Способ калибровки лазерного толщиномера Российский патент 2019 года по МПК G01B11/06 

Описание патента на изобретение RU2698495C2

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для калибровки лазерного толщиномера, построенного по триангуляционным схемам и предназначенного для измерения толщины, в частности, холодного проката в металлургической промышленности.

Наиболее близкий способ калибровки раскрыт в описании патента РФ №2542633 «Лазерный толщиномер и способ его калибровки» МПК GO1B 11/02 опубликован 20.02.2015 БИ №5.

Толщина, в которой измеряется в соответствие с соотношением, t=R0-(R1i+R2i) , где: R0 - база толщиномера это расстояние между фотоэлектрическими модулями a, R1i, R2i - расстояния, измеренные верхним R1i фотоэлектрическим модулем и R2i нижним, соответственно, до верхней и нижней контролируемой поверхности. Для калибровки эталон толщины tetj размещают в зоне измерения толщиномера. Эталон перемещают дискретно с шагом δ от нижней границы до верхней, фиксируя на каждом шаге расстояния от верхнего фотоэлектрического модуля до верхней поверхности эталона R1i и от нижнего фотоэлектрического модуля до нижней поверхности R2i эталона и, соответствующие этим расстояниям номера элементов n1i и n2i, зафиксированные многоэлементными линейными приемниками. Полученные градуировочные характеристики верхнего (Rn1i, n1i) и нижнего (Rn2i, n2i) фотоэлектрических модулей запоминают и используют для расчетов угловых коэффициентов k1, k2 и смещений b1, b2, которые необходимы для вычисления текущих расстояний верхним R1i=k1in1i+b1, и нижним R2i=k2i n2i+b2 фотоэлектрическими модулями.

Недостаток данного способа калибровки состоит в конструктивных ограничениях измерения расстояний от фотоэлектрических модулей до верхней и нижней поверхности эталона в составе толщиномера. При

калибровке погрешности фиксации расстояний R1i или R2i должны быть меньше требуемой погрешности измерения толщины проката. Например, если требуемая погрешность измерения толщины проката 20 мкм, то обеспечение работы калибровочного устройства должно быть с погрешностью фиксации R1i или R2i в ~ (5-10) мкм. В составе толщиномера, при его эксплуатации, такие требования конструктивно ограниченны.

В связи с этим калибровку фотоэлектрических модулей проводят автономно. Для калибровки используют микрометрический подвижный механизм с эталонной поверхностью и отсчетной шкалой для измерений R1i, или R2i.

Кроме того, как показали измерения, погрешность измерения при таком способе калибровки зависит от установки фотоэлектрических модулей в толщиномер после их автономной калибровки.

Целью изобретения является уменьшение погрешности измерений и устранение перечисленных выше конструктивных ограничений калибровки без необходимости автономных измерений градуировочных характеристики для каждого фотоэлектрического модуля.

Поставленная цель достигается за счет того, что получают градуировочную характеристику (tetj, n1i, n2i) всего толщиномера при перемещении эталона tetj в зоне измерения от одной границы до другой с шагом 8 и фиксации на каждом шаге номеров элементов n1i, n2i, где 1<i<N, число шагов в зоне измерения, а 1<j<М, число эталонов. (В этом случае необходимость измерения расстояний R1i, R2i отсутствует, а для калибровки необходимы только эталоны толщина которых соответствует требуемому диапазону измерений. Отсутствует необходимость в автономной калибровке фотоэлектрических модулей с последующей установкой в толщиномер).

Толщину рассчитывают, как , а для определения коэффициентов: С, k1, k2,g1,g2 используют метод

наименьших квадратов при котором минимизируется ошибка измерения текущей толщины ti относительно толщины эталона tetj,

Для калибровки используют по меньшей мере два эталона толщины, принадлежащих требуемому динамическому диапазону измерений.

Калибровку производят в следующей последовательности. Эталон толщины tetj размещают на одной из границ зоны измерения лазерного толщиномера. фиксируют соответствующие этому положению номера элементов на линейных многоэлементных приемниках, верхнем n11 и нижнем n21, (n11, n21, tetj), Эталон толщины tetj смещают по направлению к другой границе на величину δ и фиксируют соответствующие номера элементов (n12, n22, tetj). На другой границе зоны измерения будет зафиксировано. (n1N, n2N, tetj), где N - число измерений. Приведенная последовательность операций (n11, n21, tetj), (n12, n22, tetj), … (n1N, n2N, tetj), повторяется для М-эталонов 1<j<М., принадлежащих к требуемому диапазону измерения толщины. Толщину рассчитывают в соответствии с соотношением t=R0-(R1i+R2i), в котором расстояния R1i, R2i, аппроксимируют следующим образом:

, где: k1 k2, g1,g2, b1, b2 коэффициенты. Толщину можно рассчитать, как , где: C=R0-b1-b2.

Следует отметить, что для определения С не требуется измерять R0, и рассчитывать b1, b2., так как коэффициент С определяется при решении задачи минимизации ошибки измерения.

Для определения коэффициентов: k1, k2,g1, g2, С используют метод наименьших квадратов (МНК), для минимизации ошибки измерения е текущей толщины ti относительно толщины эталона tetj,

В соответствие с методами решения МНК, чтобы найти минимум функции ε воспользуемся пакетами программ решения МНК: Mathcad, Maxima и другими, которые позволяют получить требуемые коэффициенты k1, k2, g1, g2, C.

Предлагаемый способ поясняется чертежами на которых изображены:

фиг. 1 Лазерный толщиномер с установленным калибровочным устройством,

фиг. 2 Алгоритм калибровки лазерного толщиномера.

Лазерный толщиномер (фиг. 1) содержит калибровочное устройство 1 жестко закрепленное на корпусе 2 толщиномера, включающее винты 3 и 4, штифты 5 и 6. Соединение калибровочного устройства 1 с корпусом толщиномера 2 и размещенными на нем фотоэлектрическими модулями 7, 8 обеспечивает однозначность установки калибровочного устройства при многократных повторениях операций калибровки с последующим переходом толщиномера в режим измерения.

Фотоэлектрические модули 7, 8 содержат лазерные излучатели 13, 14 с формирующей оптикой 15, 16 и приемный канал с многоэлементными приемниками 17, 18, усилителями видеосигнала 31, и микроконтроллерами 26, 27, приемными объективами 19, 20.

Калибровочное устройство 1 содержит электромеханический привод в качестве которого используется линейный шаговый двигатель -10 актуатор на валу которого 11 устанавливают сменный эталон толщины 12.

Кроме того в корпусе 2 толщиномера размещается вычислительное устройство 23.

Способ калибровки выполняют в соответствие с алгоритмом приведенным на фиг. 2 в следующей последовательности. На калибровочное устройство 1, зафиксированное на корпусе толщиномера 2 устанавливают эталон толщины 12 в требуемом динамическом диапазоне измерений. С помощью электромеханического привода 10 калибровочного устройства эталон размещают на одной из границ зоны измерения, например, 28 или 29, и фиксируют номера элементов n11 и n21, вычисленные расположенными в верхнем 7 и нижним 8 фотоэлектрическими модулями микроконтроллерами 26 и 27. Затем эталон смещают на величину (шаг) δ с последующей фиксацией номеров n12, n22. Вышеперечисленная последовательность операций повторяется до достижения другой границы зоны измерения с фиксацией номеров n1N, n2N для всех эталонов 1≤i≤М и всех 1≤j≤N измерений. Полученный массив данных (n1i, n2i, tetj) для 1≤i≤М и 1≤j≤N является градуировочной характеристикой толщиномера и запоминается в вычислительном устройстве 23 в котором численно решается задача минимизации ошибки измерения текущей толщины ti относительно толщины эталона tetj.

Пример реализации способа калибровки лазерного толщиномера, предназначенного для измерения холодного проката толщиной от 2 мм до 8 мм: При калибровке были использованы эталоны толщиной: 2,33±0,001 мм.; 6,26±0.002 мм и 7,7±0,001 мм. Для получения градуировочной характеристики толщиномера (n1i, n2i, tetj) эталоны смещались в зоне измерения с шагом δ=3 мм. Число измерений N для разных эталонов составляло от 4 до 12, число эталонов М=3.

Численное решение задачи минимизации ошибки измерения позволило рассчитать коэффициенты: C=26002,5, k1=8.215, k2=9.063, g1=2.012×10-4, g2=2.997×10-4. Ошибка измерения эталонов при их произвольном размещении в зоне измерения не превысила ε<20 мкм. При уменьшении числа эталонов до 2, погрешность измерения не изменилась.

Похожие патенты RU2698495C2

название год авторы номер документа
ЛАЗЕРНЫЙ ТОЛЩИНОМЕР И СПОСОБ ЕГО КАЛИБРОВКИ 2013
  • Шлычков Владимир Иванович
  • Кислицын Александр Устинович
  • Макаров Кирилл Владимирович
  • Кунавин Павел Евгеньевич
RU2542633C1
Способ калибровки лазерного сканера, предназначенного для оценки качества поверхности сварного шва 2023
  • Панков Виктор Владимирович
  • Панков Сергей Викторович
  • Богородский Игорь Глебович
RU2821171C1
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНОГО УСКОРЕНИЯ 2008
  • Штанов Иван Николаевич
  • Рыбаков Вадим Иванович
RU2361223C1
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2009
  • Шлычков Владимир Иванович
  • Кислицын Александр Устинович
  • Тоцкий Иван Тимофеевич
  • Мулахметов Ильгис Даудович
  • Сергеев Игорь Викторович
RU2419068C2
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНОГО УСКОРЕНИЯ 2008
  • Штанов Иван Николаевич
  • Рыбаков Вадим Иванович
RU2366961C1
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ КООРДИНАТ ЦВЕТА И НЕЙРОКОЛОРИМЕТР ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ СПОСОБА 2009
  • Белаш Анна Александровна
  • Соловьев Владимир Александрович
  • Урнев Иван Васильевич
  • Щербаков Михаил Александрович
RU2395063C1
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНОГО УСКОРЕНИЯ В СИСТЕМАХ УПРАВЛЕНИЯ РАКЕТ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2008
  • Рыбаков Вадим Иванович
  • Штанов Иван Николаевич
RU2362173C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДАВНОСТИ СОБЫТИЯ СОЗДАНИЯ ОБЪЕКТА, СОДЕРЖАЩЕГО ЦЕЛЛЮЛОЗУ, МЕТКА ДАВНОСТИ СОБЫТИЯ ЕЕ СОЗДАНИЯ НА ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЯ И СПОСОБ ЗАЩИТЫ ИЗДЕЛИЯ ОТ ФАЛЬСИФИКАЦИИ ДАВНОСТИ СОБЫТИЯ ЕГО СОЗДАНИЯ 2011
  • Плетень Олег Иванович
RU2478198C1
СПОСОБ ЭКСПЛУАТАЦИОННОГО КОНТРОЛЯ СОСТОЯНИЯ ИЗОЛЯЦИИ И РЕСУРСА ОБМОТОК ЭЛЕКТРОДВИГАТЕЛЕЙ 2011
  • Некрасов Алексей Иосифович
  • Борисов Юрий Семенович
  • Некрасов Антон Алексеевич
  • Марчевский Сергей Владимирович
  • Ефимов Андрей Валерьевич
RU2491560C2
СПОСОБ ИДЕНТИФИКАЦИИ АЛЬФА-ИЗЛУЧАЮЩИХ РАДИОНУКЛИДОВ 2004
  • Алешин Дмитрий Вячеславович
  • Каширин Игорь Анатольевич
  • Малиновский Сергей Владимирович
  • Соболев Андрей Игоревич
  • Тихомиров Виктор Александрович
  • Ермаков Александр Иванович
RU2267800C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 698 495 C2

Реферат патента 2019 года Способ калибровки лазерного толщиномера

Лазерный толщиномер дополнительно снабжен калибровочным приспособлением. Калибровочное приспособление жестко зафиксировано штифтованным винтовым соединением на корпусе толщиномера, обеспечивающим перпендикулярность пучков лазерного излучения к плоскости положения эталона, и содержит плату управления, линейный шаговый двигатель для перемещения эталона tetj, зафиксированного в зоне измерения на общем основании с фотоэлектрическими модулями. При калибровке эталон - tetj дискретно перемещают к другой границе зоны измерения и для каждого положения эталона tetj, 1<i<N, где N - число измерений, фиксируют соответствующие этому положению номера элементов n1i., n2i на линейных многоэлементных фотоприемниках. Приведенная последовательность операций повторяется для всех эталонов 1<j<М. Для определения калибровочных коэффициентов k1, k2, g1, g2, C применяют метод наименьших квадратов, который минимизирует ошибку измерения текущей толщины ti относительно толщины эталона tetj. Технический результат – уменьшение погрешности измерений. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Формула изобретения RU 2 698 495 C2

1. Способ калибровки лазерного толщиномера, который содержит фотоэлектрические модули, размещенные по разные стороны от контролируемого объекта и зафиксированные на корпусе толщиномера, калибровочное приспособление с электромеханическим приводом для перемещения в зоне измерения эталона толщины tet, также зафиксированное на корпусе и обеспечивающее перпендикулярность пучков лазерного излучения, которые направлены соосно навстречу друг другу относительно эталона tet и которые создают на противоположных сторонах эталона tet световые метки, а на двух линейных оптически связанных с эталоном позиционно-чувствительных многоэлементных фотоприемниках, входящих в состав фотоэлектрических модулей, фиксируют номера элементов, соответствующих изображению световых меток, эталон перемещают в зоне измерения с шагом и для каждого положения фиксируют расстояния R1i, R2i от фотоэлектрических модулей до каждой стороны эталона tet и соответствующие этим расстояниям номера элементов n1i, n2i на многоэлементных фотоприемниках, отличающийся тем, что получают градуировочную характеристику (tetj, n1i, n2i) всего толщиномера при перемещении эталона tetj в зоне измерения от одной границы до другой с шагом и фиксации на каждом шаге номеров элементов n1i, n2i, где 1<i<N, число шагов в зоне измерения, а 1<j<М, число эталонов.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что толщину измеряют как , а для определения коэффициентов: С, k1, k2, g1, g2 используют метод наименьших квадратов, при котором минимизируется ошибка измерения текущей толщины ti относительно толщины эталона tetj,

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что для калибровки используют по меньшей мере два эталона толщины, принадлежащих требуемому динамическому диапазону измерений.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2019 года RU2698495C2

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ В ХОДЕ ПРОЦЕССА ПЛАЗМЕННО-ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ОКСИДИРОВАНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ 2017
  • Горбатков Михаил Викторович
  • Парфенов Евгений Владимирович
  • Ерохин Алексей Леонидович
  • Мукаева Вета Робертовна
RU2672036C1
RU 2009126291 A, 20.01.2011
СПОСОБ УДАЛЕННОГО КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ И ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ В ПРОЦЕССЕ МАГНЕТРОННОГО ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ, И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2013
  • Касьянов Дмитрий Альбертович
  • Кожеватов Илья Емельянович
  • Куликова Елена Хусаиновна
  • Силин Дмитрий Евгеньевич
RU2549211C1
Способ измерения толщины многослойной полимерной пленки 1984
  • Березовчук Александр Иванович
  • Кокун Владимир Матвеевич
  • Кузнецов Владимир Федорович
  • Остапчук Людмила Никитична
  • Погорелов Валерий Евгеньевич
  • Кабыш Владимир Ильич
  • Скворцов Олег Борисович
  • Тарасевич Анатолий Григорьевич
SU1233208A1
WO 1998048252 A1, 29.10.1998
Способ электроэрозионной обработки 1981
  • Афонин Олег Михайлович
  • Ножиков Арон Хаимович
  • Руднев Владимир Иванович
SU961915A1

RU 2 698 495 C2

Авторы

Шлычков Владимир Иванович

Макаров Кирилл Владимирович

Кунавин Павел Евгеньевич

Топоров Владимир Александрович

Тоцкий Иван Тимофеевич

Ананьев Александр Сергеевич

Горинов Андрей Иванович

Даты

2019-08-28Публикация

2017-12-20Подача