Изобретение относится к области технологической обработки материалов в вакууме, а более конкретно к способам "мягкого" напуска газа в вакуумную камеру.
Известен способ "мягкого" напуска газа в вакуумную камеру [1] путем использования независимых каналов подачи газа.
Недостатком аналога является невозможность обеспечения равномерности подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потока газа.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является способ "мягкого" напуска газа в вакуумную камеру [2] путем использования проницаемой для газообразных веществ стенки.
Недостатком прототипа является также невозможность обеспечения равномерности подачи газа по всей поверхности материала при регулировании потока газа.
В основу изобретения положена задача обеспечить равномерность подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потока газа.
Эта задача решается тем, что в качестве проницаемой стенки используют стенку из пористого материала с эффективными адсоpбционными свойствами, выполненную с возможностью регулирования ее температуры; в качестве пористого материала используют цеолит; регулирование температуры осуществляют посредством системы нагрева и/или охлаждения, расположенных в стене.
Введение в способ напуска газа в вакуумную камеру пористого материала с эффективными адсорбционными свойствами и систем нагрева и охлаждения обеспечивает условия, при которых газовый поток, проходящий через стенку из такого материала будет задерживаться или пропускаться в зависимости от режима работы, что и позволяет достичь положенную в основу изобретения задачу - обеспечить равномерность подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потока газа.
Сопоставительный анализ заявляемого способа напуска газа в вакуумную камеру и прототипа показывает, что предлагаемое техническое решение соответствует критерию изобретения "новизна".
Сравнение заявляемого решения не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области техники позволило выявить в нем совокупность признаков, отличающих заявляемое техническое решение от прототипа, что позволяет сделать вывод о соответствии критерию "существенные отличия".
Сущность способа и схема реализующего его устройства поясняется фиг. 1.
Устройство, реализующее способ (фиг. 1), содержит стенку 1 из пористого материала 2 с эффективными адсорбционными свойствами, например, цеолита 3. В стенке 1 из пористого материала 2 располагают систему охлаждения 4 и нагрева 5.
Способ реализуется следующим образом.
Поток газа направляют в сторону стенки 1 из пористого материала 2 и осуществляют газоподачу через цеолит 3. Для уменьшения газового потока через стенку 1 цеолит 3 охлаждают с помощью системы охлаждения 4, при этом происходит следующее:
1. Поры в материале 2 уменьшаются в размерах.
2. Эффект адсорбции возрастает.
3. Диффузия уменьшается, за счет заполнения пор молекулами воздуха.
Для увеличения газового потока через стенку 1 цеолит 3 нагревают с помощью системы нагрева 5, при этом происходит следующее:
1. Поры в материале 2 увеличиваются в размерах.
2. Эффект адсорбции снижается.
3. Диффузия возрастает, за счет увеличения диаметра проходных отверстий пор.
Применение предлагаемого способа напуска газа в вакуумную камеру обеспечивает равномерность подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потока газа.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ | 1993 |
|
RU2089661C1 |
УСТРОЙСТВО КАТОДНОГО УЗЛА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ | 1993 |
|
RU2089659C1 |
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ | 1993 |
|
RU2089660C1 |
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ | 1993 |
|
RU2089658C1 |
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ МАТЕРИАЛОВ | 1995 |
|
RU2120613C1 |
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ | 1992 |
|
RU2073744C1 |
ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС ДЛЯ ОТКАЧКИ ВАКУУМНОГО ОБЪЕМА ЛИНИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЦВЕТНЫХ КИНЕСКОПОВ | 1999 |
|
RU2162168C2 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ТОНКИХ ПЛЕНОК | 1999 |
|
RU2169207C2 |
СИСТЕМА ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМЕ | 1993 |
|
RU2089662C1 |
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ С СИСТЕМОЙ ПИТАНИЯ | 1993 |
|
RU2089663C1 |
Изобретение относится к области технологической обработки материалов в вакууме, а более конкретно к способам напуска газа в вакуумную камеру. В основу изобретения положена задача обеспечить равномерность подачи газа по всей поверхности обрабатываемого материала при регулировании потоком газа. Эта задача решается тем, что в качестве пористого материала используют материал с эффективными адсорбционными свойствами, например, цеолит, в стенке, из пористого материала располагают систему охлаждения и систему нагрева. 2 з.п. ф-лы. 1 ил.
Устройство для нанесения покрытий в вакууме | 1991 |
|
SU1812243A1 |
Прибор для равномерного смешения зерна и одновременного отбирания нескольких одинаковых по объему проб | 1921 |
|
SU23A1 |
Патент США N 3916622, кл | |||
Прибор для равномерного смешения зерна и одновременного отбирания нескольких одинаковых по объему проб | 1921 |
|
SU23A1 |
Авторы
Даты
1997-02-20—Публикация
1993-11-29—Подача