Способ получения асферических поверхностей Советский патент 1983 года по МПК C03C17/30 

Изобретение относится к технологии оптического приборостроения, а именно к технологии изготовления асферических поверхностей на оптических деталях.

Известен способ получения асферических поверхностей путем нанесения на оптическую:заготовку через профильную маску в вакууме слоев моноокиси кремния рёзистивным и электронно-лучевьам испарителем.

Процесс нанесения таких асферических пленок из моноокиси кремния включает предварительный наг|зев заготовки до и двухэтапное осаж дение: вначале на нагретую до 300400°С подложку осаждают равномерный подслой моноокиси .кремния, затем заготовку охлаждают и при через профильную маску проводят нанесение раз.нотолщинного асферизующего слоя ClTНедостатками этого, способа являются значительная трудоемкость и длительно/гть изготовления асферики из моноокиси кремния.

Наиболее близким к изобретению п.о технической сущности и достигаемому результату является способ получения асфернческчх поверхностей

путем нанесения на очищенную подложку слоев окисла кремния переменной толщины через маску электронно-лучевым методом, заключающийся в том, . что в качестве окисла кремния используют кварц, а нанесение слоев ведут дискретно с толщиной каждого слоя 0,1-0,2 мкм С интервалами, равными времени осаждения одного

10 слоя. Полученные пленки отличаются повышенным качеством 2.

Недостатками известного способа являются невозможность получения по.верхностей со значительной более

15 30 мкм ) асферичностью и длительное время нанесения асферизующего слоя. Кроме того, слои толщиной 310 мкм имеют повышенное рассеяние, большие внутренние напряжения, в

20 результате которых покрытие отслаивается от подложки, при этом время нанесения слоя 1 мкм около 30 мин.

Целью изобретения является увеличение асферичности поверхности.

25

Цель достигается тем, что согласно способу получения асферических поверхностей путем дискретного на несения на предварительно очищенную подложку профильных слоев двуокиси

30 кремния переменной толщины через