Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме.
Известна система охлаждения подложек в вакууме [1] содержащая охлаждаемый подложкодержатель и механические прижимы подложки.
Недостатком аналога является малая эффективность охлаждения ввиду отсутствия эффективной системы охлаждения.
Наиболее близкой по технической сущности и достигаемому результату является система охлаждения подложек в вакууме [2] содержащая охлаждаемый подложкодержатель, механические прижимы и теплопроводящее вещество, находящееся в контакте с подложкой.
Недостатком прототипа также является малая эффективность охлаждения подложек ввиду отсутствия эффективной системы охлаждения.
В основу изобретения положена задача повысить эффективность охлаждения подложек в вакууме.
Эта задача достигается тем, что система охлаждения подложек в вакууме снабжена трубчатой рубашкой охлаждения, размещенной внутри теплопроводящего вещества с возможностью автоматической подачи хладагента от холодильной установки.
Введение в систему охлаждения подложек в вакууме трубчатой рубашки охлаждения, размещенной внутри теплопроводящего вещества с возможностью автоматической подачи хладагента от холодильной установки, обеспечивает эффективный теплоотвод с поверхности подложки, что и обеспечивает повышение эффективности ее охлаждения.
Сопоставительный анализ заявляемой системы охлаждения подложек в вакууме и прототипа показывает, что предлагаемое техническое решение соответствует критерию изобретения "новизна".
Сравнение заявляемого технического решения не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области техники позволило выявить в нем совокупность признаков, отличающих заявляемое техническое решение от прототипа, что и позволяет сделать вывод о соответствии критерию "существенные отличия".
На фиг. 1 представлен общий вид подложкодержателя; на фиг. 2 структурная схема системы охлаждения подложек в вакууме с холодильной установкой.
Система охлаждения подложек в вакууме (фиг. 1, 2) содержит охлаждаемый подложкодержатель 1, механические прижимы 2, теплопроводящее вещество 3 находящееся в контакте с подложкой 4. Система охлаждения снабжена трубчатой рубашкой охлаждения 5, размещенной внутри теплопроводящего вещества 3 с возможностью автоматической подачи хладагента 6 от холодильной установки 7, расположенной вне вакуумной камеры 8 (фиг. 2). Теплопроводящее вещество 3 находится в жидком виде.
Система охлаждения подложек в вакууме работает следующим образом. При подаче хладагента 6 от холодильной установки 7 за счет контакта теплопроводящего вещества 3 с подложкой 4 обеспечивается подача холода от трубчатой рубашки охлаждения 5 к подложке 4. Эффективность теплопередачи тем выше, чем ближе подложка 4 находится к трубчатой рубашке охлаждения 5 и чем ниже температура хладагента 6, в качестве которого может быть использована вода, фреон, азот и др.
Применение предлагаемой системы охлаждения подложек в вакууме повышает эффективность охлаждения последних за счет эффективного теплоотвода с поверхности подложки.
Источники информации:
Ивановский Г. Ф. Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М. Радио и связь, 1986 232 с, ил. с. 194, с. 195.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАККУМЕ | 1993 |
|
RU2089654C1 |
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ | 1993 |
|
RU2089661C1 |
СПОСОБ ОХЛАЖДЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН В ВАКУУМЕ | 1993 |
|
RU2076390C1 |
СПОСОБ НАПУСКА ГАЗА В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ | 1993 |
|
RU2073745C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ СРЕДЫ | 1994 |
|
RU2109274C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМЕ | 1993 |
|
RU2046838C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ МАТЕРИАЛА | 2011 |
|
RU2471883C1 |
СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ ТРЕНИЯ В ВАКУУМЕ | 1999 |
|
RU2153621C1 |
УСТРОЙСТВО КАТОДНОГО УЗЛА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ | 1993 |
|
RU2089659C1 |
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ | 1992 |
|
RU2073744C1 |
Сущность изобретения является система охлаждения подложек в вакууме, содержащая подложкодержатель, механические прижимы и теплопроводящее вещество. В объеме теплопроводящего вещества размещена рубашка охлаждения. Охлаждение осуществляется путем подачи охлаждающего вещества от рубашки на подложку посредством теплопроводящего вещества. 2 ил.
Система охлаждения подложек в вакууме, содержащая охлаждаемый подложкодержатель, механические прижимы и теплопроводящее вещество, отличающаяся тем, что она снабжена трубчатой рубашкой охлаждения, размещенной внутри теплопроводящего вещества с возможностью автоматической подачи хладагента от холодильной установки.
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Ивановский Г.Ф., Петров В.И | |||
Ионно-плазменная обработка материалов | |||
- М.: Радио и связь, 1986, с | |||
Кран машиниста для автоматических тормозов с сжатым воздухом | 1921 |
|
SU194A1 |
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов | 1917 |
|
SU2A1 |
Ивановский Г.Ф., Петров В.И | |||
Ионно-плазменная обработка материалов | |||
- М.: Радио и связь, 1986, с | |||
Регулятор давления для автоматических тормозов с сжатым воздухом | 1921 |
|
SU195A1 |
Авторы
Даты
1997-09-10—Публикация
1993-11-29—Подача