Устройство для измерения магнитных свойств тонких пленок Советский патент 1983 года по МПК G01R33/12 

: Изобретение относится к области магнитных измерений и может быть. использовано в устройствах для исслег дования свойств слабомагнитных материашов используемых, в виде тонких пленок Полупроводников, металлов или диэлектриков..

По основному авт. св. №638904 известно хстррйство для измерения магнитных свойствтонких пленок, содержащее корпус,.внутренняя поверхность которогопокрыта проводящим слоем, и испаритель, .в верхней части корпу.са размешен -магнитный подвес с кварцевой нитью/ на«которой укреплен, диск-подложка из слабомагнитного материала, а в нижней части - испаритель If подвижная кварцевая трубка-заслонка, между испарителем « дис.ком размещена-маска трафарет, служащая для негативного осаждения исследуемой пленки на диске-подложке, с обеих , сторон корпуса установ.ленй полюсные накос емники таким образом, что их центр по вертикали совпадает с горйзоитальной плоскостью диска LlJ

Недостатком известного устройства яштлется невозможность осуществления автоматической центровки диска-подложки по двум осям в горизонтальной

плоскости в поле электромагнит а, чтс снижает точность и быстродействие измерения.

Цель изобретения - повышение точности и быстродействия.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для измерения маг-нитных свойств тонких пленок, содержащем корпус, внутренняя часть кото10рого покрыта проводящим слоем, и испаритель, в верхней части корпуса размещен магнитный подвес с кварцевой нитью, на которой укреплен дискподложка из слабомагнитного материа15ла, а в нижней части - испаритель и подвижная кварцевая трубка-заслонка, между испарителем и диском размещена маска-трафарет, служащая для негативного осаждения исследуемой

20 плёнки на диске-подложке, с об.еих сторон корпуса установлены полюсные наконечники, в нижнюю часть кварцевой нити впрессована проволока из парамагнитного материала, а диск-под25ложка размещен в горизонтальной плоскости, проходящей через нижние торцы полюсных наконечников.

На чертеже представлена схема устройства для измерения магнитных

30 свойств тонких пленок.

Устройство содержит магнитный подвес 1, кварцевую нить 2,проволоку 3, полюсные наконечники 4 и 5, дискподложку 6, массу-трафарет 7, корпус 8, проводящее покрытие 9, кварцевую трубу-заслонку 10 и испаритель 11.

Устройство работает следующим образом.

В процессе обезгаживаиия прибора, на внутреннюю поверхность которого 1анесен проводящий слой SnOj, обезга живают испаритель с мелкими кристгшлами исследуемого вещества (например CdTe) пропусканием тока силой 5-10 А через молибденовую спираль, намотанную на испаритель 11, изготов ленный из кварцевой трубки в виде ампулы и впаянный -в нижнюю часть стеклянного прибора. При зтом кварцевую трубку-заслонку 10 выдвигают наклоном прибора в положение 10, предотвращающее попащание молекулярного пучка из ампулы испарителя 11 на диск-подложку 6. После обезгажнвания при достижении необходимого чакуума, прибор отпаивают от вакуумной установки, кварцувую Трубку-заслонку возвращают в исходное положение, исключающее экранирование молекулярного пучка. Далее прибор корректируют и подключают к регистрирующей и измерительной аппаратуре. Корректировка позволяет устанавливать прибор в зазоре полюсов электромагнита строго вертикально таким образом, что плоскость диска-подложки совпадает с горизонтальной плоскостью нижних торцов магнитных наконечников. При этом если систему коорди11ат выбрать так, . что ее центр О совместить с осью прибора в плоскости диска-подложки, а ось X направить перпендикулярно оси У, совмещенной на чертеже с осью симметрии 0.0 магнитных наконечников, то центровка диска-подложки в магнитном поле автоматически осуществляется следующим образом.Центровка диска по оси X происходит в результате втягивания парамагнитной проволоки в максимум магнитного поля

расположенный по оси симметрии магнитных наконечников. При этом центр диска-подложки 6 занимает в своей плоскости координаты: абсцисса X « О а координата У определяется зазором между диском и внутренним диаметром прибора. Одновременно центровка диска по оси У происходит за счет градиентов магнитного поля, образующихся на нижних торцах полюсных наконечников, в результате чего диск-подложка 6 из диёшагнитного материала устремляется в сторону уменьшения неоднородности магнитного поля, ось симметрии которого на чертеже совмещена с осью X. Таким образом,центр диска-подложки автоматически занимает положение с координатами: X : О и У О, т.е. совпадающими с осью симметрии прибора.

Введение в устройство для измерения магнитных свойств тонких пленок проволоки из парамагнитного материа ла, например платины, и размещение диска-подложки в горизонтальной плоскости, проходящей через нижние торцы полюсных наконечников, повышает точность и быстродействие за счет автоматической центровки диска-подложки по двум осям в горизонтальной плоскости в поле электромагнита.

Формула изобретения

Устройство для измерения магнитных свойств тонких пленок по авт.св. 638904, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и быстродействия,.в нижнкж) часть кварцевой нити впрессована проволока из марамагнитного материала, а диск-подложка размещен в горизонтгшьной плоскости, проходящей через нижние торцы полюсных наконечников.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 638904, кл. G 01 R 33/12, 26.01.77.