Способ распыления экзотермических газопоглотителей в электровакуумных приборах Советский патент 1982 года по МПК H01J7/18 

(5) СПОСОБ РАСПЫЛЕНИЯ ЭKЗOTEP WЧECKИX ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЕЙ В ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРАХ

1

Изобретение относится к производству электровакуумных приборов, в Частности к процессу распыления экзотермических газопоглотителей, который осуществляется путем разогрева высокочастотной энергией контейнера с газопоглотителем в течение времени t и собственно распыления газопоглотителя в течение времени tj.

Известен способ распыления газопоглотителей, заключающийся в выборе оптимальных значений времени разогрева t и суммарного времени разогрева и распыления t; + t U .

Однако этот способ не обеспечива- ,5 ет постоянства выхода активного ве- . щества, так как время распыления t. ввиду непостоянства времени разогрева t ,величина, изменяющаяся от прибора к прибору.20

Наиболее близким к предлагаемому изобретению является способ распыления экзотермических газопоглотителей в электровакуумных приборах, заключающийся в подаче высокочастотной мощности к газопоглотителю, регистрации момента начала распыления и стабилизации режима распыления на уровне постоянства произведения времени распыления на величину подводимой мощности -для данного типа прибора. В известном способе постоянство подводимой к газопоглотителю энергии, а следовательно, температуры распыления осуществляется путем изменения продолжительности времени распыления t2 при постоянной величине подводимой высокочастотной мощности L2j.

Однако для обеспечения высокой сорбционной активности и большой скорости сорбции напыленная пленка бария должна обладать рыхлой структурой, а продолжительный нагрев газопоглотителя, т.е. увеличение t, неблагоприятно влияет на структуру пленки бария, так как к концу распыления, вследствие уменьшения интенсивности испарения, рыхлая структура засевается более мелкими частицами бария, т,е, образуется мелкозернистая структура бариевой пленки, кроме того, при продолжительном нагреве нагреваются близлежащие поверхности электровакуумного прибора,что также способствует образованию мелкозернистой структуры. Таким образом, известное техническое решение не обеспечивает необходимых вакуумных условий в приборе, а следовательно, приводит к недостаточной долговечности прибора и к браку по эмиссионным параметрам . Целью изобретения является увеличение срока службы и снижение эмиссио ного брака. Поставленная цель достигается тем что согласно способу распыления экзо термических газопоглотителей, заключающемуся в подаче высокочастотной мощности к газопоглотителю, регистрации момента начала распыле ния и стабилизации режима распыления на уровне постоянства произведения времени на величину подводимой мощности для данноготипа прибора, поддержание режима распыления осуществляют за счет изменений в подводимой мощности. Пример. Для каждого типа прибора предварительно выбирают эталонное значение подводимой высокочас тотной энергии (произведение подводи мой мощности на время распыления t) обеспечивающее оптимальную температу ру распыления, и соответствующее этой энергии эталонное время начала распыления t/. Для конкретного обра батываемого прибора регистрируют отк лонение времени начала распыления газопоглотителя от эталонного и в зависимости от знака и величины откл нения производят изменение мощности высокочастотных колебаний, так, чтобы количество высокочастотной энергии. 9 4 потребляемое газопоглотителем за время распыления, осталось постоянным от прибора к прибору. Если время начала распыления больше эталонного, то по истечении эталонного времени подводимую к газслоглотитепю .мощность повышают. Обеспечивая распыление газопоглотителей при постоянной потребляемой мощности, предлагаемый способ позволяет значительно уменьшить разброс выхода активного вещества от прибора к прибору и, как следствие, увеличить выход активного вещества в зеркало, а значит, повысить вакуум а приборе и снизить эмиссионный брак. Формула изобретения Способ распыления экзотермических газопоглотителей в электровакуумных приборах, заключающийся в подаче высокочастотной мощности к газопоглотителю, регистрации foмeнтa начала распыления и стабилизации режима распыления на уровне постоянства произведения времени распыления на величину мощности для данного типа прибора, отли чающийся тем, что, с целью увеличения срока службы и снижения эмиссионного брака, поддержание режима распыления осуществляют за счет изменений в подводимой мощности . Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Барановский В.И. Технология производства приемных электроннолучевых трубок. М,, Энергия с. 276 - 281. 2. Пивоваров Г.Я. Технологические процессы электровакуумного производства. М., Энергия, 196, с. 246 251 (прототип).