Криогенная откачная система Советский патент 1982 года по МПК F04B37/02 

Изобретение относится к вакуумной технике. Известна криогенная.откачная система, содержащая импульсный криогенный вакуумный насос с полой криопанелью, заполненной гелием, и криогенератор, имекяций полости вы сокого и низкого давления 1} . При работе известной откачной системы температура криопанели в процессе конденсации на ее поверхности откачиваемого газа повышается, что снижает быстроту действия системы. Целью изобретения является увели чение быстроты действия путем стаби лизации температуры криопанели. Указанная цель достигается тем, что полость криопанели заполнена адсорбентом и подключена.трубопроводами с вентилями к.полостям криогенератора. На чертеже схематично изображена откачйая система. Криогенная откачная система соде жит импульсный криогенный вакуумный насос 1 с полой криопанелью 2, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости 3 и 4 высокого и ни кого давления. Полость 5 криопанели 2 заполнена адсорбентом и подключена трубопроводами 6-8 с вентилями 9 и 10 к полостям 3 и 4 криогенератора. Система работает следующим образом. В процессе охлаждения криопанели вентиль 9 открыт, а вентиль 10 закрыт. Холодный гелий из криогенератора охлаждает криопанель 2 и адсорбент , находящийся в полости 5. Адсорбент поглощает гелий при давлении в полости 3 высокого давления криогенератора. При переходе на режим криооткачки вентиль 9 закрывают и открывают вентиль 10. При этом с понижением давления в полости 5 происходит десорбция ранее поглощенного гелия. Так как при этом затрачивается теплота адсорбции, часть теплопритока к криопанели с конденсируелым газом оказывается скомпенсированной,, и это замедляет или совсем прекращает рост температуры на поверхности криопанели. Такое выполнение криогенной откачной системы позволит стабилизировать температуру криопанели и увеличить тем самым быстроту действия насоса.

Формула изобретения

Криогенная откачная система, содержащая импульсный криогенный вакуумный насос с полой криопанельЮ| заполненной гелием, и криогенератор имекяций полости высокого и низкого давления, отличающаяся тем, что, с целью увеличения быстроты действия путем стабилизации температуры криопанели, полость криопанели заполнена адсорбентом и подТключена трубопроводами с вентилями к полостям криогенератора.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Йатент Великобритании №1170824, кл.Р 1 N 3 В 2,опублик.1967