Способ получения асферических поверхностей Советский патент 1983 года по МПК C03C17/30 

Описание патента на изобретение SU1004286A1

Изобретение относится к технологии оптического приборостроения, а именно к технологии изготовления асферических поверхностей на оптических деталях.

Известен способ получения асферических поверхностей путем нанесения на оптическую:заготовку через профильную маску в вакууме слоев моноокиси кремния рёзистивным и электронно-лучевьам испарителем.

Процесс нанесения таких асферических пленок из моноокиси кремния включает предварительный наг|зев заготовки до и двухэтапное осаж дение: вначале на нагретую до 300400°С подложку осаждают равномерный подслой моноокиси .кремния, затем заготовку охлаждают и при через профильную маску проводят нанесение раз.нотолщинного асферизующего слоя ClTНедостатками этого, способа являются значительная трудоемкость и длительно/гть изготовления асферики из моноокиси кремния.

Наиболее близким к изобретению п.о технической сущности и достигаемому результату является способ получения асфернческчх поверхностей

путем нанесения на очищенную подложку слоев окисла кремния переменной толщины через маску электронно-лучевым методом, заключающийся в том, . что в качестве окисла кремния используют кварц, а нанесение слоев ведут дискретно с толщиной каждого слоя 0,1-0,2 мкм С интервалами, равными времени осаждения одного

10 слоя. Полученные пленки отличаются повышенным качеством 2.

Недостатками известного способа являются невозможность получения по.верхностей со значительной более

15 30 мкм ) асферичностью и длительное время нанесения асферизующего слоя. Кроме того, слои толщиной 310 мкм имеют повышенное рассеяние, большие внутренние напряжения, в

20 результате которых покрытие отслаивается от подложки, при этом время нанесения слоя 1 мкм около 30 мин.

Целью изобретения является увеличение асферичности поверхности.

25

Цель достигается тем, что согласно способу получения асферических поверхностей путем дискретного на несения на предварительно очищенную подложку профильных слоев двуокиси

30 кремния переменной толщины через

Похожие патенты SU1004286A1

название год авторы номер документа
Способ получения асферических поверхностей 1976
  • Голубева Галина Ивановна
  • Клочков Александр Матвеевич
  • Шапочкин Борис Алексеевич
  • Белозерова Татьяна Ивановна
  • Афанасьев Константин Николаевич
SU585133A1
Устройство для асферизации оптических деталей 1982
  • Шапочкин Борис Алексеевич
  • Сергеев Виктор Николаевич
  • Комраков Борис Михайлович
  • Клочков Александр Матвеевич
  • Голубева Галина Ивановна
  • Мацкевич Леопольд Леонидович
  • Подлесов Виктор Михайлович
  • Бажинов Владимир Викторович
SU1104191A1
Устройство для нанесения покрытий в вакууме 1971
  • Шапочкин Борис Алексеевич
  • Сергеев Виктор Николаевич
  • Голубева Галина Ивановна
  • Павлов Игорь Емельянович
  • Клочков Александр Матвеевич
  • Кириенко Борис Васильевич
  • Григорьев Владимир Сергеевич
  • Левинских Константин Александрович
SU444833A1
Оптическое металлическое зеркало и способ его изготовления 1989
  • Большанин Александр Фридрихович
  • Орлов Сергей Владимирович
SU1753439A1
Способ изготовления микролинзового упорядочного растра 1982
  • Вейко Вадим Павлович
  • Дульнев Геннадий Николаевич
  • Костюк Галина Кирилловна
  • Мешковский Игорь Касьянович
  • Чуйко Владимир Анатольевич
  • Яковлев Евгений Борисович
SU1108382A1
Способ получения асферической поверхности 1986
  • Вишневская Лидия Васильевна
  • Дмитриев Алексей Станиславович
  • Первеев Анатолий Федорович
SU1377252A1
Способ изготовления шаблона 1982
  • Кривутенко Анатолий Иванович
  • Папченко Валерий Павлович
SU1064352A1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРИБОРА С УПРАВЛЯЮЩИМ ЭЛЕКТРОДОМ СУБМИКРОННОЙ ДЛИНЫ 1991
  • Баранов Б.А.
RU2031481C1
СПОСОБ КОРРЕКЦИИ ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ 1994
  • Крючков В.Г.
  • Некрасов В.В.
  • Бездидько С.Н.
  • Ефремов Д.Е.
  • Потелов В.В.
  • Сеник Б.Н.
RU2078468C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ 2003
  • Самсоненко Б.Н.
  • Пелипенко Б.Ф.
RU2244986C1

Реферат патента 1983 года Способ получения асферических поверхностей

Формула изобретения SU 1 004 286 A1

SU 1 004 286 A1

Авторы

Первеев Анатолий Федорович

Голубева Галина Ивановна

Муранова Галина Анатольевна

Степуро Анатолий Васильевич

Даты

1983-03-15Публикация

1981-08-17Подача