Контактное устройство Советский патент 1982 года по МПК H05K1/18 

(5) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к радиотех нике и может быть использовано для контроля измерения и подгонки электрических параметров пленочных эле ментов гибридных интегральных схем. Известно контактное устройство, содержащее направляющую в виде кольца с зондодержателями, в которых зак реплены подвижные упругие Г-образные зонды 1 . . Использование контактного устройства для контроля пленочных ридных интегральных схем обладает невозможностью подключения к отдельным эл ментам вследствие перекрытия зондами рабочей зоны, недостаточной точностью контроля из-за необходимос ти дополнительного вертикального пер мещения координатного стола, а также неудобством эксплуатации из-за затру ненного визуального контроля. Известно контактное устройство, содержащее направляющую, в отверсти ях которой размещены зондодержатели С зондами, каждый из которых снабжен электромагнитным приводомГ23. Однако это контактное устройство не обеспечивает достаточную точность контроля и удобство эксплуатации изза перекрытия рабочей зоны зондами. Цель изобретения - повышение точности контроля и удобства эксплуатации. Указанная цель достигается тем, что в контактном устройстве, преимущественно для контроля пленочных гибридных интегральных микросхем, содержащем направляющую, зондодержатели с зондами, каждый из которых снабжен электромагнитным приводом, направляющая выполнена в виде кольца с клиновидными пазами, снабженного буртиком, в каждом из которых размещен подпружиненный зондодержатель с зондом. На фиг. 1 изображено контактное устройство, вид сбоку, (разрез А-А на фиг. 2); на фиг. 2 - то же, вид сверху. Контактное устройство содержит направляющую 1 в виде кольца с клиновидными пазами 2 и буртиком 3. В каждом пазу 2 размещен диэлектрический зондодержатель с поворотной головкой 5 и прижимным винтом 6 парой упругих Г-образных зондов 7, с пр иводом в виде электромагнита 8 и рычага 9. Зондодержатели подпружиненны пружиной 10 возврата. Устройство работает следующим образом. Контактное устройство закрепляется на установке для контроля и Лодгонки параметров пленочных элементов между рабочим органом и подвижным координатным столом, на кото ром устанавливается гибридная интег ральная микросхема 11. Все зондодержатели Л под действием пружин 10 отведены ( находятся в верхнем полож нии). Последовательно позиционируя каж дый проверяемый элемент под рабочий орган производят настройку зондов. Для этого, подключив напряжение питания к соответствующему электромаг ниту, опускают зондодержатель k. Затем,отжимай винты 6 и поворачивая гоповки 5, устанавливают зонды каждой пары на контактные площадки проверяемого элемента. Зонды фиксируют, закрепляя головки 5 и зажимая ВИНТЬ) 6. 7 На координатный стол устанавли- ; вают микросхему 11 по заданной программе осуществляют позиционирование проверяемого элемента и включают электромагнит соответствующего зондодержателя. После замера и подгонки до требуемого значения параметра элемента электромагнит 8 отключают и выполняют позиционирование следующего по программе элемента. Формула изобретения Контактное устройство, преиму- . щественно для контроля пленочных гибридных интегральных микросхем, содержащее направляющую, зондодержатели с зондами, каждый из которых снабжен электромагнитным приводом, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля и удобства эксплуатации,направляющая выполнена в виде кольца с клиновидными пазами, снабженного буртиком, в .каждом из которых размещен подпружиненный зондодержатель с зондом. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1,Авторское свидетельство СССР № , кл. Н 05 К 1/0, 1976. 2.Патент Японии № , кл. 59 G ii.tH 05 К З/ОО;, 1970, (прототип).

Г

.у

Фиг2