ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ Российский патент 1994 года по МПК C23C14/56 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме или "чистых" технологических средах.

Известно шлюзовое устройство [1], в пазах которого смонтирован загрузочный механизм в виде шлюзовых роликов.

Недостатком аналога является невозможность подачи в вакуумную камеру материалов с возможностью их дозировки.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является шлюзовое устройство [2] для ввода и вывода изделий в вакуумную камеру с загрузочным механизмом, выполненным в виде заключенного в вакуумный корпус ротора с расположенными по окружности гнездами для загрузки материалов.

Недостатком прототипа является также невозможность подачи в вакуумную камеру материалов с возможностью их дозировки.

Цель изобретения - подача в вакуумную камеру материалов с возможностью их дозировки.

Цель достигается тем, что в шлюзовом устройстве согласно изобретению внутри каждого гнезда установлен поршень с выступом на торце, который герметизирован с ротором посредством сильфона, выступ взаимодействует с конусом, который жестко закреплен на торцовой поверхности винта, установленного в резьбовом отверстии корпуса.

Введение в шлюзовое устройство поршня с выступом на торце, герметизированном с ротором посредством сильфона, конуса, жестко закрепленного на винте, установленном в резьбовом отверстии корпуса обеспечивает регулирование объема гнезда для подачи как твердых, так и сыпучих материалов, что и позволяет достичь подачу в вакуумную камеру материалов с возможностью их дозировки.

На фиг. 1 показано шлюзовое устройство, поперечный разрез; на фиг. 2 - оно же, продольный разрез.

Шлюзовое устройство для ввода материалов в вакуумную камеру содержит вакуумно-плотный корпус 1, ротор 2 с расположенными по окружности гнездами 3 для загрузки как твердых, так и сыпучих материалов. Внутри каждого гнезда 3 установлен поршень 4 с выступами 5 на торце 6. Выступ 5 герметизирован с ротором 2 посредством сильфона 7 и взаимодействуют с конусом 8, который жестко закреплен на торцовой поверхности 9 винта 10. Винт 10 установлен в резьбовом отверстии 11 корпуса 1. С целью обеспечения герметизации использованы вакуумные уплотнения 12. Вал 13 ротора 2 установлен в отверстии 14 корпуса 1. На корпусе установлен бункер 15.

Шлюзовое устройство для ввода материалов в вакуумную камеру работает следующим образом.

При вращении ротора 2 сыпучий или твердый материал из бункера 15 поступает в гнездо 3, далее перемещается вместе с ротором 2 и поступает в вакуумную камеру.

Уменьшение или увеличение дозы подаваемого материала обеспечивается вращением винта 10, в результате которого конус 8 перемещается вправо - влево. При перемещении конуса 8 вправо поршень 4 опускается. За счет упругих сил сильфона 7 обеспечивается постоянное поджатие выступа 5 к конусу 8. При этом объем гнезда 3 возрастает, а следовательно, возрастает доза подаваемого сыпучего или твердого материала. При перемещении конуса 6 влево поршень 4 поднимается, при этом объем гнезда 3 уменьшается, а следовательно, уменьшается доза подаваемого сыпучего или твердого материала. Вакуумные уплотнения 12 обеспечивают надежную герметизацию корпуса 1 относительно ротора 2.

Применение предлагаемого шлюзового устройства позволяет подавать в вакуумную камеру или "чистую" технологическую среду как сыпучие, так и твердые материалы с возможностью их дозировки.

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме или "чистых" технологических средах, а именно к шлюзовым устройствам. Цель изобретения - подача в вакуумную камеру материалов с возможностью их дозировки. Цель достигается тем, что в шлюзовом устройстве согласно изобретению внутри каждого гнезда установлен шток с поршнем, который герметизирован с ротором посредством сильфона, а поршень взаимодействует с конусом, который жестко закреплен на торцовой поверхности винта, установленного в резьбовом отверстии корпуса. 2 ил.

ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ, содержащее загрузочный бункер, вакуум-плотный корпус и размещенный в нем полый цилиндрический ротор с равнорасположенными по цилиндрической поверхности гнездами для загрузки материалов, отличающееся тем, что, с целью обеспечения дозированной подачи материалов, оно снабжено конусом, жестко закрепленным на торцевой поверхности винта, установленного в резьбовом отверстии корпуса, и размещенным внутри ротора соосно с ним, а также поршнями на штоках, установленных с направлением поршней в сторону конуса в каждом из гнезд, выполненных в виде сквозного отверстия, и сильфонами, каждый из которых закреплен на роторе по периметру гнезда и размещен между ротором и поршнем.