Устройство для проведения плазмохимических процессов Советский патент 1988 года по МПК H05H1/42 

19 Изобретение относится к технической физике и пременяется для проведе ния плазмохимических процессов. Известно устройство для проведени плазмохимических процессов, содержащее реакционную камеру, верхний и нижний электроды, устройство для перемещения нижнего электрода с пласти нами, систему подачи и отвода реакционных газов. Недостатком этого уст ройства является неэффективное использование реакционных газов и низкое качество обработки из-за подтрав ливания образцов. Известно также уст ройство для проведения плазмохимичес ких процессов, содержащее реакционну камеру, нижний и верхний электроды, систему подачи и отвода реакционных газов, источник энергии. Недостатком этого устройства является низкая производительность плазмохимических процессов и низкий выход годных изделий. Цель изобретения - повьшение производительности плазмохимических процессов и увеличение выхода годных изделий. Цель достигается тем, что в устройстве дття проведения плазмохимичес ких процессов, содержащем реакционную камеру, нижний электрод, верхний электрод, систему подачи и отвода ре акционных газов, источник энергии, устройство для перемещения обрабатываемЬ1Х пластин, последнее выполнено в виде группы вертикально расположенных штырей с возможностью возврат но-поступательного движения, на концах которых располагаются пластины, а в нижнем электроде вьшолнены отверстия ддя перемещения штырей. Изобретение поясняется чертежом, на котором изображено устройство 6 для проведения плазмохимических процессов, содержащее реакционную камеру 1 с крышкой 2, нижний электрод 3 с выступом 4, верхний электрод 5с токовводом 6, систему 7 подачи реакционных газов, систему 8 отвода реакционных газов (отверстия), устройство 9 для вертикального перемещения обрабатываемых пластин 10 со штырями 11. Устройство работает следующим образом. При помощи ступенчатого вращения нижнего электрода 3 загрузочными штырями 11 и их устройствами 9 обрабатываемые пластины 10 устанавливаются на месте обработки на выступе 4 нижнего электрода 3. Объем реакционной камеры 1 вакуумируется через систему (отверстия) 8, и через сопло системы 7 подачи в реакционную камеру 1 напускают реакционные газы. Через токовводь 6 на электрод 5 подается высокочастотная энергия, в результате чего между электродом 5 и электродом 3 возбуждается плазменный разряд. При этом, наряду с другими процессами, имеющими место в плазменном разряде (возбуждение и ионизация молекул и атомов), происходит образование химически активных радикалов, посредством которых осуществляется процесс плазмохимической обработки поверхности пластин 10, размещенных на электроде 3. Меняя состав газообразных реагентов, а также условия в реакционной камере 1 (давление, температуру), возможно осуществление процесса плазмохимического осаждения материалов. Использование в устройстве подъемных штырей позволяет автоматизировать процесс загрузки-выгрузки обрабатываемых пластин, исключить загрязнение их оператором, т.е. повысить качество обработки.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, содержащее реакционную камеру, нижний элект род, верхний электрод, систему подачи и отвода реакционных газов, источник энергии, устройство для перемещения обрабатываемых пластин, отличающееся тем, что, с целью повыиения производительности плазмохимических процессов и упеличения выхода годных изделий, устройство для перемещения обрабатываемых пластин относительно нижне го электрода выполнено в виде группы вертикально расположенных штырей с возможностью возвратно-поступательного движения, на концах которых располагаются пластины, а в нижнем электроде выполнены отверстия для перемещения штырей.