ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ Российский патент 2014 года по МПК G01P15/08 

Описание патента на изобретение RU2521141C2

Изобретение относится к измерительным устройствам и может быть использовано в

интегральных акселерометрах и гироскопах.

Известен аналогичный датчик перемещений, в котором применяются дифференциальные емкости, связанные с чувствительным элементом, синхронный детектор и запоминающая ячейка [1].

Недостатком известного устройства является низкая точность, связанная с тем, что при наличии двух движений подвижного узла вместе с подвижным электродом, например линейного и углового, эти движения взаимно влияют друг на друга, внося тем самым погрешность в измерения.

В качестве прототипа выбран емкостный преобразователь перемещений, содержащий проводящий подвижный электрод, соединенный с объектом измерения перемещений, например, с маятником акселерометра, и два неподвижных проводящих электрода, выполненных на изоляционных обкладках, которые размещены симметрично с зазорами относительно подвижного электрода [2].

Недостатком известного устройства является то, что в нем нет разделения составляющих перемещения, например линейного и углового, что в конечном итоге вносит погрешность в измерения.

Задача, на решение которой направлено изобретение - повышение точности преобразователя перемещений.

Задача решается тем, что каждый неподвижный электрод разделен пополам, а половинки с разных сторон подвижного электрода соединены между собой перекрестно и составляют два дифференциально включенных измерительных конденсатора, которые включены на вход широтно-импульсного модулятора.

Этот технический результат достигается тем, что в емкостный датчик перемещений, содержащий: широтно-импульсный модулятор, подвижный электрод, выполненный на пластине проводящего монокремния и соединенный с объектом измерения перемещений, например, с маятником акселерометра, и два неподвижных проводящих электрода, выполненных на изоляционных обкладках, которые размещены симметрично относительно подвижного электрода с одинаковыми зазорами, в котором в соответствии с изобретением каждый неподвижный электрод разделен пополам, а половинки с разных сторон подвижного электрода соединены между собой перекрестно и составляют два дифференциально включенных измерительных конденсатора, которые включены на вход широтно-импульсного модулятора.

На фигуре 1 приведена схема, поясняющая устройство заявляемого емкостного датчика перемещений. В состав схемы входят: подвижный электрод 1 на упругом подвесе, выполненный на пластине проводящего монокристаллического кремния, который может быть выполнен для работы как на изгиб, так и на кручение. Ось качания подвижного электрода 1 также может быть выбрана произвольно. В любом случае подвижный электрод 1 совершает сложное движение - линейное х от прогибов и угловое α, от поворотов. Неподвижные изоляционные обкладки 2 и 3, которые размещены симметрично относительно подвижного электрода 1 и с одинаковыми зазорами. На каждую из неподвижных изоляционных обкладок 2 и 3 нанесены двойные, симметрично относительно оси вращения подвижного электрода 1, проводящие электроды 4 и 5 на обкладке 2 и 6 и 7 на противоположной обкладке 3. Электрод 4 изоляционной обкладки 2 соединен с электродом 7 изоляционной обкладки 3, а электрод 5 изоляционной обкладки 2 с электродом 6 изоляционной обкладки 3. Суммарные емкости электродов 4 и 7, а также электродов 5 и 6 представляют дифференциальные конденсаторы, включенные на вход широтно-импульсного модулятора 8, сигнал с которого подают на вход объекта измерения перемещений.

Рассмотрим работу емкостного датчика перемещений. На фигуре 1 показано нейтральное положение подвижного электрода. Неподвижные проводящие электроды 4-7 и 5-6 находятся с одинаковыми зазорами h0 от подвижного. В широтно-импульсном модуляторе 8 нет рассогласования в длительностях прямого и инверсного выходов (инверсный выход на схеме показан кружочком). Выходной сигнал с широтно-импульсного модулятора 8 равен нулю.

Поскольку упругий подвес имеет сложную деформацию, то движение маятника состоит из двух составляющих: плоскопараллельного и углового. Полное движение является нелинейным. Информацию о силе инерции в линейном виде несет только угловое отклонение маятника. На фигуре 2 показана составляющая плоскопараллельного движения. Пусть движение осуществляется справа налево. При этом емкости, формируемые электродами 4 и 5, увеличиваются, а на противоположных электродах 6 и 7 емкости ровно на столько же уменьшаются. Суммарные емкости дифференциальных конденсаторов моста остаются без изменений. Таким образом датчик перемещения не чувствителен к плоскопараллельному движению.

На фигуре 3 показана составляющая углового движения маятника. Маятник плоскопараллельно смещается и одновременно поворачивается на некоторый угол α. Зазоры между электродами 4 и 7 и подвижным электродом 1 увеличиваются, а емкости уменьшаются. Соответственно между электродами 5 и 6 и подвижным электродом 1 зазоры уменьшаются, а емкости увеличиваются. Таким образом, в дифференциальных конденсаторах плечи изменяются по разному и емкостный датчик перемещения отображает полезную информацию. Этим цель изобретения достигнута.

Источники информации

1. Мокров Е.А., Папко А.А. Акселерометры НИИ физических измерений - элементы микросистемотехники //Микросистемная техника. 2002. №1. С.3-9.

2. Вавилов В.Д. Интегральные датчики. Изд-во НГТУ, 2003, 504 с.

Похожие патенты RU2521141C2

название год авторы номер документа
ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ 2014
  • Гаврилов Александр Александрович
  • Шипунов Андрей Николаевич
RU2580637C1
МИКРОГИРОСКОП ПРОФЕССОРА ВАВИЛОВА 2012
  • Вавилов Владимир Дмитриевич
RU2490592C1
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР 2010
  • Вавилов Владимир Дмитриевич
  • Вавилов Иван Владимирович
RU2423712C1
МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ 2012
  • Гаврилов Александр Александрович
  • Шипунов Андрей Николаевич
  • Вавилов Владимир Дмитриевич
RU2528116C2
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР 2002
  • Былинкин С.Ф.
  • Вавилов И.В.
  • Миронов С.Г.
RU2231796C2
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ИНТЕГРАЛЬНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА 2013
  • Пауткин Валерий Евгеньевич
  • Прилуцкая Светлана Владиславовна
RU2526789C1
МИКРОСИСТЕМНЫЙ ГИРОСКОП 2011
  • Вавилов Владимир Дмитриевич
RU2466354C1
УСИЛИТЕЛЬ ОБРАТНОЙ СВЯЗИ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ 2010
  • Вавилов Владимир Дмитриевич
  • Вавилов Иван Владимирович
RU2431849C1
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОСИСТЕМНОГО ГИРОСКОПА 2014
  • Вавилов Владимир Дмитриевич
  • Грязев Алексей Александрович
  • Гайнов Сергей Иванович
RU2556334C1
ИНЕРЦИАЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ 2014
  • Вавилов Владимир Дмитриевич
RU2573616C1

Реферат патента 2014 года ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Изобретение относится к микромеханическим устройствам и может применяться в интегральных акселерометрах и гироскопах. Техническим результатом заявленного изобретения является повышение точности емкостного датчика при измерении угловых перемещений. Технический результат достигнут посредством разделения пополам неподвижных электродов и перекрестного включения секторов в смежные плечи дифференциальных конденсаторов. В результате разделения электродов датчик стал нечувствителен к плоскопараллельной составляющей движений, при этом появилась возможность измерять одну компоненту, а именно угловую. 3 ил.

Формула изобретения RU 2 521 141 C2

Емкостный датчик перемещений, содержащий: широтно-импульсный модулятор, подвижный электрод, выполненный на пластине проводящего монокремния и соединенный с объектом измерения перемещений, и два неподвижных проводящих электрода, выполненных на изоляционных обкладках, которые размещены симметрично относительно подвижного электрода с одинаковыми зазорами, отличающийся тем, что каждый неподвижный электрод разделен пополам, а половинки с разных сторон подвижного электрода соединены между собой перекрестно и составляют два дифференциально включенных измерительных конденсатора, которые включены на вход широтно-импульсного модулятора.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2014 года RU2521141C2

ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП 2005
  • Лысенко Игорь Евгеньевич
RU2293337C1
Способ получения полимеров акрилонитрила 1957
  • Андреас Гуниар
  • Манфред Кубанчик
SU113013A1
US 6393913 B1, 28.05.2002
US 6250156 B1, 26.06
Перекатываемый затвор для водоемов 1922
  • Гебель В.Г.
SU2001A1
WO 2008074538 A1, 26.06.2008

RU 2 521 141 C2

Авторы

Вавилов Владимир Дмитриевич

Даты

2014-06-27Публикация

2012-08-27Подача