СПОСОБ НАПУСКА ГАЗА В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ Российский патент 1997 года по МПК C23C14/56 

Описание патента на изобретение RU2073745C1

Изобретение относится к области технологической обработки материалов в вакууме, а более конкретно к способам "мягкого" напуска газа в вакуумную камеру.

Известен способ "мягкого" напуска газа в вакуумную камеру [1] путем использования независимых каналов подачи газа.

Недостатком аналога является невозможность обеспечения равномерности подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потока газа.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является способ "мягкого" напуска газа в вакуумную камеру [2] путем использования проницаемой для газообразных веществ стенки.

Недостатком прототипа является также невозможность обеспечения равномерности подачи газа по всей поверхности материала при регулировании потока газа.

В основу изобретения положена задача обеспечить равномерность подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потока газа.

Эта задача решается тем, что в качестве проницаемой стенки используют стенку из пористого материала с эффективными адсоpбционными свойствами, выполненную с возможностью регулирования ее температуры; в качестве пористого материала используют цеолит; регулирование температуры осуществляют посредством системы нагрева и/или охлаждения, расположенных в стене.

Введение в способ напуска газа в вакуумную камеру пористого материала с эффективными адсорбционными свойствами и систем нагрева и охлаждения обеспечивает условия, при которых газовый поток, проходящий через стенку из такого материала будет задерживаться или пропускаться в зависимости от режима работы, что и позволяет достичь положенную в основу изобретения задачу - обеспечить равномерность подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потока газа.

Сопоставительный анализ заявляемого способа напуска газа в вакуумную камеру и прототипа показывает, что предлагаемое техническое решение соответствует критерию изобретения "новизна".

Сравнение заявляемого решения не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области техники позволило выявить в нем совокупность признаков, отличающих заявляемое техническое решение от прототипа, что позволяет сделать вывод о соответствии критерию "существенные отличия".

Сущность способа и схема реализующего его устройства поясняется фиг. 1.

Устройство, реализующее способ (фиг. 1), содержит стенку 1 из пористого материала 2 с эффективными адсорбционными свойствами, например, цеолита 3. В стенке 1 из пористого материала 2 располагают систему охлаждения 4 и нагрева 5.

Способ реализуется следующим образом.

Поток газа направляют в сторону стенки 1 из пористого материала 2 и осуществляют газоподачу через цеолит 3. Для уменьшения газового потока через стенку 1 цеолит 3 охлаждают с помощью системы охлаждения 4, при этом происходит следующее:
1. Поры в материале 2 уменьшаются в размерах.

2. Эффект адсорбции возрастает.

3. Диффузия уменьшается, за счет заполнения пор молекулами воздуха.

Для увеличения газового потока через стенку 1 цеолит 3 нагревают с помощью системы нагрева 5, при этом происходит следующее:
1. Поры в материале 2 увеличиваются в размерах.

2. Эффект адсорбции снижается.

3. Диффузия возрастает, за счет увеличения диаметра проходных отверстий пор.

Применение предлагаемого способа напуска газа в вакуумную камеру обеспечивает равномерность подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потока газа.

Похожие патенты RU2073745C1

название год авторы номер документа
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ 1993
  • Ивашов Е.Н.
  • Кондрашов П.Е.
  • Оринчев С.М.
  • Слепцов В.В.
  • Степанчиков С.В.
RU2089661C1
УСТРОЙСТВО КАТОДНОГО УЗЛА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ 1993
  • Ивашов Е.Н.
  • Кондрашов П.Е.
  • Оринчев С.М.
  • Слепцов В.В.
  • Степанчиков С.В.
RU2089659C1
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ 1993
  • Ивашов Е.Н.
  • Кондрашов П.Е.
  • Оринчев С.М.
  • Слепцов В.В.
  • Степанчиков С.В.
RU2089660C1
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ 1993
  • Ивашов Е.Н.
  • Кондрашов П.Е.
  • Оринчев С.М.
  • Слепцов В.В.
  • Степанчиков С.В.
RU2089658C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ МАТЕРИАЛОВ 1995
  • Петров В.С.
RU2120613C1
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ 1992
  • Ивашов Е.Н.
  • Кондрашов П.Е.
  • Слепцов В.В.
  • Степанчиков С.В.
RU2073744C1
ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС ДЛЯ ОТКАЧКИ ВАКУУМНОГО ОБЪЕМА ЛИНИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЦВЕТНЫХ КИНЕСКОПОВ 1999
  • Ивашов Е.Н.
  • Цыганова Е.С.
RU2162168C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ТОНКИХ ПЛЕНОК 1999
  • Ивашов Е.Н.
  • Андреева Л.Л.
  • Чеботарева И.В.
RU2169207C2
СИСТЕМА ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМЕ 1993
  • Вологиров А.Г.
  • Ивашов Е.Н.
  • Оринчев С.М.
  • Слепцов В.В.
  • Степанчиков С.В.
RU2089662C1
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ С СИСТЕМОЙ ПИТАНИЯ 1993
  • Ивашов Е.Н.
  • Кондрашов П.Е.
  • Оринчев С.М.
  • Слепцов В.В.
  • Степанчиков С.В.
RU2089663C1

Реферат патента 1997 года СПОСОБ НАПУСКА ГАЗА В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ

Изобретение относится к области технологической обработки материалов в вакууме, а более конкретно к способам напуска газа в вакуумную камеру. В основу изобретения положена задача обеспечить равномерность подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потоком газа. Эта задача решается тем, что в качестве пористого материала используют материал с эффективными адсорбционными свойствами, например, цеолит, в стенке, из пористого материала располагают систему охлаждения и систему нагрева. 2 з.п. ф-лы. 1 ил.

Формула изобретения RU 2 073 745 C1

1. Способ напуска газа в вакуумную камеру, включающий пропускание газа через проницаемую стенку, отличающийся тем, что в качестве проницаемой стенки используют стенку из пористого материала с эффективными адсорбционными свойствами, выполненную с возможностью регулирования ее температуры. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве пористого материала используют цеолит. 3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что регулирование температуры осуществляют посредством систем нагрева и/или охлаждения, расположенных в стенке.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1997 года RU2073745C1

Устройство для нанесения покрытий в вакууме 1991
  • Хохлов Александр Евгеньевич
  • Ширипов Владимир Яковлевич
  • Достанко Анатолий Павлович
  • Корницкий Ефим Ушерович
  • Антонов Валерий Петрович
  • Уласюк Владимир Николаевич
SU1812243A1
Прибор для равномерного смешения зерна и одновременного отбирания нескольких одинаковых по объему проб 1921
  • Игнатенко Ф.Я.
  • Смирнов Е.П.
SU23A1
Патент США N 3916622, кл
Прибор для равномерного смешения зерна и одновременного отбирания нескольких одинаковых по объему проб 1921
  • Игнатенко Ф.Я.
  • Смирнов Е.П.
SU23A1

RU 2 073 745 C1

Авторы

Вологиров А.Г.

Ивашов Е.Н.

Кондрашов П.Е.

Оринчев С.М.

Слепцов В.В.

Степанчиков С.В.

Даты

1997-02-20Публикация

1993-11-29Подача