Способ изготовления электровакуумного прибора Советский патент 1982 года по МПК H01J7/18 

(5) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА

.Изобретение относится к производству электровакуумных приборов (ЭВП), а более конкретно - к получению и поддержанию в них высокого вакуума. Известны способы изготовления электровакуумного прибора за смет ис пользования в качестве газопоглотите ля пленки бария Cl 3. Однако поскольку барий распыля;ется в вакууме, ограниченные сорб.ционные свойства образующихся плотных, или зеркальных пленок не могут обеспечить работоспособность крупногабаритных и материалоемких ЭВП, например цветных кинескопов, остаточно давление в них составляет при этом около 10 Па. Оно не понижается и тогда, когда чтобы изменить состав разреженной среды (например с целью дополнительной активировки оксидного катода следами водорода), производят оследовательно распыление двух разичных газопоглотителей 21. Известен также способ изготовления электровакуумного прибора, (зключающий распыление бариевого газопоглотителя на определенное место оболочки прибора в среде азота. При этом образуются рыхлые или диффузные пленки с повышенной концентрацией сорбционных центров, и остаточное давление уменьшается до 10 Па. Недостатком известного способа изготовления ЭВП является то, что дальнейшее улучшение вакуума ЭВП этим способом невозможно, так как: внешняя поверхность пленки газопоглотителя дезактивируется адсорбирующимся азотом в окончательные моменты распыления бария; часть бария, расходуемая на связывание азота за счет окклюзии, в дальнейшем постепенно освобождается, и остаточная среда ЭВП обогащается трудноудалимой компонентой. 39 Цель изобретения - улучшение вакуума в приборе. Указанная цель достигается тем, что в способе изготовления электро:вакуумного прибора, включающем распыление бариевого газопоглотителя на определенное место оболочки в ере де.азота, через 2-3 с после начала распыления бария на другое место обо лочки прибора в течение с капыляют металлический литий. Этот способ основывается на обнаруженных особенностях напылительного и сорбционного процессов в разре хен ных средах, а именно на том, что для возникновения диффузной пленки достаточно, чтобы пары бария осаждались на мелкозернистом, 1кристаллически напряженном зародышевом подслое этого металла, толщиной 10-15 от полной толщины пленки. Дальнейшее размножение активных сорбцирнных центров не требует, таким образом, предварительно рассеивать испаряющиеся атомы бария молекулярным азотом (ана логичный эффект наблюдали, например 11ри осаждении, щелочноземельных металлов в вакууме на матированное стекло). В момент образования зароды шевого подслоя концентрация диспергирующего газа должна быть достаточ но велика (давления порядка 1001000 Па), но коль скоро его структу,ра оформилась, азот, адсорбция и окклюзия которого протекали бы параллельно с испарением бария, уже не улучшает, а ухудшает поглотительные свойства пленки. Скорость взаимодействия азота с л тием в раз выше, нежели с барием, что единственно и дает возможность удалить диспергирующий газ сразу же после образования зародышей кристаллизации и до того, как скон.денсируется основная масса бария, ко торая таким образом не загрязняется азотом.: Момент начала напыления лития через 2-3 с после начала распыления бария определен из того , что эффективная толщина зародышевого подслоя составляет околи 1/8 от общей толщины бариевой пленки, на что и требует ся указанное время, при меньшей задержке с момента начала напыления ли тия толщина упомянутого подслоя чересчур мала и, кроме того, технология становится неуправляемой. Увеличение задержки до с ведет к заметной дезактивации поверхности азотом. Режим напыления лития с при 800-850, обуслов/1ен тем, что при более медленном напылении азот не успевает связываться, напротив слишком интенсивный нагрев ведет к вредному разбрызгиванию расплавленного лития. П р и м е р. В кинескоп, снабженный бариевым кольцевык- газопоглотителем типа с внутренним источником азота (нитридом железа), вводят азотопоглотительный элемент в форме 20-30 мг металлического лития, заштампованного в углубление никелевого флажка и заваренного сверху никелевой сеткой. После обычной вакуумной обработки прибора и через 2-3 с после начала распыления бария включают катушку ВЧ-нагрева литиевого азотопоглотительного элемента, так чтобы в течение последующих 3-5 с температура флажка поддерживалась на. уровне 800-850°С, и пары лития не попадали на площаль конденсации(осаждения) бария; напыление газопоглотителя КРАБ-26 производят.в- соответствии с нормальной технологией. Как следствие образования диффузионного зародышевого подслоя бария, дальнейшего связывания технологического азота литием и окончательной диффузной конденсации бария при давлениях не выше 0,1 Па, вакуум в готовом приборе улучшается до при одновременном изменении состава остатЬчных газов на более благоприятный (относительная концентрация азота снижается с 90 до 5-10%). Использование предлагаемого изобретения, за счет улучшенного на 1,52 порядка вакуума, обеспечит увеличение технологического выхода цветных кинескопов на 5-7, а их долговечности на 400-600 ч. Формула изобретения Способ изготовления электровакуумного прибора, включающий распыление бариевого газопоглотителя на определенное место оболочки прибора в среде азота, о Т-л и чающийся тем, что, с целью улучшения вакуума в приборе, через 2-3 с после начала распыления бария на другое место оболочки прибора в течение с напыляют металлический литий.

Источники информации,2. Патент США № 3387908,

принятые во внимание при экспертизеКл. 316-25, опублик. 1968,

Iтехнология. М., Госэнергоизддт, 19, 5 газом КРАБ-26. - Электронная промышс. 360-361.heHHocTb, Э7, If 9, с. ««9-50.

3. Новицкий Н.К. и др. Газопогло