СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ Российский патент 2004 года по МПК C23C14/08 C23C14/35 

Описание патента на изобретение RU2241065C2

Предлагаемое изобретение относится к области технологических процессов, связанных с нанесением оптических покрытий, в частности к магнетронному распылению электропроводящих покрытий в среде реактивных газов, и может быть использовано для получения прозрачных электропроводящих слоев на поверхности оптических деталей.

Известны способы получения проводящих прозрачных покрытий из оксида индия [1] и (JP, заявка 63-54788, кл. С 23 С 14/08).

Недостатками первого из них являются: требуется предварительное охлаждение подложки, низкая скорость нанесения покрытия, сложный состав атмосферы в камере. Основным недостатком второго способа является необходимость предварительного нагрева стеклянной подложки.

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому изобретению является способ, описанный в [2]. Особенностью данного способа является бомбардировка ионами с кинетической энергией порядка 50 эВ поверхностных слоев материала покрытия в процессе нанесения. Осаждение покрытия проводят путем реактивного магнетронного испарения металлической мишени, состоящей из индия с добавлением олова. У этого способа основным недостатком является необходимость ионной стимуляции в процессе напыления, что требует дополнительного оборудования и усложняет технический процесс, кроме того, контроль толщины не прямой, а осуществляется по времени напыления, что приводит к большому разбросу значений пропускания готового покрытия.

Задача, на решение которой направлено данное изобретение, заключается в разработке способа, позволяющего получать проводящее прозрачное покрытие из оксида индия с добавлением оксида олова без предварительной термической подготовки подложки, заключающейся в ее нагреве или охлаждении, без последующего высокотемпературного отжига подложки; без использования ионной стимуляции, с прямым контролем толщины покрытия в процессе напыления.

В качестве примера реализации предлагаемого решения можно рассматривать произведенное авторами напыление прозрачных электродов электрооптического модулятора на основе кристаллов калия дигидрофосфата (KDP) и дейтерированного калия дигидрофосфата (DKDP). При этом поставленная задача решается тем, что способ получения проводящих прозрачных покрытий, включающий реактивное магнетронное распыление и осаждение металлического индия с добавлением олова в атмосфере газовой смеси инертного газа и кислорода, осуществляют при отсутствии ионной стимуляции с жестким удержанием параметров газовой смеси и давления в узком коридоре значений. Отношение парциальных давлений аргона и кислорода в газовой смеси задают 6:1 при составе мишени: индий 95%, олово 5%, а в процессе реактивного магнитронного распыления толщину покрытия контролируют по спектрофотометру до достижения максимума пропускания. Эти признаки являются существенными и позволяют получать высокую повторяемость не только электрических, но и оптических характеристик покрытий.

Поскольку предлагаемый способ не требует ионной стимуляции, технологический процесс упрощается, не требуется сложное и дорогое оборудование. Напыление происходит при общем давлении в камере 6-7·10-3 мбар, при этом напряжение разряда магнетрона 500-600 В. Время нанесения покрытия 4-8 мин, толщину покрытия можно варьировать в диапазоне 0,01-0,05 мкм.

Напыление проводилось также на следующие подложки: оптическое стекло марки К8, кристаллы KDP и DKDP размером 50·50 мм, толщиной до 5 мм. В результате получены опытные образцы, имеющие высококачественную структуру покрытия, оптически прозрачную - в видимом диапазоне прозрачность составляет 90% (однородность пропускания по полю не хуже 1%). Удельное поверхностное сопротивлением в зависимости от толщины составляет 30-75 Ом/кв при однородности 3-7 Ом/кв.

Источники информации

1. Замоздик Т.В., Мельченко П.И. Авторское свидетельство №950798 "Способ получения проводящих прозрачных покрытий из оксида индия", БИ №30, 1982.

2. Титомир А.К., Сушков В.Я. Духопельников Д.В. Патент РФ №2112076 "Способ нанесения проводящего прозрачного покрытия", БИ №15, 1998.

Похожие патенты RU2241065C2

название год авторы номер документа
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ 1997
  • Титомир А.К.
  • Сушков В.Я.
  • Духопельников Д.В.
RU2112076C1
Способ создания прозрачных проводящих композитных нанопокрытий (варианты) 2016
  • Тамбасов Игорь Анатольевич
  • Воронин Антон Сергеевич
  • Абелян Сергей Рубенович
  • Иванченко Федор Сергеевич
  • Мягков Виктор Григорьевич
  • Иваненко Александр Анатольевич
  • Тамбасова Екатерина Витальевна
  • Симунин Михаил Максимович
  • Хартов Станислав Викторович
RU2661166C2
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРОЗРАЧНОГО ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ 2011
  • Березин Николай Михайлович
  • Богатов Валерий Афанасьевич
  • Хохлов Юрий Александрович
RU2448197C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНОГО ЭЛЕКТРОПРОВОДНОГО ПОКРЫТИЯ И ИЗДЕЛИЕ С ПОКРЫТИЕМ, ПОЛУЧЕННОЕ УКАЗАННЫМ СПОСОБОМ (ВАРИАНТЫ) 2005
  • Попов Валерий Андреевич
  • Мешков Борис Борисович
  • Бублик Виктор Александрович
  • Ершов Дмитрий Николаевич
RU2274675C1
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ ДЛЯ ЭЛЕКТРООБОГРЕВАЕМОГО ЭЛЕМЕНТА ОРГАНИЧЕСКОГО ОСТЕКЛЕНИЯ 2014
  • Каблов Евгений Николаевич
  • Березин Николай Михайлович
  • Богатов Валерий Афанасьевич
  • Крынин Александр Геннадьевич
  • Кисляков Павел Павлович
  • Хохлов Юрий Александрович
RU2564650C1
СТЕКЛО С ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫМ ЗАЩИТНЫМ ПОКРЫТИЕМ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ 2015
  • Панин Виктор Евгеньевич
  • Псахье Сергей Григорьевич
  • Сергеев Виктор Петрович
  • Свечкин Валерий Петрович
  • Соловьев Владимир Алексеевич
  • Чернявский Александр Григорьевич
  • Чубик Петр Савельевич
  • Яковлев Алексей Николаевич
RU2608858C2
Электрооптический модулятор поляризованного излучения 2023
  • Скоморовский Валерий Иосифович
  • Кушталь Галина Ивановна
  • Токарева Любовь Сергеевна
  • Фирстов Сергей Вячеславович
  • Химич Валерий Анатольевич
  • Зайченко Сергей Евгеньевич
RU2817826C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НИТРИДНОГО СВЕТОИЗЛУЧАЮЩЕГО ДИОДА 2019
  • Марков Лев Константинович
  • Павлюченко Алексей Сергеевич
  • Смирнова Ирина Павловна
RU2721166C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НИТРИДНОГО СВЕТОИЗЛУЧАЮЩЕГО ДИОДА 2018
  • Марков Лев Константинович
  • Павлюченко Алексей Сергеевич
  • Смирнова Ирина Павловна
  • Закгейм Дмитрий Александрович
RU2690036C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК 1992
  • Демкин В.И.
  • Жучков В.Б.
  • Виноградов Б.Г.
  • Никулин В.Б.
RU2034363C1

Реферат патента 2004 года СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ

Изобретение относится к области технологических процессов, связанных с нанесением оптических покрытий, в частности к магнетронному распылению электропроводящих покрытий в среде реактивных газов, и может быть использовано для получения прозрачных электропроводящих слоев на поверхности оптических деталей. Предложенный способ включает реактивное магнетронное распыление и осаждение металлического индия с добавлением олова в атмосфере газовой смеси инертного газа и кислорода, при этом осаждение ведут при соотношении напыляемых компонентов в мишени: индий - 95%, олово - 5% и при отношении парциальных давлений кислорода и аргона в газовой смеси, составляющем 1:6. В процессе реактивного магнетронного распыления толщину покрытия контролируют спектрофотометром до достижения максимума пропускания в нужной длине волны света. Техническим результатом изобретения является разработка способа, позволяющего получить высококачественное покрытие, оптическая прозрачность которого в видимом диапазоне составляет 90%, удельное поверхностное сопротивление в зависимости от толщины нанесенного покрытия составляет 30-75 Ом/кв при однородности 3-7 Ом/кв.

Формула изобретения RU 2 241 065 C2

Способ нанесения проводящего прозрачного покрытия, включающий реактивное магнетронное распыление и осаждение металлического индия с добавлением олова в атмосфере газовой смеси инертного газа и кислорода, отличающийся тем, что осаждение ведут при соотношении напыляемых компонентов в мишени: индий 95%, олово 5% и при отношении парциальных давлений кислорода и аргона в газовой смеси, составляющем 1:6, при этом в процессе реактивного магнетронного распыления толщину покрытия контролируют спектрофотометром до достижения максимума пропускания в нужной длине волны света.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2004 года RU2241065C2

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ 1997
  • Титомир А.К.
  • Сушков В.Я.
  • Духопельников Д.В.
RU2112076C1
Способ получения прозрачных проводящих пленок на основе оксидов индия и олова 1987
  • Акашкин А.С.
  • Ветошкин В.М.
  • Печенкин Н.Е.
SU1499573A1
Способ получения проводящих прозрачных покрытий из оксида индия 1980
  • Замоздик Таливалдис Владимирович
  • Мельченко Петерис Ильич
SU950798A1
Орудие для сбора и трелевки порубочных остатков 1983
  • Салдаев Александр Макарович
SU1184481A1
US 4842705 A, 27.06.1989.

RU 2 241 065 C2

Авторы

Бородин А.Н.

Петров А.С.

Даты

2004-11-27Публикация

2003-01-27Подача