Молекулярный вакуумный насос Советский патент 1982 года по МПК F04D19/04 

I

Изобретение относится к вакуумHov i технике, а именно к устройству молекулярных вакуумных насосов.

Известен молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем статором и ротором, выполненным в виде пакета дисков, установленных на валу l3 ,

Недостатком известного насоса является невысокая надежность, так как неточности,возникающие при жесткой сборке дисков ротора с валом, приводят к перекосу ротора при высоких скоростях вращения, а следовательно, к неравномерности нагрузки на подшипники.

Цель изобретения - повышение надемности работы насоса.

Указанная цель достигается тем, что каждый диск ротора установлен на валу посредством сферического шарнира, выполненного в виде закрепленной на диске цилиндрической обоймы с прорезями и контактируюи4еГО с ней сферического кольца, жестко закрепленного на валуи снабженного диаметральными выступами, расположенными в прорезях обоймы.

При этом обойма имеет высоту, не превышающую ширину кольца.

На фиг.1 представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 - узел на фиг. 1.

10

Молекулярный вакуумный насос« содержит корпус 1 с размещенными в нем статором 2 и ротором 3, выполненным, в виде пакета дисков Ц, установленных на валу 5, причем каждый

15 диск k ротора 3 установлен на валу

5,посредством сферического шарнира

6,выполненного в виде закрепленной на диске k цилиндрической обоймы 7 с прорезями 8 и контактирующего с

20 ней сферического кольца 9, жестко закрепленного на валу 5 и снабженного диаметральными выступами 10, расположенными в прорезях 8 обоймы 7. 393 Насос рйботает следующим обраПри вращении ротора 3 откачиваемый газ, взаимодействуя с роторными дисками 4 и статором 2, переносится с входа насоса к выходу из него. Шарнирная связь дисков Ц с валом 5 обеспечивает при больших оборотах вала их самоустанавливаемость в положение, перпендикулярное оси вращёния. При этом цилиндрическая обойма 7, закрепленная на диске , имеет возможность поворачиваться около сферического кольца 9, к естко закрепленного на валу 5, причем поворот возможен лишь в плоскости, определяемой расположением прорезей 8 обой мы 7 и выступов 10. кольца 9. Поворот же диска вокруг вала 5 невозможен что уменьшает конечную величину дисбаланса ротора. Использование шарнирного соединения дисков с валом дает возможность в целом повысить надежность работы насоса, уменьшая износ подшипниковых узлов. Формула изобретения 1.Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем статором и роторам, выполненным в виде пакета дисков, установленных на валу, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы, каждый диск ротора установлен на валу посредством сферического шарнира, выполненного в виде закрепленной на диске цилиндрической обоймы с прорезями и контактирующего с ней сферического кольца, жестко закрепленного на валу и снабженного диаметральными выступами, располок енными в прорезях обоймы. 2.Насос по п., о т л и ч а ющ и и с я тем, что обойма имеет высоту , не превышающую ширину кольца. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент ФРГ № 1б28352, кл. 27 с, 15/0t, опублик.1968.