Зондодержатель Советский патент 1982 года по МПК G01R1/06 

(54) ЗОВДОДЕРЖАТЕЛЬ

I . .- Изобретение относится к электрон технике, в частности к конструкции элементов контрольного оборудования и может найти применение при разраб ке эо щовых установок, используемых в производстве интегралья 1х микросхем на этапе их контроля. Известен зовдодержатель, содержащий основание, подпруниненный пол зун, кронштейн и зонд (иглу), изоляционные детали и механизм регулировки, обеспечиваюцир точную устано ку зонда на контактные площадки кри талла интегральной схемы по координатилм осям. Кронштейн выполнен пластинчатым и имеет значительную длину (60 мм). Он крепится к ползуну через изоляционную стойку с ци линдрическими выступами, которые служат заклепками при креплении кро штейна к стойке. К ползуну с торца прикреплена изоляционная колодка, служащая для ограничения вертикального движения кронштейна, а встроенная в колодку регулируемая пружина обеспечивает начальную силу сдвига зовда ГП, Однако данный зоедодержатель ра-ботает неустойчиво. При вибрациях и изменении температуры зонды уходят с настроенных контактных площадок, требуют подстройки. Это происходит слабой жесткости на скручивание кронштейна, образования при эксплуатации люфта в заклепках, а иногда и их среза, отсутствия ограничения боковых смоцений конца кронштейна, а значит и зонда. Известен зовдодержатель, содержащий основание, подпружиненный ползун, пружинный кронштейн, кронштей НИИ с зовдом, механизм регулировки, включаю1ф1й регулировочный винт, два эксцентрика, два упора и пружину. Основание изготовлено в виде бруска, который имеет для фиксации зо1щодержателя в планшайбе зовдовой установки, винт для крепле3ния его к гшаниайбе, два эксцентрика, а в глубокое отверстие, выполненное в торце основания вдоль его продольной -оси, размещаются входящие в выточки эксцентриков упоры и пружина, обеспечиваьэщие невыпадание эксцентриков из основа№1я. Ползун представляет собой планку с торцовым пазом, резьбовой втулкой для подпружиненного винта, служащего для регу- лировки пружинного кронштейна по вер тикали, винт для крепления ползуна через пружину к основанию, штифт, ог раничиваклций разворот пружины, два паза, прорезанные вдоль и поперек оси ползуна для ввода эксцентричных концов эксцентриков, резьбовое отверстие и отверстие под.штифт. Пружиннный кронштейн имеет на выступе угловую выборку и резьбовое от верстие для крепления кронштейна .с зовдом, штифт, входящий в торцовый паз ползуна- и ог раничивающий боковое смещение ползуна и пружинного кронштейна относительно друг дру-га, винт и штифт для крепления его к пол зуну.. , Настройка зоддодержателя, установленного на планшайбу зондо вой установки, осуществляется следующим образом. По оси Z вращением винта, установленного в резьбовой втулке ползуна и упирающегося в незакрепле ный конец подпруксиненного кронштейна, по оси X вращением, одного эксце трика, а по оси У вращением второго эксцентрика при помощи отвертю t23 Недостатками известного зондодержателя являются сложность конструкции и недостаточная надежность ее работы. Основные детали имеют сложн конфихурацию, большие габариты, регулировка осуществляется по каждой оси отдельно. Значительное количест во сопряжений деталей, а значит и мертвых ходов, затрудняет настройку устройства, снижает его надежность , т.е. устойчивость положения зонда по отношению к контактной площадке контролируемого изделия. Цель изобретения - упрощение кон струкции и повьш1ение надежности работы. Указанная цель достигается тем, что в зондодержателе, содержащем ос нование, механизм регулировки с вин том и упорами, подпружиненный ползу с пазами под упоры,-,на котором закр плен кронштейн с зондом, основание 14 выполнено -в виде упругой скобы, на концах которой жестко закреплены упоры механизма регулировки, выполненные коническими, причем конусность упоров больше конусности пазов, а оси упоров смещены одна относительно другой вдоль скобы, при этом механизм регулировки снабжен рычагом, конец которого размещен в ко1шческом отверстии, выполненном на одном конце подпрухшненного ползуна, другой конец которого выполнен в виде цанги. На фиг. 1 изобрахсен зондодержатель в продольном сечении; на фиг. 2то же, вид сверху, на фиг. 3 - то же, поперечное А-А на фиг. 1. Зондодержатель состоит из кронштейна 1 с зондом 2, основания 3, ползуна 4, размещенного внутри основания 3. Основание 3 выполнено в виде упругой скобы. На одной полке последнего установлены винт 5, с помощью которого Зондодержатель крепится к зондовой установке 6, винт 7 и рычаг 8 механизма регулировки. На концах основания 3 жестко закреплеш) конические упоры 9 и Ш. В ползуне 4 выполнены конические пазы П и 12, предназначенные уш упоров 9 и 10, соответственно, глухой паз 13, предназначенньц для винта 7 и коническое отверстие 14, предназначенное для рычага 8 механизма регулировки. Оси конических упоров 9 и 10 смещены одна относительно другой вдоль оси скобы основания 3. При этом конусность упоров 9 и 10 меньше конусности пазов II и 12 Ползун 4 подпружинен с помощью пружины 15, один конец которой неподвижно зажат при помощи упора 10 и заклепки 16. Для безвинтового закрепления кронштейна. с зондом 2 в ползуне 4 соответствующий конец ползуна выполнен в виде цанги .17. Зондодержатель работает следующим образом. При размещении ползуна 4 мезкду полками основания 3 в его пазы 1I и 12 входят упоры 9 и 10,винт 7 в глухой паз 13, рычаг 8 - в коническое отверстие 14. Пружина 15 подпружинивает попзун 4 к винту 7 и создает необходимое трение, дополнительное к тому, которое создается за счет постоянного подпружинивания ползуна 4 к винту 7 из-за смещения осей упоров 9 и 10 одна относительно другой по продольной оси основания 3. Разноконусность пазов пол зуна 4 и соответствуюищх им упоров 9 и 10 обеспечивает безл1сфтовое наиболее устойчивое сочленение ползуна 4 и упоров 9 и 10 при наличии трех степеней свободы по осям Х-У-Z в необходимых пределах. Точное выставление зонда по отношению к-кон-, тактной площадке микросхемы осуществляется по осям X и У путем наклона рычага 8 в необходимую сторону, по оси Z - вращения винта 7. Установка кронитейна с зондом непосредственно на жесткий ползун, зг-:сим его в поперечном сечений в 4-х точках за счет разноконусности упоров и пазов создает стабильность нахождения зонда в фиксированном положении. Уменьшение количества дета- лей, упрощение их конфигурации, умен шение габаритов упрощает в целом конструкцию и, как следствие, удешевляет ее изготовление. Замена винтового крепления кронштейна с зрвдрм на цанговый помимо удобства смены зо|зда, ужесточает кроиатейн, который в месте Отверстия под винт в известной конструкции часто ломается, Формула изобретения Зондодержатель, содержащий основа ние, механизм регулировки с винтом И упорами, подпружиненный ползун с пазами под упоры, на котором закреплен кронштейн с зондом, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и поШ)Шения надежности работы, основание выполнено в виде упругой скобы, на концах которой жестко закреплены упоры механизма регулировки, Ш11полнен 1е коническими, причем конусность упоров больше конусности пазов, а оси упоров смещены одиа относительно другой вдоль скобы, при этом механизм регулировки снабяен рычагом, конец которого в коиичес|с отверстии, выполненнсм на ор,«(т кoifцe подпрухоиненного ползуна, другой конец кото- рого шапапнея в виде цанги. Источйики информации, щ)инятые во Bffiitiaieie при экспедтизе 1.Зондодержатель БбМЗ. 773.012 становки ЗОВД-А4М, 2.6S8.0Q4, зготавливаемой заведем Эллар, г. Рига.. , 2.Зондодержатель Б6М2.689.000 становки ЗОНД-АЗ,14 КМ-14-008, .688.007, изготавливаемы заводом Эллар, г. Рига (прототип.