Способ измерения низких давлений газа Советский патент 1953 года по МПК G01L21/32 

Наиболее широкое ирименение з электровакуумной промышленности нашли термопарные и ионизационные манометры, помимо компрессионных мар ометров прерывного действия, не позволяюил1х производить измерение давления кондеисируюшихся паров. Однако термопарные и ионизационные raиoмeтры допускают непрерывное измерение давлений в узком диапазоне, что препятствует их широкому использованию, в частности, при производстве газоразрядных приборов.

В изобретении описывается способ измерения разрежения в широком диапазоне давлений.

Способ основан на явлении затягивания плазмы разряда вдоль положительно заряженной нити, натянутой по оси манометрической трубки, которая сообпшется с откачиваемым объемом.

На чертеже представ;1еиа принципиальная конструкция манометрической трубки, позволяюшей измерять давление по описываемому способу.

По оси стеклянной трубки / на дсржате.ге 2 и выводе .3 укреп.чена никелевая и.ти молибденовая нить 4, натягиваемая пружиной 5. В качестве источника первичных электронов служит система, состоящая из прямонакального или подогревного катода 6 и анода возбуждения 7; вспомогате.пэиый разряд па анод возбуждения снижает ток на нить и потенциал зажигания разряда на нить. Вспомогательный электрод датчика 8 используется при электрическом способе измерения. В отростке трубки находится капля ртути 9; пары ртути увеличивают яркость свечения разряда при низких давлениях газа. Питание трубки догпскается как переменным, так и постояниым током.

Возможны два способа измерения давлен1 Й с помоицдо описанной манометрнческоГ) тр бки: виз альньн)--по степени затягивания конца свечения вдоль нити, рядом с которой распо.1агается пп-:ала. отград ч1роваииая в едиигихах давления,-при этом диапазон измеряемых дагзлеши .|сжпт в пределах от 0,5 мм рт. ст. до 1 мм рт. ст. и 3.iei;Tpri4ccKini-по г.етичине тока в цепи вспомогательного электрода та;-; иазываемого электрода датчика., причем иреде, llзмepяe тьг дав.iCMiiiii н этом .южит между 100 .,-1/, рт. ст. i IiJ .H рт. ст.

Градуировка манометра производится следующим образом: при нормальном накале катода подбирают такие токи на пить и па апод возбуждения, нри которых при самом низком измеряемом давлении конец свечения наиболее близко нодходит к концу нити, удаленному от анода возбуждения. У конца свечения на шкале отмечается соответствуюндее давление. Затем давление повышают, делая соответствующие отметки на щкале. Аналогично градуируется и П1кала микроамперметра, включенного в цепь вспомогательного электрода датчика. Причем максимальное отклонение стрелки прибора имеет место при минима.чьном давлении.

Такой способ градуировки позво.чяет исключить влияние паров ртути, обусловленных наличием в трубке кайли ртути, на измерения истинного давления в откачиваемом объеме.

Предмет изобретения

. Способ измереиия низких давлений газа при помощи электрического манометра-разрядной трубки, подключаемой к объекту, давление в котором измеряется, о т л ич а ю Hj. и и с я тем, что, с целью осуществления измерений в широком диапазоне давлений-от 0,5 мм рт. ст. до 1 рт. ст. нрименяют трубку с дополнительным электродом-нитью, находящейся иод положительным относительно катода трубки потенциалом, и величину давления оиределяют визуально- по величине расстояния, на которое затягивается плазма разрЯлТа (свечение) вдоль этой нити.

2. Способ но н. 1, отличаю1ц и и с я тем, что для измерения давлений в пределах от 100 мм рт. ст. до 1 .VLH рт. ст. применяют трубку со вспомогате.чьным электродом, распо.юженным сбоку от нити, и величину давления определяют по величине тока в цепи вспомогательного электрода.

5 / $ 4 J 7 f

/ отначибйемомд объему