Криогенная откачная система Советский патент 1984 года по МПК F04B37/02 

1-i ionpereime относится к вакуумной технике. По основному авт. св. № 953263 известна криогенная откачная система, содержащая импульсный криогенный вакуумный насос с полой криопанелью, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости высокого и низкого давления, при этом полость криопанели заполнена адсорбентом и подключена трубопроводами с вентилями к полостям криогенер 1тора 1. Однако в указанной системе не используется для стабилизации температуры криопанели в процессе криооткачки холодопроизводительность криогенератора, обусловленная изотермическим эффектом дросселирования десорбируемого газа при выходе его из криопанели в полость низкого давления криогенератора. Целью изобретения является повышение быстроты действия путем стабилизации температуры криопанели. Поставленная цель достигается тем, что в криогенной откачной системе, содержащей импульсный криогенный вакуумный насос с полой криопанелью, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости высокого и низкого давления, а полость криопанели заполнена адсорбентом и подключена трубопроводами с вентилями к полостям криогенератора, криопанель снабжена змеевиком, размещенным в ее полости, вход которого через вентиль подключен к полости криопанели, а выход - к полости низкого давления криогенератора. На чертеже схематично изображена откачная система. Криогенная откачная система содержит импульсный криогенный вакуумньш насос 1 с полой криопанелью 2, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости 3 и 4 высокого и низкого давления. Полость 5 криопанели 2 заполнена адсорбентом и подключена трубопроводами 6, 7 и 8 с вентилями 9 и 10 к полостям 3 и 4 криогенератора. Криопанель 2 снабжена змеевиком II, размещенным в ее полости 5, вход которого через вентиль 10 подключен к полости 5 криопанели 2, а выход - к полости 4 низкого давления криогенератора. Откачная система работает следующим образом. В процессе охлаждения криопанели вентиль 9 открыт, а вентиль 10 закрыт. Холодный гелий из криогенератора охлаждает криопанель 2 и адсорбент, находящийся в полости 5. Адсорбент поглощает гелий при давлении в полости 3 высокого давления криогенератора. При переходе на режим криооткачки вентиль 9 закрывают и открывают вентиль 10. С понижением давления в полости 5 происходит десорбция ранее поглощенного гелия. Поскольку существует перепад давлений в полости 5 и полости 4 низкого давления криогенератора, то в вентиле 10 и змеевике 11 происходит дросселирование гелия, что приводит к снижению его температуры. Поскольку после дросселирования для нагрева гелия до исходной температуры требуется определенное количество теплоты, то часть теплопритока к криопанели оказывается скомпенсированной, и это замедляет или совсем прекращает рост температуры на поверхности криопанели. Таким образом, введение в схему откачной системы теплообменника 11 позволяет стабилизировать температуру криопанели и увеличить тем самым быстроту действия системы в целом.

КРИОГЕННАЯ ОТКАЧНАЯ СИСТЕМА по авт. св. № 953263, отличающаяся тем, что, с целью повышения быстроты действия путем стабилизации температуры криопанели, последняя снабжена змеевико.м, размещенным в ее полости, вход которого через вентиль подключен к полости криопанели, а выход - к полости низкого давления криогенератора. (Л ;о ю