Устройство для подгонки в номинал сопротивления пленочных резисторов из вентильных металлов Советский патент 1983 года по МПК H01C17/26 

fUn

4 О 4 СО

..yf

f г Л у

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, формирователь измерительного тока выполнен на операционном усилителе и транзисторе, база которого соединена с выходом операционного усилителя, коллектор - с вторым входом формирователя измерительного тока, эмиттер - с пер, вым входом опе)ационного усилителя :

/Н выходом формирователя измерительного тока.

3. Устройство по пп. 1 и 2, о тличающееся ем, что контактный узел выполнен по четырех;звенной схеме, третий вход которой соединен с общей шиной, а второй вход - с катодом.

I Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии изготовления тонкопленочных резисторов. , Известно устройство для подгонки резисторов анодированием о применением четырехаондовой схемы их .подкл чения Однако быстродействие и надежность устройства относительно невысоки из-за применения электромехани ческих коммутаторов (реле). Кроме ого, диапазон номиналов подгоняемы резисторов ограничен снизу предельно допустимым током источника питания и током через контактный узел. Известно также устройство для подгонки в номинал сопротивления пленочных- резисторов из вентильных металлов, содержащее балансную схем включающую контактный узел с катодо эталонньй резистор, комп аратор с источником опорного напряжения,источ ник переменного напряжения, выходы которого соединены с соответствующи ми входами контактного узла, источник тока анодирования, вход которог соединен с третьим выходом блока развязывающих диодов 2. Недостатком устройства является то, что точность подгонки резисторов различных номиналов относительно невысока, так как мостовая схема включения эталонного и по гоняемого резисторов имеет максимал ную чувствительность лишь в относительно. узком диапазоне номиналов. Цель изобретения .- расширение диапазона номиналов и повышение ;точности подгонки. : Поставленная цель достигается тем, что в устройство для подгонки ;В номинал сопротивления пленочных резисторов из вентильных металлов, содержащее балансную схеч, включающую контактный узел с катодом, эталонный резисторi компаратор с источником опорного напряжения, источник переменного напряжения, выходы которого соединены с соответствующими входами контактного узла, источник тока анодирования, вход которого соединен с третьим выходом блока развязывающих диодов, введены форми- рователь измерительного тока и инвертор, причем первый вход формирователя измерительного тока соединен с первым входом компаратс а, второй вход которого соединен с выходом инвертора, первый и второй входы ко:ТорЬго соединены соответственно с первым и вторым выходам контактноiro узла, при этом выход формирователя измерительного тока через эталонный, резистор соединен с общей шиной, а второй вход - с четвертым выходом. блока развязывакхцих диодов. . При этом формирователь измерительного тока выполнен на операционном усилителе и транзисторе, база которого соединена с выходом операцион- : ного усилителя, коллектор - с вторым входом формирователя измерительного тока, эмиттер - с первым входом операционного усилителя и выходом формирователя измерительного тоКроме того контактный узел выполнен по четырехзондовой схеме, третий вход которой соединен с общей шиной, а второй вход - с катодом. Указанное включение формирователя измерительного тока, протекающего через эталонный и подгоняемый резисторы, позволяет с большой точностью реализовать закон Ома при изменяющихся в широких пределах сопротивлениях подгоняемых резисторов, позволяет применить четырехзондовое включение подгоняемого резистора, что существенно повышает точность измерения в широком диапазоне номиналов вплоть до сагллх низкоомных резисторов. Кроме того, таЕое построение Устройства позволяет применять контактные приспособления с малыми прижимным% усилиями на измерительных зондах, что благоприятно сказывается на качестве тонкопленочных резисто