Вакуумно-плотное соединение трубопроводов Советский патент 1982 года по МПК F16L49/00 F16L23/02 

(5) ВАКУУМНО-ПЛОТНОЕ СОЕДИНЕНИЕ ТРУБОПРОВОДОВ

Изобретение относится к вакуумно лотным соединениям, применяемым в устройствах для осаждения слоев на подложку различными методами, преиму щественно при пониженном давлении, и может быть использовано в промышленности для получения микросхем. Известно соединение трубопроводов, в котором труба и труба с бурти ком уплотняются двумя упругими кольцами при помощи гибкого элемента l Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является вакуумно-плотное соединение трубопроводов, на наружной поверхности од ного из которых установлен уплотнител ный элемент, обжимаемый в радиальном и осевом направлениях, причем осевое обжатие производится посредством фланцев с кольцевыми буртиками и стягивающих элементов 2j . Недостатком известных соединений является невозможность получения вакуумно-плотного соединения без дополнительной и дорогостоящей для кварца калибровки или механической об- , работки уплотняемого конца трубы. Цель изобретения - исключение дополнительной обработки уплотняемых ме ст. Поставленная цель достигается тем, что на одном из фланцев выполнена кольцевая проточка, на другом - ограничительный упор, взаимодействующий со стенкой указанной проточки, а радиальное обжатие уплотнения производится с помощью гибкого хомутика. На фиг. 1 представлено предлагаемое соединение, продольное сечение; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1. Вакуумно-плотное соединение состоит из кварцевого реактора-трубы 1, вакуумного трубопровода 2 с фланцем 3, кольцевым буртиком i и направляющей кольцевой проточкой-ограничителем 5, уплотнительного элемента (упругого кольца) 6, хомутика 7, дополнительного фланца 8 с кольцевым буотиком 9 и ограничительным упором 10. Фланцы соединены стягивающими элемен тами 11. Получение вакуумно-плотного соеди нения осуществляется следующим образом. На кварцевый реактор-трубу 1 с небольшим натягом одевается упругое кольцо 6, которое повторяет профиль уплотняемого диаметра реактора. На кольцо 6 одевается хомутик 7, усилие сжатия которого определяется беззазорным повторением профиля кольца 6. Реактор 1 в сборе с упругим кольцом 6 и хомутиком 7 вставляется до упора кольца 6 в кольцевой буртик 4 фланца 3 вакуумного трубопровода 2. Затем дополнительный фланец 8 стягивающими элеме-нтами 11 соединяется с фланцем 3, при этом направляющая проточкаограничитель 5 доходит до упора 10, а упругое кольцо 6 за счет взаимодействия с кольцевыми буртиками k и 9 в осеврм направлении и радиального взаимодействия между реакторомтрубой 1 и хомутиком 7 сжимается на расчетную величину и уплотняет повер ность реактора 1 и вакуумную полость (Трубопровода 2. Кроме того, наличие хомутика 7, беззазорно облегающего упругое кольцо 6, при овальности реактора-трубы 1 в пределах допуска на его диаметр позволяет получить равномерное радиальное усилие обжатия (уплотнения) по всему уплотняемо му периметру. Изобретение позволяет снизить стоимость уплотнения путем исключения дополнительной обработки кварцевых реакторов и использовать данное соединение при высоких температурах за счет охлаждения фланцев. Формула изобретения Вакуумно-плотное соединение трубопроводов, на наружной поверхности одного из которых установлен уплотнительный элемент, обжимаемый в радиальном и осевом направлениях, причем осевое обжатие производится посредством фланцев с кольцевыми буртиками и стягивающих элементов, отличающееся тем, что, с целью исключения дополнительной обработки уплотняемых мест, на одном из фланцев выполнена кольцевая проточка, а на другом - ограничительный упор, взаимодействующий со стенкой указанной проточки, а радиальное обжатие уплотнения производится с помощью гибкого хомутика. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент США № 3.233.907, кл. 277-101, опублик. 1966. I 2.Авторское свидетельство СССР № 46099, кл. F 16 L 23/02, 1933 (прототип).