Распределительное устройство для нанесения резистивных покрытий Советский патент 1982 года по МПК G01F11/00 H01L21/00 

Tiycy, a силовой - к штоку пневмоцилиндра. Кроме того, оно снабжено баком для растворителя и подсоединенным к нему третьим трубопроводом, котооый, в свою очередь, через клапан подсоединен к третьему отверстию тройника.На фиг. 1 показано устройство, обадий вид; на фиг. 2 - вид А на . фиг. 1. Распределительное устройство содержит корпус 1,3 котором жестко установлен тройник 2, выполненный, например из фторопласта. Два противоположно расположенных отверстия тройника 2 уплотняются штуцерами 3. Каждый штуцер через хомутик 4 шарни но связан направляющим рычагом 5с корпусом 1. Силовые рычаги 6 через пружины 7 взаимодействуют со штоком 8 пневмоцилиндра 9 и переводят штуцера 3 из исходного положения В в р бочее Б .и обратно. Штуцера 3 соединяются гибким тр бопроводами 1о с баками 11 для резн та, которые подключаются в свою оче редь к системе подачи азота под давлением и вакуумной магистрали. Боковое отверстие тройника 2 соединяется через клапан 12 гибким трубопроводом 13 с емкостью 14 для рас ворителя, подключенной к системе подачи азота под давлением и вакуумной магистрали. Для фиксации поворота направляющи рычагов 5 устанавливаются регулируемые упоры 15. Для подачи сигналов начала и конца операции предусмотрены микропереключатели 16, на кнопки которых нажимает флажок 17, который закреплен на планке 18, связывающей шток 8 с силовыми рычагами 6. Микропереключатели 16 закрепляются на корпусе 1 с помощью кронштейнов 19. Распределительное устройство рабо тает следующим образом. Подается давление в пневмоцилиндр 9, шток 8, плавноразжимая пружины воздействует через силовые рычаги 5 направляющие рычаги 6 на хомутики 4, в которых закреплены штуцера 3, и отводит их из исходного положения В в рабочее положение Б. Штуцера 3 через трубопроводы 10 из емкости 11 под небольшим давлением азота заполняются резистом, пос ле чего давление меняется на разряжение таким образом, чтобы резист втянуло обратно в отверстие штуцеров на 5-10 мм. Давление в пневмоцилиндре 9 отключается, пружины 7 воз вращают штуцера 3 и шток 8 в исходно положение в обратном порядке; герме тично уплотняя отверстия тройника-2 Распределительное устройство подготоэлеио к работе. Штуцера 3 отводят из исход(ого положения В.в рабочее положение Б в указанном порядке. Флажок 17 нажимает на кнопку микропереключатея 16 , при этом разряжение в баках, 11 меняется на давление, вьщается порция резиста на пластину (доза регулируется, например по реле време;ш, после чего давление снова сменяэтся разряжением, резист втягивается в отверстия штуцеров 3 на 5-10 мм, и они возвращаются в исходное положение В в указанном порядке. После уплотнения противоположно расположенных отверстий тройника 2 штуцерами 3, открывается клапан 12, запираввдий боковое отверстие тройника 2, и пары растворителя из бака 14 попадают в полость тройника 2, исключая возможность засыхания остатков резиста в отверстиях штуцеров 3, даже при остановке работы на длительное время, Для: исключения образования осадка смолы,, сохранения постоянной вязкости резиста по объему, а также удобства зшлены емкостей резиста, требуется периодическая перекачка резиста при нахождении штуцеров 3 в исходном положении В из одной емкости 11 в другую при закрытом клапане 12 поочередной сменой давления в емкостях 11. Для полной промывки растворителем и продувки азотом полости тройника 2, отверстий штуцеров 3., а также трубопроводов 10, например, при смене марки резиста, штуцера находятся в исходном положении В, клапан 12 открыт, давление подается в -емкость 14 при отсутствии баков 11, замененных технологическими бачками, продувка осуществляется автоматически после окончания порции растворителя в баке 14 и поступления азота через полость тройника 2 в отверстия штуцеров и трубопроводы.. Для частотной npoNHBKH полости тройника 2 и наружных поверхностей штуцеров 3 при их нахождении в рабочем положении Б, клапан 12 открыт, давление подается в блок 14, , растворитель проходит через тройника 2..и, вытекая через открытые отверстия, омывает наружные поверхности штуцеров 3. При эксплуатации в производственных условиях предлагаемое устройство надежно в работе с фоторезистами типа РН-7, ФП-383 и электронными резистами (НХД), просто в обслуживании, профилактике. Дозируквдие отверстия надежно защищены от засыхания, а в струйке резиста отсутствуют частички воздуха.

Формула изобретения

1. Распределительное устройство ;дпя нанесения резистивных покрытий содержащее корпус, бак с резистом, связанный с ним трубопровод подачи резиста с дозируюсдам отверстием на выходе, источник давления, подсоединенный к баку, и механизм запирания йтверстий, отличаюи1е-г е с я тем, что, с целью повышения качества наносиквлх пленок, оно снабжено источником вакуума, вторым трубопроводом, штуцерами на выходе трубопроводов и жестко установленным в корпусе тройником с отверстиями в горизонт ьной плоскости, два из которых соосны и уплотнены штуцера. ми, а механизм запирания отверстий выполнен в виде вертикально установленного пневмоиилиндра, хомутиков для крепления штуцеров, каждый из

которых шарнирно связан с введен ными аправлякяцим и подпружиненным силовым рычагами, причем направляю.дий рычаг шарнирно подсоединен к корпусу, а силовой - к ШТОКУ пневмоцилиндра.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью обеспечения его промлвки, оно снабжено баком для растворителя и подсоединенным к нему третьим трубопроводом который, в свою очередь, через клапан подсоединен к третьему отверстию тройника.

Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1.Каталог фирмы Atlas Handel а. L 1969, с. 2-20.

2.Авторское свидетельство СССР 579666, кл. Н 01 L 21/00, iSV64.75

(прототип).