Способ чернения металлических деталей вакуумных и газоразрядных приборов Советский патент 1955 года по МПК H01J9/14 

В вакуумных и газоразрядных приборах имеются метаошические детали, которые должны обладать большим коэффициентом термического излучения. Для этого осуществляют чернение деталей или металла, из которого делаются детали, путем обработки их при высоких температурах в парах углеводородов.

Этот способ чернения металла связан с необходимостью применения .летучих и вреднодействующих веществ. Поверхность деталей, почерненных этим способом, покрывается углеродом, который часто содержит нежелательные для вакуумных деталей примеси, вследствие чего удлиняется время газоотделения.

Полученные таким способом почерненные детали не выдерживают перегрева более 700°, что не всегда удовлетворяет требованиям их дальнейшей обработки.

С целью повышения температурной стойкости наносимого на металлическую деталь покрытия и осуществления одновременно с чернением очистки поверхности детали и ее обезгаживания, предлагается обрабатывать детали в газовом разряде на постоянном или переменном токе в условиях катодного распыления металла ударами ионов и последующего осаждения распыленных частиц на

поверхность детали, нспользземой в качестве катода - при постоянном токе, или любого из электродов - при переменном токе.

При соответствующих параметрах газового разряда (давление газа или пара, плотность разрядного тока, напряжение) для определенного газа или пара можно создать такие условия, когда поверхность катода (при постоянном токе) и поверхность обоих электродов (при переменном токе) покрывается темным слоем. Этот темный слой на металле образуется в результате двух процессов - катодного распыления материала электрода под здарами ионов и последующего осаждения распыленных частичек на поверхность детали.

Параметры разряда подбираются таким образом, чтобы количество возвращающихся распыленных частиц было достаточным для покрытия детали черным налетом. Время чернения в разряде зависит от давления газа или пара, плотности разрядного тока, рода газа или пара и рода металла.

Меняя время чернения в разряде, рода газа и параметры разряда, можно получить на поверхности металла черный слой различной плотности и различной толщины.

В процессе чернения в газовом разряде металл или детали электровакуумных и газоразрядных ламн одновременно подвергаются новерхностной очистке и обезгаживанию.

При первоначальном воздер 1ствин разряда на поверхность металла с нее снимаются все загрязнения и окислы, а затем уже начинается обработка самой поверхности. В газовом разряде, в результате бомбардировки ионами значительных скоростей, происходит обезгаживание деталей. При этом газ, загрязняющий металл, удаляется не только с поверхности последнего (это достигается путем простого нагрева), но и нз глубинных слоев благодаря проникновению ионов газа в толщу металла и выбиванию оттуда загрязняющего металл газа.

Предмет изобретения

Способ чернения металлических деталей вакуумных и газоразрядных приборов путем образования на поверхности детали слоя покрытия, отличающийся тем, что, с целью повыщения температурной стойкости покрытия и осуп1,ествления одновременно с чернением очистки поверхности детали и ее обезгаживания, детали обрабатывают в газовом разряде на постоянном или переменном токе в условиях катодного распЫоТения металла ударами ионов и последующего осаждения распыленных частиц на поверхность детали, исиОоТьзуемой в качестве катода - при постоянном токе, или любого из электродов - при переменном токе.