Устройство для герметизации изделий Советский патент 1982 года по МПК H01L21/00 B05C5/02 

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть исполу зова-t но при защите микроэлементов интегральных схем и микросборок с помощью герметизирующего покрытия полимеризующимися материалами.

Известно устройство для нанесения жидкости на поверхность изделие по замкнутому контуру, содержащее стол для размещения изделий, узлы подачи и нанесения жидкости, а также ложемент.для перемещения по поверхности стола с копиром, ко11тактирующим с копирным роликом, которым снабжен узел нанесения, последний выполнен в виде полого корпуса с установленной внутри него запирающей иглой и закрепленной в нижней части кольцевой насадкой с выполненным в ней наносящим пазом Cll.

Известное устройство обеспечивает нанесение жидкости только на плоские поверхности по замкнутому контуру без образования герметизирующей полости.

Известно также устройство для нанесения полимеризующегося материала, содержащее связанную с приводом вращения головку с выпускнь отверстием и соединенную с головкой каретку, установленную на направляющей с возможностью вoзвpaтнo-пocтsnaтeльного перемещения, пoдпpyжинeннiым сердечником, установленным с зазором в выпускном отверстии головки, которое выполнено в ее днище, и держателем для закрепления изделий.

Устройство позволяет наносить равномерный слой материала требуемой толщины на наружные и внутренние поверхности цилиндрических изделий.

Наносимый материал в известном устройстве расположен в полости между сердечником и головкой, и для нанесения его на изделие необходимо взаимное перемещение головки и .сер- . дечника, при котором головка должна соприкасаться с торцом изделия С2.

Недостатком известного устройства является то, что оно не позволяет наносить полимеризующиеся материалы на плоскую поверхность с образованием герметизирующей полости между поверхностью и наносимым материалом, так как в нем не предусмотрена возможность выдавливания материала через зазор между головкой и сердечником без растекания материала по плоской поверхности. Цель изобретения - повышение качества изделий путем образования герметичной полости нац изделием. Эта цель достигается тем, что в устройстве для герметизации изделий, содержащем размещенные на осно вании головку для подачи герметизирующёго материала с цилиндрическим сердечником, установленным с зазором в выпускном отверстии головки, держатель изделий и приводной механизм, держатель изделий установлен с возможностью вращения и посту пательного перемещения вдоль оси выпускного отверстия, а в сердечни ке выполнено осевое отверстие для подачи защитного газа. Сердечник жестко закреплен в выпускном отверстии головки. На торце сердечника выполнено углубление для размещения герметизируемого изделия, сопрягающееся с осевым отверстием сердечника. В средней части сердечника выполнена проточка. Держатель изделий снабжен жестко закрепленным по оси вращения и пере мещения держателя изделий ходовым винтом, кинематически связанным посредством зубчато-реечной передачи с приводным механизмом, а в основании выполнено резьбовое отверстие, в котором установлен ходовой винт. На фиг.1 изображено устройство, общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1. Устройство содержит головку 1 с дозирующим плунжером 2 для подачи полимеризующегося гepмeтизиp JЭOщeгo материала 3 и сердечник 4 с каналами 5, жестко закрепленный верхней частью в головке 1 и с зазором б в нижней части. В сердечнике 4 выполнено центральное осевое отверстие 7 сопрягающееся с коническим углублением 8 и соединенное с отверстием 9 в головке 1 для подачи защитного га за. Сердечник 4 в своей средней час ти имеет проточку 10 по наружной по верхности. Держатель 11 для закрепления изделий содержит- зажим 12. На держателе 11 закреплены зубчатое ко лесо 13, связанное с зубчатой рейко 14 приводного механизма 15 возвратно-поступательного движения (например, пневмоцилиндр), и ходовой винт 16. Держатель 11 установлен в гайке корпуса 17 ходовым винтом 16. Устройство работает слёдукяцим об разом. Установленное на основание 18 из делиё 19, например смонтированный на плату микрорадиоэлемент, закрепляется на держателе 11 зажимом 12 п центру кольцевого зазора 6. Приводн механизм 15 через рейку 14 вращает держатель 11, который ходовым винтом 16 поднимается к головке 1. При этом герметизируемое микроизделие 19 помещается в углубление сердечника 4. При достижении определенного зазора между основанием 18 и головкой 1 движение держателя 11 прекращается. После этого дозирующим плунжером 2 начинает выдавливаться герметизирующий материал через зазор 6и одновременно через отверстие 7и 9 подается защитный газ, избыточное давление которого препятствует стягиванию получаемого из выдавливаемого материала полого цилиндра. При этом полость, образованная головкой 1 и проточкой 10 сердечника 4, способствует равномерному вьщавливанию через зазор 6 проходящего по каналам 5 материала 3-. В момент соприкосновения указанного полого цилиндра с основанием 18 прекращается подача защитного газа и включается приводной механизм 15 в противоположном направлении. Держатель 11 с основанием 18, вращаясь и одновременно опускаясь, вытягивают и закручивают образованный полый цилиндр до образования на нем замыкающей шейки 20. При этом над изделием 19 образуется герметизирующая полость 21, заполненная защитным газом. При дальнейшем движении держателя 11 замыкающая шейка 20 разрывается, а излиыки герметизирующего материала втягиваются в зазор б обратным движением плунжера 2. После этого установленное на основание изделие с полученной над ним герметизирующей полостью передается на отверждение. Использование изобретения позволяет устранить непосредственный контакт герметизирующего материала с герметизируемым изделием, что повышает надежность изделия и снижает требования химической чистоты герметизирующих материалов. Кроме того, при изготовлении бескорпусных гибридных микросборок, например, методом обволакивания использование изобретения позволяет исключить заливку MHKpfoэлементов эластичными герметиками, что дает экономию указанных материалов . Формула изобретения 1. Устройство для герметизации изделий, преимущественно радиоэлектронных микроэлементов, содержащее размещенные па основании головку для подачи герметизирующего материала с цилиндрическим сердечником, установленным с зазором в выпускном отверстии головки, держатель изделий и приводной механизм, отличающееся тем, что, с целью