ведения горелок-распы лителей 1 по образующим оправ-форм 27, состоящее из штанги 13 пружины 16 с упором 17 направляющего ролика 18, закрепленного с возможностью перемещения его по штанге 13 и направляющей 3; позволяет без изменеиия конструкции установки устанавливать оптимальное расстояние между горелками-распылителями и оправа ми-формами 27 любого размера и дает возможность при любом технологическом процессе добиваться минимальног расхода дорогостоящих продуктов напыления на единицу продукции. Узел наклона горелок, состоящий из оси 10, пластины 7, пружины 11, штанги 19 с загнутым концом в нижней части и ролика 22 отклонения, позволяет производить напыление вер ней части изделия без потерь продуктов напыления. Работающая установка имеет три оправы-формы . На каждую оправу-форму напыление производится двумя горелками-распылителями , Применение пневматического под-ьемника позволяет производить плавный подъем и опускание горелок-распылителей при их возвратно-поступательном перемещений в вертикальной плоскости, а перемещение горелокраспылителей параллельно образующим оправам-формам изделий на оптимальном расстоянии от оправ-форм и наклон горелок-распылителей в верхней части изделия позволяют сократить время напыления изделия, уменьшить расход,дорогостоящих продуктов напыления {водород, кислород, трихлорсилан на 2% и получить экономический эффект только на одном предприятии до 100 тыс.руб. в год. Формула изобретения Установка для напыления изделий из синтетической двуокиси кремния, включающая горелки-распылители, установленные на подъемнике с возможностью возвратно-поступательного перемещения в вертикальной плоскости и узел вращения оправы-формы изделия, отличающаяся тем, что, с целью сокращения расхода материалов напыления и увеличения производительности процесса, горелки-распылители снабжены устройством для перемещения их параллельно образующей оправы-формы изделия, а подъемник снабжен пневмоприводом. 2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что устройство для перемещения горелок-распылителей параллельно образующей оправы-формы изделия выполнено в виде направляющей линейки с направляющим роликом, штанги, пружины с упором и отклоняющего Г-образного рычага с отклоняющим роликом. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 361988, кл. С 03 С 3/06, 1971.