Установка для напыления изделий из синтетической двуокиси кремния Советский патент 1982 года по МПК C03B19/00 C03C3/06 

Изобретение относится к устройствам для изготовления методом напыления изделий из синтетической двуокиси кремния и может найти применение на предприятиях полупроводниковой подотрасли Министерства цветной металлургии СССР.

Известна установка для напыления труб из синтетической двуокиси кремния, состоящая из рамы, которая установлена на тележке с возможностью перемещения в горизонтальной плоскости, вала для крепления оправыформы и горелок-распылителей, которые смонтированы с возможностью перемещения в вертикальной плоскости на штоке 1.

Недостатком данной установки является то, что у нее возвратно-поступательное движение штока с горелками-распылителями в вертикальной плоскости осуществляется сложным для изготовления и эксплуатации кулачково-рычажным механизмом, требующим частого ремонта.

При изготовлении изделий сферической формы горелки-распылители, перемешаясь воз вратно-поступательно в вертикальной плоскости параллельно оси оправы-Формы изделия, находятся на различных расстояниях от образующей оправы-формы изделия: в нижнем положении - на оптимальном расстоянии, в верхнем - в несколько раз больше.

При нахождении горелок-распылителей в верхнем положении получается большой разброс напыляемых продуктов, в результате чего увеличивается время напыления изделия и повышается расход напыляемых продуктов.

По основному авт.св. W 899504 известна установка для напыления изделий из синтетической двуокиси кремния, включающая горелки-распылители, устройство для перемещения их параллельно образующей оправы-формы изделия, пневматический подъемник и узел вращения оправы-формы 2.

Недостатком установки является сложность устройства для перемещения горелок-распылителей параллельно образующей оправы-формы изделия, что

25 затрудняет эксплуатацию установки.

Кроме того, конструкция этого устройства позволяет напылять изделия только такой высоты, на которую перемещается шток пневматического подъем30 ника.