СПОСОБ ПРЕДЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛИРОВАННЫХ ПОДЛОЖЕК ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ Российский патент 2009 года по МПК H01L21/324 

Описание патента на изобретение RU2345443C2

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в микроэлектронике и оптике при производстве пластин из полупроводниковых и оптических материалов, особенно из материалов с повышенной твердостью и хрупкостью, например, из карбида кремния.

Известен способ изготовления круглых полупроводниковых подложек для эпитаксии, по которому из исходных монокристаллов вырезают кристаллографически ориентированную цилиндрическую заготовку, шлифуют ее торцы с доводкой ориентации, шлифуют (калибруют) заготовку до получения цилиндра заданного диаметра, изготавливают базовый срез по всей длине цилиндра, режут цилиндр на пластины, которые затем шлифуют, изготавливают фаску по кромке пластины, полируют, проводят химическую и гидромеханическую отмывку поверхности пластин с сушкой центрифугованием и вакуумную упаковку подложек (1. Овчаров В.Ф. и др. «Подготовка пластин большого диаметра» Зарубежная электронная техника, М, ЦНИИ "Электроника", 1979, вып.23 (218), стр.8-17; 2. Запорожский В.П., Лапшинов Б.А. «Обработка полупроводниковых материалов», М, Высшая школа, 1988, стр.34-62; 3. Никифорова-Денисова С.Н. «Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники», кн.4, «Механическая и химическая обработка», М, Высшая школа, 1989, стр.3-24).

Данный способ принят в качестве прототипа для заявленного объекта.

Недостатком этого способа является то, что получаемые подложки карбида кремния имеют большие механические напряжения и прогиб, которые из-за высокой хрупкости материала приводят к существенным потерям при дальнейшей работе с ними. При увеличении диаметра пластин этот недостаток проявляется в значительной степени. Кроме того, на кромке подложек остаются загрязнения, не удаляемые в процессе отмывок.

Настоящее изобретение направлено на решение технической задачи по снятию в получаемых подложках из карбида кремния механические напряжения и прогиб. А также на очистку поверхностей пластин от загрязнений.

Достигаемый при этом технический результат заключается в повышении качества круглых полированных подложек из карбида кремния за счет снижения механических напряжений и прогиба подложек и дополнительной очистки поверхности пластин, особенно кромок подложек, от загрязнений, что позволит повысить качество изготовленных на этих подложках полупроводниковых приборов.

Указанный технический результат достигается тем, что в способе предэпитаксиальной обработки полированных подложек из карбида кремния, включающем операции калибрования монокристалла, изготовления базового среза, резки монокристалла на пластины, шлифовки пластин, изготовления фаски по кромке пластины, полировки пластин, химической и гидромеханической отмывки поверхности пластин с сушкой центрифугованием и их вакуумной упаковки, после сушки (или после извлечения из вакуумной упаковки перед проведением эпитаксии) дополнительно проводится вакуум-термическая обработка подложек при температуре 800÷1200°С.

Указанные признаки являются существенными и взаимосвязаны с образованием устойчивой совокупности существенных признаков, достаточной для получения требуемого технического результата.

В настоящем изобретении предлагается способ предэпитаксиальной обработки полированных подложек из карбида кремния, который позволяет существенно снизить механические напряжения и прогиб подложек и дополнительно очистить поверхность и особенно кромку подложек от загрязнений.

Согласно настоящего изобретения предлагается способ предэпитаксиальной обработки полированных подложек из карбида кремния, который включает следующую последовательность операций: изготовление монокристаллического цилиндра (под изготовлением монокристаллического цилиндра понимается вырезка кристаллографически ориентированной цилиндрической заготовки, шлифовка ее торцов с доводкой ориентации, шлифовка заготовки до получения цилиндра заданного диаметра, изготовление базового среза), резку цилиндра на пластины, шлифовку пластин, изготовление фаски по кромке пластины, полировку пластин, химическую и гидромеханическую отмывку поверхности пластин с сушкой центрифугованием, а также последующую их вакуумную упаковку.

Данные операции по своей последовательности подробно описаны в (1. Овчаров В.Ф. и др. «Подготовка пластин большого диаметра», Зарубежная электронная техника, М, ЦНИИ "Электроника", 1979, вып.23 (218), стр.8-17; 2. Запорожский В.П., Лапшинов Б.А. «Обработка полупроводниковых материалов», М, Высшая школа, 1988, стр.34-62; 3. Никифорова-Денисова С.Н. «Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники», кн.4, «Механическая и химическая обработка», М, Высшая школа, 1989, стр.3-24).

Особенностью нового способа является то, что после сушки или после извлечения из вакуумной упаковки перед проведением эпитаксии дополнительно проводится вакуум-термическая обработка подложки при температуре 800÷1200°С.

При отжиге пластин при температуре 800÷1200°С происходит испарение загрязнений с их поверхности, в том числе из труднообрабатываемых мест, к которым относятся кромки. При этом во время отжига снимаются внутренние напряжения, уменьшается прогиб и происходит упорядочение кристаллической решетки в зонах, прилегающих к поверхностям обработки.

Пример реализации способа.

Изготовление подложек карбида кремния ориентации (0001)±0,1 угл. град. диаметром 50,8±0,1 мм с базовым срезом ориентации (1120)±0,3 угл. град. длиной 15-17 мм, толщиной 430±25 мкм с односторонней полировкой.

Из монокристалла карбида кремния вырезается заготовка ориентации (0001) диаметром 53÷54 мм, на плоскошлифовальном станке алмазным кругом зернистости АС 80/63 проводится доводка ориентации ее торцов, на круглошлифовальном станке с помощью круга зернистостью АС 80/63 изготавливается цилиндр диаметром 51,1±0,1 мм, на плоскошлифовальном станке изготавливается базовый срез ориентации (1120) длиной 16±0,5 мм, на отрезном станке цилиндр режется на пластины толщиной 900±50 мкм алмазными кругами с внутренней режущей кромкой зернистостью АС63/50, проводится двухсторонняя шлифовка свободным абразивом зернистостью М 40/28 до толщины 480÷530 мкм, проводится изготовление полукруглой фаски по копиру алмазным профильным кругом зернистостью АС 40/28 с уменьшением диаметра до номинала 50,8±0,1 мм, проводится полировка пластин алмазными пастами зернистостью АС 10/7 и АС 3/2 и суспензией на основе силиказолей с доводкой до толщины 430±25 мкм, проводится химическая отмывка поверхности пластин в растворах кислот, щелочей и органических растворителей в течение 15-30 минут с последующей промывкой в проточной деионизованной воде и сушкой групповым методом на центрифуге, проводится гидромеханическая отмывка поверхности каждой пластины раствором поверхностно-активного вещества и деионизованной водой с сушкой центрифугованием, после чего подложки отжигают в кассете в свободном состоянии в вакуумной печи при температуре 800-1200°С.

Пластины, изготовленные в соответствии с изложенным примером, соответствуют требованиям SEMI для подложек при производстве эпитаксиальных структур и могут производиться массово, что подтверждает промышленную применимость способа.

Похожие патенты RU2345443C2

название год авторы номер документа
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНОПОЛИРОВАННЫХ ПЛАСТИН ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ 2006
  • Каневский Владимир Михайлович
  • Тихонов Евгений Олегович
  • Дерябин Александр Николаевич
RU2345442C2
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛАСТИН ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ 2005
  • Ковальчук Михаил Валентинович
  • Каневский Владимир Михайлович
  • Тихонов Евгений Олегович
  • Дерябин Александр Николаевич
RU2337429C2
СПОСОБ ПРЕДЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ГЕРМАНИЕВОЙ ПОДЛОЖКИ 2013
  • Белоусов Виктор Сергеевич
  • Илларионов Владимир Викторович
  • Лапшина Анастасия Анатольевна
  • Спицына Надежда Никаноровна
  • Чеботарев Юрий Алексеевич
  • Чеботарева Анна Алексеевна
RU2537743C1
СПОСОБ ДОВОДКИ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ ЭПИТАКСИИ АЛМАЗА 2012
  • Ральченко Виктор Григорьевич
  • Большаков Андрей Петрович
  • Ашкинази Евгений Евсеевич
  • Рыжков Станислав Геннадиевич
  • Польский Алексей Викторович
  • Конов Виталий Иванович
RU2539903C2
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО ЛАНТАНГАЛЛИЕВОГО СИЛИКАТА 2005
  • Аленков Владимир Владимирович
  • Мацак Андрей Николаевич
  • Сахаров Сергей Александрович
  • Давыденко Александр Владимирович
RU2301141C1
СПОСОБ ДОВОДКИ ОРИЕНТАЦИИ ПЛАСТИН ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ 2009
  • Каневский Владимир Михайлович
  • Дерябин Александр Николаевич
  • Денисов Александр Викторович
  • Тихонов Евгений Олегович
RU2411606C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ТРАНСФОРМАТОРОВ НАПРЯЖЕНИЯ 2020
  • Аленков Владимир Владимирович
  • Базалевская Светлана Сергеевна
  • Евтушенко Дина Генриховна
  • Забелин Алексей Николаевич
  • Мололкин Анатолий Анатольевич
  • Сахаров Сергей Александрович
RU2748973C1
СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ ПЛАСТИН ИЗ КЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ 1990
  • Рогов В.В.
  • Ерусалимчик И.Г.
  • Савушкин Ю.А.
  • Шаляпин А.Б.
SU1743114A3
СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ САПФИРОВЫХ ПОДЛОЖЕК 2009
  • Чистякова Светлана Ивановна
  • Денисов Александр Викторович
  • Дерябин Александр Николаевич
  • Тихонов Евгений Олегович
RU2395135C1
Способ получения пластин лейкосапфира 1982
  • Алябьев И.В.
  • Николаенко Н.А.
  • Папков В.С.
  • Суровиков М.В.
SU1056805A1

Реферат патента 2009 года СПОСОБ ПРЕДЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛИРОВАННЫХ ПОДЛОЖЕК ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ

Изобретение относится к полупроводниковой технике. Сущность изобретения - в способе предэпитаксиальной обработки полированных подложек из карбида кремния, включающем последовательно выполняемые следующие операции: калибрование монокристалла, изготовление базового среза, резку монокристалла на пластины, шлифовку пластин, изготовление фаски по кромке каждой пластины, полировку пластин, химическую и гидромеханическую отмывку поверхности пластин с сушкой центрифугованием и вакуумную упаковку пластин, после сушки центрифугованием или после извлечения из вакуумной упаковки перед проведением эпитаксии пластины отжигают в свободном состоянии в вакуумной печи при температуре 800-1200°С. Способ обеспечивает снижение механических напряжений и прогиба подложек и дополнительную очистку кромок подложек от загрязнений. 1 з.п. ф-лы.

Формула изобретения RU 2 345 443 C2

1. Способ предэпитаксиальной обработки полированных подложек из карбида кремния, включающий в себя операции изготовления монокристаллического цилиндра, резки цилиндра на пластины, шлифовки пластин, изготовления фаски по кромке каждой пластины, полировки пластин, химической и последующей гидромеханической отмывки поверхности пластин с сушкой центрифугованием, после чего осуществляют вакуумную упаковку пластин, отличающийся тем, что после сушки центрифугованием или после извлечения из вакуумной упаковки перед проведением эпитаксии пластины отжигают в свободном состоянии в вакуумной печи при температуре 800-1200°С.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что операция изготовления монокристаллического цилиндра включает в себя вырезку кристаллографически ориентированной цилиндрической заготовки, шлифовку ее торцов с доводкой ориентации, шлифовку заготовки до получения цилиндра заданного диаметра, изготовление базового среза.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2009 года RU2345443C2

Никифорова-Денисова С.Н
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники, кн.4, Механическая и химическая обработка
- М.: Высшая школа, 1989, с.3-24
СПОСОБ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ВЫРАЩИВАНИЯ КАРБИДА КРЕМНИЯ И РЕАКТОР ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 1999
  • Макаров Ю.Н.
RU2162117C2
US 5225032 А, 06.07.1993
Способ приготовления мыла 1923
  • Петров Г.С.
  • Таланцев З.М.
SU2004A1
Контейнер для дроби 1979
  • Захаров Виталий Андреевич
  • Гусев Виктор Алексеевич
  • Ваньков Борис Федорович
  • Чебулаев Леонид Михайлович
SU964435A1
JP 60027699 A, 12.02.1985.

RU 2 345 443 C2

Авторы

Каневский Владимир Михайлович

Тихонов Евгений Олегович

Дерябин Александр Николаевич

Даты

2009-01-27Публикация

2006-12-06Подача